本發(fā)明涉及一種蓋板開合機構，具體是一種真空腔體蓋板的開合機構，屬于半導體薄膜設備的應用技術領域。

背景技術：

在半導體制造的真空腔體中，當腔體蓋板關閉時，蓋板需要腔體口密封圈貼合，在設備維護時需要蓋板可開啟一定角度。在蓋板關閉后有真空吸附蓋板時，蓋板在真空吸附力作用下會產生變形，同時密封圈在蓋板壓力下會產生變形，使蓋板產生位移。因此需要發(fā)明一種蓋板開合機構，既能在蓋板閉合時緩沖真空壓力，又能支撐蓋板使其打開一定角度。

技術實現(xiàn)要素：

為解決上述問題，本發(fā)明提供了一種真空腔體蓋板的開合機構，實現(xiàn)了蓋板在一定角度的開合，當蓋板在真空作用下發(fā)生變形和位移時，所述機構可以使蓋板和真空腔體密封面緊密貼合，當蓋板開啟時，該機構可提供部分開啟蓋板所需的開啟力。

本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的，一種真空腔體蓋板的開合機構，包括撐桿、鉸鏈座、杠桿約束桿a、杠桿約束桿b、杠桿銷軸、杠桿、蓋板連接件、氣體彈簧、蓋板和把手；杠桿一端通過杠桿銷軸與鉸鏈座連接，鉸鏈座與杠桿銷軸連接處的孔為豎直長條孔，杠桿銷軸可在長條孔中沿長條孔中心線方向往復移動；杠桿約束桿a兩端分別通過銷軸與鉸鏈座和杠桿約束桿b連接；杠桿約束桿b兩端分別通過銷軸與杠桿和杠桿約束桿a連接；氣體彈簧兩端分別通過銷軸與鉸鏈座和杠桿連接；蓋板通過蓋板連接件與杠桿連接；撐桿一端通過銷軸與杠桿連接，另一端連接在真空腔體的邊緣。

進一步地，鉸鏈座可通過螺栓與真空腔體固定連接，鉸鏈座上有可與杠桿約束桿a連接的鉸鏈孔。

進一步地，杠桿兩端分別有可與鉸鏈座和氣體彈簧連接的鉸鏈孔，在這兩個鉸鏈孔之間有可與杠桿約束桿b連接的鉸鏈孔。

進一步地，杠桿約束桿a一端通過銷軸與鉸鏈座上的鉸鏈孔連接，并可在一定角度范圍內自由轉動；杠桿約束桿a另一端與杠桿約束桿b通過銷軸連接，并可相對杠桿約束桿b在一定角度范圍內自由轉動。

進一步地，杠桿約束桿b一端通過銷軸與杠桿上的鉸鏈孔連接，并可相對杠桿在一定角度范圍內自由轉動；杠桿約束桿b另一端與杠桿約束桿a通過銷軸連接。

進一步地，當蓋板開啟到一定位置時，撐桿可保持蓋板的相對位置不變。

與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的優(yōu)點在于，所述真空腔體蓋板的開合機構可實現(xiàn)真空腔體蓋板在一定角度的開啟和關閉，當蓋板關閉后真空吸附蓋板時，所述機構可補償蓋板由真空力作用發(fā)生的位移，使蓋板密封性加強，減小相關部件的應力；在蓋板打開過程中，氣體彈簧可提供部分開啟蓋板所需的開啟力，可減輕勞動強度，使蓋板固定在一定的位置。

附圖說明

圖1為本發(fā)明真空腔體蓋板開合機構的立體結構示意圖；

圖2為蓋板關閉狀態(tài)真空腔體蓋板開合機構的主視結構示意圖；

圖3為蓋板開啟狀態(tài)真空腔體蓋板開合機構的主視結構示意圖。

具體實施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，下面結合實施例及附圖，對本發(fā)明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用于解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

參考圖1和圖2，該機構包括撐桿1、鉸鏈座2、杠桿約束桿a3、杠桿約束桿b4、杠桿銷軸5、杠桿6、蓋板連接件7、氣體彈簧8、蓋板9和把手10；鉸鏈座2可通過螺栓與真空腔體連接固定；鉸鏈座2上有可與杠桿約束桿a3連接的鉸鏈孔；鉸鏈座2與杠桿銷軸5連接處的長條孔可使杠桿銷軸5在長條孔中沿長條孔中心線方向自由移動；杠桿6兩端分別有可與鉸鏈座2和氣體彈簧8連接的鉸鏈孔，在這兩個鉸鏈孔之間有可與杠桿約束桿b4連接的鉸鏈孔；杠桿約束桿a3兩端有鉸鏈孔，可分別通過銷軸與鉸鏈座2和杠桿約束桿b4連接；杠桿約束桿b4兩端有鉸鏈孔，可分別通過銷軸與杠桿6和杠桿約束桿a3連接；

杠桿6一端通過杠桿銷軸5與鉸鏈座2連接，鉸鏈座2與杠桿銷軸5連接處的孔為長條孔，杠桿約束桿a3兩端分別通過銷軸與鉸鏈座2和杠桿約束桿b4連接；杠桿約束桿b4兩端分別通過銷軸與杠桿6和杠桿約束桿a3連接；氣體彈簧8兩端分別通過銷軸與鉸鏈座2和杠桿6連接；蓋板9通過蓋板連接件7與杠桿6連接；撐桿1一端和杠桿連接，另一端可連接在真空腔體上；把手10連接于蓋板9上，提拉把1)手可開啟蓋板9。當蓋板9開啟到一定 位置時，撐桿1可保持蓋板9的相對位置不變。

參考圖2，本發(fā)明提供的真空腔體蓋板的開合機構，實現(xiàn)了蓋板在一定角度的開合，當蓋板在真空作用下發(fā)生變形和位移時，所述機構可以使蓋板和真空腔體密封面緊密貼合；參考圖3，當蓋板開啟時，該機構可提供部分開啟蓋板所需的開啟力。