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薄膜晶體管陣列基板的制造方法與工藝

文檔序號:11294585閱讀:208來源:國知局
薄膜晶體管陣列基板的制造方法與工藝
薄膜晶體管陣列基板本申請要求于2014年11月28日提交的韓國專利申請第10-2014-0169057號的優(yōu)先權(quán),其通過引用整體并入本文。技術(shù)領域本申請涉及薄膜晶體管陣列基板,并且更具體地涉及適合于防止在包含在具有薄膜晶體管陣列基板的有機發(fā)光二極管(OLED)顯示裝置中的有機發(fā)光層中產(chǎn)生厚度偏差的薄膜晶體管陣列基板。

背景技術(shù):
顯示裝置包括具有背光單元的顯示裝置和利用不需要單獨的背光單元的自發(fā)光元件的OLED顯示裝置。因此,利用自發(fā)光元件的OLED顯示裝置可以是薄的并且具有低功耗。OLED顯示裝置可以包括:包含陽極電極、陰極電極和插入在所述兩個電極之間的有機發(fā)光層的有機發(fā)光元件。有機發(fā)光元件使得通過來自陽極電極的空穴和來自陰極電極的電子的復合產(chǎn)生的激子進入有機發(fā)光層。另外,有機發(fā)光元件通過激子從激發(fā)態(tài)過渡到穩(wěn)態(tài)而發(fā)光。可以利用氣相沉積方法形成有機發(fā)光層。噴墨印刷工藝可以用于通過滴落液化的有機發(fā)光材料在大尺寸基板上形成有機發(fā)光層。這樣的有機發(fā)光層具有鄰近堤壩(bank)圖案的與被堤壩圖案包圍的中心區(qū)域相比較厚的邊緣區(qū)域。這是由于以下事實:與有機發(fā)光層的中心部分的硬化速度相比,有機發(fā)光層的邊緣部分以較低的速度硬化;并且由于有機發(fā)光材料從有機發(fā)光層的中心區(qū)域向邊緣區(qū)域進行的硬化現(xiàn)象,有機發(fā)光材料從有機發(fā)光層的中心區(qū)域內(nèi)部地移動到有機發(fā)光層的邊緣區(qū)域。

技術(shù)實現(xiàn)要素:
本申請的實施方案涉及基本消除了由于相關技術(shù)的限制和劣勢而導致的一個或更多個問題的薄膜晶體管陣列基板。根據(jù)一個實施方案的薄膜晶體管陣列基板適合于減小有機發(fā)光層的厚度并且防止有機發(fā)光層的非均勻形成以從外部露出濾色器層。所露出的濾色器層設置在平坦化膜下,穿過非發(fā)光區(qū)內(nèi)的平坦化膜。實施方案的附加特征和優(yōu)點將在下面的描述中闡述,并且部分附加特征和優(yōu)點根據(jù)描述將是明顯的或可以從實施方案的實施中了解。實施方案的優(yōu)點將通過在書面描述及其權(quán)利要求以及附圖中具體說明的結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)和獲得。為了解決上述問題,根據(jù)本實施方案的一般性方面的薄膜晶體管陣列基板包括:包括發(fā)光區(qū)和非發(fā)光區(qū)的基板;設置在基板上的濾色器層;設置在濾色器層上的平坦化層,并且平坦化層配置為移除平坦化層的與非發(fā)光區(qū)對應的至少一部分。所述薄膜晶體管陣列基板還包括:設置在平坦化膜的一部分上的第一電極;配置為露出第一電極的上表面的一部分并且鋪展至非發(fā)光區(qū)的第一堤壩圖案。所述薄膜晶體管陣列基板還包括設置在非發(fā)光區(qū)內(nèi)的第一堤壩圖案上的第二堤壩圖案。因此,所述薄膜晶體管陣列基板減小了第二堤壩圖案的厚度以均勻地形成有機發(fā)光層。在考察以下附圖和具體描述之后,其他系統(tǒng)、方法、特征和優(yōu)點對本領域技術(shù)人員將是明顯的。包含在該描述內(nèi)的系統(tǒng)、方法、特征和優(yōu)點在本發(fā)明的范圍內(nèi),并被所附權(quán)利要求所保護。本節(jié)中的任何內(nèi)容都不應該被看作對那些權(quán)利要求的限制。下面結(jié)合實施方案討論其他方面和優(yōu)點。應理解的是,本發(fā)明的前述一般描述和下面的詳細描述是示例性和說明性的并且旨在提供對所要求保護的發(fā)明的進一步說明。附圖說明本申請包括附圖來提供實施方案的進一步理解并且附圖被合并到本申請中并構(gòu)成本申請的一部分。附圖示出本發(fā)明的實施方案并且與描述一起用于解釋本發(fā)明。