本發(fā)明涉及將半導(dǎo)體晶圓等被切斷物切斷分離為元件小片時(shí)貼附該被切斷物的切割片，以及用于該切割片的基材膜及其制造方法。
背景技術(shù)：
以大直徑狀態(tài)制造硅、砷化鎵等的半導(dǎo)體晶圓、玻璃基板、氧化鋁基板等基板類及各種封裝體類(本說(shuō)明書中，將他們統(tǒng)稱為“被切斷物”)，他們被切斷分離(切割)為元件小片(本說(shuō)明書中，稱為“晶片”)。
以確保切割工序及其后的工序中的被切斷物及晶片的操作性為目的，對(duì)于提供給該切割工序的被切斷物，在與用于切斷的切削工具所靠近一側(cè)的相反側(cè)的被切斷物表面上預(yù)先貼附有切割片。這種切割片通常使用聚烯烴類膜或聚氯乙烯類膜等作為基材膜，在該基材膜上設(shè)有粘著劑層。
作為切割工序的具體方法，在一般的全切切割中，通過(guò)旋轉(zhuǎn)的圓刀刃進(jìn)行被切斷物的切斷。此時(shí)，為了可靠地切斷貼附有切割片的被切斷物，不僅切斷被切斷物，還切斷粘著劑層，有時(shí)還進(jìn)一步切斷基材膜的一部分。
此時(shí)，從切割片產(chǎn)生由構(gòu)成粘著劑層及基材膜的材料所形成的切削片，所得到的晶片有時(shí)被該切削片污染。作為這種切削片的形態(tài)之一，有在切割線上或通過(guò)切割而分離的晶片的截面附近附著的絲狀切削片。
若以如上述的絲狀切削片大量附著于晶片的狀態(tài)進(jìn)行晶片的密封，則附著于晶片的絲狀切削片因密封的熱而分解，該熱解物會(huì)破壞封裝體，或者成為在所得到的設(shè)備中運(yùn)行不良的原因。由于通過(guò)清洗難以去除該絲狀切削片，因此切割工序的成品率因絲狀切削片的產(chǎn)生而顯著下降。因此，當(dāng)使用切割片進(jìn)行切割時(shí)，要求防止絲狀切削片的產(chǎn)生。
并且，當(dāng)將多個(gè)晶片被固化的樹(shù)脂密封的封裝體作為被切斷物而進(jìn)行切割時(shí)，與切割半導(dǎo)體晶圓的情況相比，使用更厚的刀刃寬度的切割劃片刀(dicing blade)，切割的切入深度也變得更深。因此，切割時(shí)被切斷去除的基材膜量相比半導(dǎo)體晶圓的情況增加，因此具有絲狀切削片的產(chǎn)生量也增加的傾向。
以抑制這種切削片的產(chǎn)生為目的，專利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了使用被照射1～80Mrad的電子束或γ(伽馬)射線的聚烯烴類膜作為切割片的基材膜的發(fā)明。該發(fā)明中，認(rèn)為構(gòu)成基材膜的樹(shù)脂通過(guò)電子束或γ射線的照射而交聯(lián)，從而切削片的產(chǎn)生得到抑制。
專利文獻(xiàn)1中，作為被照射電子束或γ射線的聚烯烴類膜，例示有聚乙烯、聚丙烯、聚甲基戊烯、乙烯-乙酸乙烯酯共聚物、乙烯-(甲基)丙烯酸共聚物、乙烯-(甲基)丙烯酸甲酯共聚物、乙烯-(甲基)丙烯酸乙酯共聚物、乙烯-離聚物共聚物、乙烯-乙烯醇共聚物、聚丁烯等樹(shù)脂。
在此，本說(shuō)明書中的“(甲基)丙烯酸”是指丙烯酸及甲基丙烯酸這兩者。其他類似術(shù)語(yǔ)也相同。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)平5-211234號(hào)公報(bào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題
然而，由于電子束或γ射線的照射是在將如上述的樹(shù)脂成形為膜狀一次后進(jìn)行的，因此會(huì)增加一道制造工序，具有制造成本相比一般的基材膜高的傾向。
