技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種超結(jié)器件，電荷流動區(qū)包括由多個在橫向上交替排列的N型柱和P型柱組成的超結(jié)結(jié)構(gòu)；每一N型柱和其鄰近的P型柱組成一個超結(jié)單元；每一個超結(jié)單元的頂部形成有一個超結(jié)器件單元；各超結(jié)器件單元中包括有P型背柵，P型背柵位于對應(yīng)的P型柱的頂部，至少一個超結(jié)器件單元的P型背柵和P型柱具有一個間隔區(qū)域，該間隔區(qū)域通過N型摻雜使P型背柵和P型柱進(jìn)行分隔。本發(fā)明還公開了一種超結(jié)器件的制造方法。本發(fā)明能增加夾斷電壓，提高超結(jié)單元的耗盡電容隨反向偏置電壓的降低趨勢，提高高壓下的電容，減小開關(guān)中的電壓劇烈變化、降低過沖，改善電路和系統(tǒng)的電磁干擾性能。

技術(shù)研發(fā)人員：肖勝安;曾大杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳尚陽通科技有限公司
文檔號碼：201510934730
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.15
技術(shù)公布日：2017.06.23