在附圖中:圖1為示出根據(jù)本發(fā)明的第一實施方案的OLED裝置的薄膜晶體管陣列基板的截面圖;圖2為示出根據(jù)第一實施方案的薄膜晶體管陣列基板的非發(fā)光區(qū)的截面圖;圖3A至圖3C為示出制造根據(jù)第一實施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板的方法的截面圖;圖4為示出根據(jù)本發(fā)明的第二實施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板的截面圖;圖5為主要地示出根據(jù)第二實施方案的薄膜晶體管陣列基板的非發(fā)光區(qū)的截面圖;圖6A至圖6C為示出制造根據(jù)本發(fā)明第二實施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板的方法的截面圖;圖7為示出根據(jù)本發(fā)明的第三實施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板的截面圖;圖8為示出根據(jù)本發(fā)明的第四實施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板的截面圖;以及圖9為示出根據(jù)本發(fā)明的第五實施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板的非發(fā)光區(qū)的照片。具體實施方式現(xiàn)在將詳細參考本發(fā)明的實施方案,在附圖中示出本發(fā)明的實施方案的實例。在下文中介紹的這些實施方案作為實例提供,以便于向本領域技術(shù)人員傳達本發(fā)明的精神。本發(fā)明不限于在此描述的這些實施方案。在實施方案中所示出的器件的尺寸和厚度等被提供為方便說明。只要可能,在整個該公開(包括附圖)中將使用相同的附圖標記以標記相同或相似的部分。圖1和圖2示出根據(jù)本發(fā)明的第一實施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板。更詳細地,圖1為示出根據(jù)本發(fā)明的第一實施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板的截面圖;以及圖2為主要地示出根據(jù)第一實施方案的薄膜晶體管陣列基板的非發(fā)光區(qū)的截面圖。根據(jù)本發(fā)明的第一實施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板可以包括,例如薄膜晶體管、濾色器層101和有機發(fā)光元件。薄膜晶體管包括半導體層201、柵極絕緣膜202、柵電極203、層間絕緣膜204、源電極205、漏電極206和緩沖層207。濾色器層101包括紅色濾色器圖案101a、綠色濾色器圖案101b和藍色濾色器圖案。有機發(fā)光元件包括第一電極103、有機發(fā)光層106和第二電極107??梢岳眯糠椒ā娔椒ê酮M縫涂布方法之一通過向用第二堤壩圖案105包圍的區(qū)域中噴射或者滴落液化的有機發(fā)光材料并且然后使所噴射或滴落的有機發(fā)光材料進行硬化來形成有機發(fā)光層106。因為,在相關技術(shù)中,有機發(fā)光層一定是形成為與在被堤壩圖案包圍的區(qū)域內(nèi)的中心部分相比具有鄰近堤壩圖案的較厚的邊緣部分,所以OLED顯示裝置的開口率一定變得較低。為了提高OLED顯示裝置的開口率,可以對通過包括鄰近堤壩圖案的邊緣區(qū)域的整個區(qū)域的有機發(fā)光層的上表面進行平坦化。對有機發(fā)光層的上表面進行平坦化可以形成第一堤壩圖案和設置在第一堤壩圖案上的第二堤壩圖案。在這種情況下,設置在第一堤壩圖案上的第二堤壩圖案一定變厚。因此,在光刻工藝期間,變厚的第二堤壩圖案可能導致蝕刻劑侵入第一堤壩圖案與第二堤壩圖案之間。具體地,在相關技術(shù)中,用于對第二堤壩圖案進行圖案化的光刻工藝可能引起第二堤壩圖案的卷曲現(xiàn)象和有機發(fā)光層的平坦性的劣化的產(chǎn)生。第二堤壩圖案的卷曲現(xiàn)象可能是由于在形成在平坦化膜中的接觸孔中的具有非常大的厚度并且用于連接有機發(fā)光元件的第一電極和薄膜晶體管的漏電極的第二堤壩圖案產(chǎn)生的。為了解決這個問題,根據(jù)本公開的第一實施方案的OLED顯示裝置在濾色器層101的不包括在第二非發(fā)光區(qū)NA2內(nèi)彼此不同的濾色器圖案之間的邊界區(qū)的區(qū)域上設置了平坦化膜102。