在通過(guò)切割加工將被切斷物單片化，設(shè)為多個(gè)晶片靠近配置于切割片上的狀態(tài)之后，以使這些晶片相互分開(kāi)為目的，進(jìn)行對(duì)切割片賦予張力而使切割片沿主表面內(nèi)方向伸長(zhǎng)的擴(kuò)展工序。在該擴(kuò)展工序中，使環(huán)狀構(gòu)件抵接于處于中央貼合有切割對(duì)象且外周區(qū)域貼合有環(huán)狀框架的狀態(tài)的切割片中的、位于貼合有切割對(duì)象的區(qū)域與貼合有環(huán)狀框架的區(qū)域之間的區(qū)域，并變動(dòng)環(huán)狀構(gòu)件與環(huán)狀框架在鉛垂方向的相對(duì)位置，由此對(duì)切割片賦予張力。上述鉛垂方向的相對(duì)位置的變動(dòng)通常通過(guò)相對(duì)于環(huán)狀構(gòu)件下拉環(huán)狀框架來(lái)進(jìn)行。
近年來(lái)，隨著晶片的小型化，有切割間隔縮小的情況，此時(shí)，為了充份確保擴(kuò)展工序后的晶片之間的間隙，在擴(kuò)展工序中，賦予切割片的張力具有增大的傾向，以使切割片的主表面內(nèi)的伸長(zhǎng)量(擴(kuò)展量)增大。對(duì)于用于這種用途的切割片，要求即使賦予比以往高的張力也不會(huì)斷裂。本說(shuō)明書中，關(guān)于切割片的構(gòu)成要件之一即基材膜，如上所述，即使擴(kuò)展量增大也不易斷裂的基材膜還稱為“擴(kuò)展性優(yōu)異的基材膜”。并且，“切割間隔”是指通過(guò)切割加工而形成的切割線中相互平行且位于最靠近的位置的2條切割線的中心線之間的距離。當(dāng)切割加工通過(guò)旋轉(zhuǎn)的切割劃片刀進(jìn)行時(shí)，切割劃片刀向與切割劃片刀的旋轉(zhuǎn)方向正交的方向的進(jìn)給寬度成為切割間隔。
并且，若如上所述增加擴(kuò)展量，則剛進(jìn)行擴(kuò)展作業(yè)之后的切割片上有時(shí)產(chǎn)生對(duì)其后的工序帶來(lái)影響程度的松弛。具體而言，若由擴(kuò)展作業(yè)引起的松弛量(以切割片中的貼合于環(huán)狀框架的部分的下側(cè)表面為基準(zhǔn)的、切割片底面的鉛垂方向的分開(kāi)距離)過(guò)大，則在搬送時(shí)切割片的松弛底面或其附近容易與異物碰撞，使用切割片時(shí)的操作性下降。因此，當(dāng)切割片的松弛量較大時(shí)，有時(shí)還進(jìn)行局部加熱該切割片而使構(gòu)成切割片的基材膜熱收縮，從而減小切割片的松弛量。本說(shuō)明書中，將切割片的松弛量基于上述基材膜的熱收縮而降低的現(xiàn)象還稱為“復(fù)原”，將能夠提供具有容易發(fā)生該復(fù)原的性質(zhì)及復(fù)原量大的性質(zhì)中的至少一者的切割片的基材膜還稱為“復(fù)原性優(yōu)異的基材膜”。
本發(fā)明的目的為提供一種在切割工序中不易產(chǎn)生切削片，且即使在擴(kuò)展工序中的擴(kuò)展量大時(shí)擴(kuò)展性及復(fù)原性也優(yōu)異的基材膜、具備該基材膜的切割片、以及該基材膜的制造方法。
解決技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)手段
為了解決上述課題，本發(fā)明的發(fā)明人進(jìn)行了研究，結(jié)果得到如下新見(jiàn)解：通過(guò)將基材膜設(shè)為具備切削片抑制層(A)和至少1層樹(shù)脂類單位層的擴(kuò)展層(B)，并將該至少1層樹(shù)脂類單位層中配置于最靠近切削片抑制層(A)的位置的樹(shù)脂類單位層(B1)設(shè)為含有直鏈狀聚乙烯、聚丙烯及熱塑性彈性體的單位層，能夠得到擴(kuò)展性及復(fù)原性優(yōu)異的基材膜。
通過(guò)這種見(jiàn)解得到的本發(fā)明如下。
(1)一種基材膜，其為切割片的基材膜，其特征在于，所述基材膜具備：切削片抑制層(A)；及擴(kuò)展層(B)，其積層于所述切削片抑制層(A)的一主表面上，所述擴(kuò)展層(B)具備至少1層樹(shù)脂類單位層，所述至少1層樹(shù)脂類單位層中配置于最靠近所述切削片抑制層(A)的位置的樹(shù)脂類單位層(B1)含有直鏈狀聚乙烯、聚丙烯及熱塑性彈性體，所述切削片抑制層(A)含有：具有芳香族類環(huán)及脂肪族類環(huán)中的至少一種的熱塑性樹(shù)脂即含環(huán)樹(shù)脂(a1)；以及該含環(huán)樹(shù)脂(a1)以外的烯烴類熱塑性樹(shù)脂即非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)。
(2)上述(1)所述的基材膜，其中，在構(gòu)成所述基材膜的層中的相鄰的兩個(gè)層的所有組合中，該兩個(gè)層為具有拉伸彈性模量E1的層及具有拉伸彈性模量E2的層時(shí)，由下式(I)或(II)得到的拉伸彈性模量比ε為1.0～3.0。
E1≥E2時(shí)，拉伸彈性模量比ε＝E1/E2……(I)
E1＜E2時(shí)，拉伸彈性模量比ε＝E2/E1……(II)
(3)上述(1)或(2)所述的基材膜，其中，所述樹(shù)脂類單位層(B1)含有5質(zhì)量％以上70質(zhì)量％以下的聚丙烯。
(4)上述(1)至(3)中任一項(xiàng)所述的基材膜，其中，所述樹(shù)脂類單位層(B1)含有1質(zhì)量％以上60質(zhì)量％以下的熱塑性彈性體。
(5)上述(1)至(4)中任一項(xiàng)所述的基材膜，其中，所述樹(shù)脂類單位層(B1)所含的熱塑性彈性體為烯烴類彈性體。
(6)上述(1)至(5)中任一項(xiàng)所述的基材膜，其中，所述擴(kuò)展層(B)的厚度相對(duì)于所述基材膜的厚度的比例為30％以上80％以下，所述樹(shù)脂類單位層(B1)相對(duì)于擴(kuò)展層(B)的厚度的比例為30％以上。
(7)上述(1)至(6)中任一項(xiàng)所述的基材膜，其中，所述樹(shù)脂類單位層(B1)含有10質(zhì)量％以上90質(zhì)量％以下的所述直鏈狀聚乙烯。
(8)上述(1)至(7)中任一項(xiàng)所述的基材膜，其中，所述擴(kuò)展層(B)具備多個(gè)所述樹(shù)脂類單位層，在所述多個(gè)樹(shù)脂類單位層中，具有配置于相對(duì)于切削片抑制層(A)最遠(yuǎn)離的位置的、與所述樹(shù)脂類單位層(B1)不同的樹(shù)脂類單位層(B2)，所述樹(shù)脂類單位層(B2)具備含有乙烯-(甲基)丙烯酸類共聚物而成的層。
(9)一種切割片，其特征在于具備：上述(1)至(8)中任一項(xiàng)所述的基材膜；及粘著劑層，其配置于該膜的所述切削片抑制層(A)上。
(10)一種基材膜的制造方法，其為上述(1)至(7)中任一項(xiàng)所述的基材膜的制造方法，其特征在于具備共擠成形工序，所述共擠成形工序中，將包含用于形成所述切削片抑制層(A)的樹(shù)脂組合物(α)及用于形成所述樹(shù)脂類單位層(B1)的樹(shù)脂組合物(β1)的兩種以上的樹(shù)脂組合物共擠成形，得到所述切削片抑制層(A)和所述擴(kuò)展層(B)的積層體。
(11)一種基材膜的制造方法，其為上述(8)的基材膜的制造方法，其特征在于具備共擠成形工序，所述共擠成形工序中，將包含用于形成所述切削片抑制層(A)的樹(shù)脂組合物(α)、用于形成所述樹(shù)脂類單位層(B1)的樹(shù)脂組合物(β1)及用于形成所述樹(shù)脂類單位層(B2)的樹(shù)脂組合物(β2)的三種以上的樹(shù)脂組合物共擠成形，得到所述切削片抑制層(A)和所述擴(kuò)展層(B)的積層體。
發(fā)明效果
根據(jù)本發(fā)明，可以提供一種擴(kuò)展性及復(fù)原性優(yōu)異的基材膜。并且，通過(guò)本發(fā)明，還可以提供一種具備上述基材膜的切割片。另外，根據(jù)本發(fā)明的制造方法，能夠有效地制造上述基材膜。
附圖說(shuō)明
圖1為本發(fā)明的一實(shí)施方式的切割片的截面圖。