此外,在彼此不同的濾色器圖案之間的邊界區(qū)中設置第二堤壩圖案105。這樣,可以減小第二堤壩圖案105的厚度。更詳細地,根據(jù)本發(fā)明的第一實施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板包括設置在限定為發(fā)光區(qū)AA、第一非發(fā)光區(qū)NA1和第二非發(fā)光區(qū)NA2的基板100上的濾色器層101。這樣,根據(jù)本發(fā)明的第一實施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板限定為發(fā)光區(qū)AA、第一非發(fā)光區(qū)NA1和第二非發(fā)光區(qū)NA2。第一非發(fā)光區(qū)NA1用作其中設置有薄膜晶體管的驅(qū)動區(qū)域。第二非發(fā)光區(qū)NA2為不發(fā)光并且不包括薄膜晶體管的像素區(qū)。在設置有濾色器層101(參照圖3C)的基板100上設置平坦化膜102,但平坦化膜102不能設置在彼此不同的濾色器圖案之間的邊界區(qū)中。例如,平坦化膜102不能設置在紅色濾色器圖案101a與綠色濾色器圖案101b之間的邊界區(qū)中。另外,平坦化膜102不能設置在綠色濾色器圖案101b與藍色濾色器圖案之間的邊界區(qū)中。另外,平坦化膜102不能設置在藍色濾色器圖案與紅色濾色器圖案101a之間的邊界區(qū)中。換言之,可以在第二非發(fā)光區(qū)NA2內(nèi)的平坦化膜102中形成開口以將平坦化膜分成兩個部分。可以通過從不同的濾色器圖案之間的一個邊界移除平坦化膜102的一部分來形成開口。例如,形成在平坦化膜102中的開口可以露出紅色濾色器圖案101a與綠色濾色器圖案101b之間的邊界?;蛘?,可以在綠色濾色器圖案101b與藍色濾色器圖案之間的邊界中形成開口。另外,可以在藍色濾色器圖案與紅色濾色器圖案101a之間的邊界中形成開口。可以在發(fā)光區(qū)AA內(nèi)的平坦化膜102上設置有機發(fā)光元件的第一電極103。這樣的第一電極103可以用作陽極電極?;蛘撸谝浑姌O103可以用作陰極電極。在下文中,在第一實施方案中將描述第一電極103用作陽極電極。另外,可以利用相對高的透明導電材料以單層形式形成第一電極103。這樣,可以實現(xiàn)從有機發(fā)光元件的第二電極朝著有機發(fā)光元件的第一電極103發(fā)光的底部發(fā)光型OLED顯示裝置?;蛘?,設置在第一電極103下的反射層還可以包括在OLED顯示裝置中。因此,頂部發(fā)光型OLED顯示裝置將從第二電極朝著第一電極103發(fā)射的光反射,并且沿著向上的方向輸出光?;蛘?,可以以多層結(jié)構(gòu)形式形成第一電極103。例如,可以以包括第一層、設置在第一層上的第二層和設置在第二層上的第三層的三層結(jié)構(gòu)的形式形成第一電極103。在這種情況下,第一層和第三層各自可以由透明導電材料形成。透明導電材料可以為銦錫氧化物(ITO)和銦鋅氧化物(IZO)之一。第二層可以為反射層,并且可以為金屬層和金屬合金層之一。例如,第二層可以為銀層和包含銀(Ag)的金屬合金層之一。因此,可以實現(xiàn)沿著向上的方向反射從第二電極朝著第一電極103發(fā)射的光的頂部發(fā)光型OLED顯示裝置。在設置有有機發(fā)光元件的第一電極103的基板100的第一非發(fā)光區(qū)NA1和第二非發(fā)光區(qū)NA2上設置第一堤壩圖案104。第一堤壩圖案104可以以覆蓋第一電極103的邊緣的方式形成。換言之,可以將第一堤壩圖案104設置為露出第一電極103的上表面的與發(fā)光區(qū)AA對應的一部分。這樣,可以防止第一電極103的邊緣部分中的電流集中。在第一電極103的邊緣上設置這樣的第一堤壩圖案104。另外,可以通過從有機發(fā)光元件的第一電極103的一個邊緣延伸至第二非發(fā)光區(qū)NA2,在露出第二非發(fā)光區(qū)NA2內(nèi)的彼此不同的濾色器圖案之間的邊界的開口中設置第一堤壩圖案104??梢砸耘c設置在開口中的第一堤壩圖案104交疊的方式設置第二堤壩圖案105。換言之,可以在開口中設置第一堤壩圖案104并且可以在與所述開口相對的第一堤壩圖案104上設置第二堤壩圖案105。以這樣的方式...
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