具體實(shí)施方式
以下，對(duì)本發(fā)明的一實(shí)施方式的切割片的構(gòu)成要件及其制造方法等進(jìn)行說(shuō)明。
1.基材膜
如圖1所示，作為基本構(gòu)成，本發(fā)明的一實(shí)施方式的切割片1具備配置于基材膜2上的粘著劑層3。該基材膜2具備切削片抑制層(A)和積層于切削片抑制層(A)的一主表面上的擴(kuò)展層(B)。作為本實(shí)施方式的一例，圖1所示的切割片1的擴(kuò)展層(B)具備配置于靠近切削片抑制層(A)的位置的樹(shù)脂類單位層(B1)及配置于相對(duì)于切削片抑制層(A)遠(yuǎn)離的位置的樹(shù)脂類單位層(B2)。
基材膜2可以由切削片抑制層(A)和擴(kuò)展層(B)構(gòu)成，也可以進(jìn)一步積層有其他的層。在任一情況下，本發(fā)明的一實(shí)施方式的切割片1中，粘著劑層3配置于基材膜2的兩個(gè)主表面中比擴(kuò)展層(B)更靠近切削片抑制層(A)的位置的主表面上。
(1)切削片抑制層(A)
切削片抑制層(A)含有：具有芳香族類環(huán)及脂肪族類環(huán)中的至少一種的熱塑性樹(shù)脂即含環(huán)樹(shù)脂(a1)；以及該含環(huán)樹(shù)脂(a1)以外的烯烴類熱塑性樹(shù)脂即非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)。
含環(huán)樹(shù)脂(a1)和非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)因構(gòu)成各樹(shù)脂的高分子實(shí)質(zhì)上是否具有具備環(huán)狀骨架的化學(xué)結(jié)構(gòu)(環(huán)狀結(jié)構(gòu))而異，基于此，其密度、拉伸彈性模量、軟化點(diǎn)、流化溫度、熔體質(zhì)量流動(dòng)速率(MFR)等物理特性不同。
切削片抑制層(A)中的含環(huán)樹(shù)脂(a1)的含量?jī)?yōu)選為超過(guò)3.0質(zhì)量％且60質(zhì)量％以下，更加優(yōu)選為3.5質(zhì)量％以上55質(zhì)量％以下，特別優(yōu)選為5.0質(zhì)量％以上55質(zhì)量％以下，進(jìn)一步優(yōu)選為10質(zhì)量％以上45質(zhì)量％以下。通過(guò)切削片抑制層(A)中的含環(huán)樹(shù)脂(a1)的含量超過(guò)3.0質(zhì)量％，能夠穩(wěn)定地得到抑制切削片的產(chǎn)生的效果(以下還稱為“切削片抑制效果”)。另一方面，通過(guò)切削片抑制層(A)中的含環(huán)樹(shù)脂(a1)的含量為60質(zhì)量％以下，能夠有效地抑制切削片抑制層(A)的加工性的下降等。
接著，對(duì)含環(huán)樹(shù)脂(a1)及非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
(1-1)含環(huán)樹(shù)脂(a1)
含環(huán)樹(shù)脂(a1)為具有芳香族類環(huán)及脂肪族類環(huán)中的至少一種的熱塑性樹(shù)脂。
芳香族類環(huán)是指具備至少一個(gè)環(huán)狀骨架的化學(xué)結(jié)構(gòu)(本說(shuō)明書中，將這種化學(xué)結(jié)構(gòu)稱為“環(huán)狀結(jié)構(gòu)”)，且該環(huán)狀骨架的至少一個(gè)滿足休克爾規(guī)則并具有以環(huán)狀離域的電子。以下，將具有該以環(huán)狀離域的電子的環(huán)狀骨架稱為芳香環(huán)。芳香環(huán)大致區(qū)分為如苯環(huán)那樣的單環(huán)和如萘環(huán)那樣的稠環(huán)。形成芳香環(huán)的骨架原子可以僅由碳構(gòu)成，也可以為如吡啶、呋喃、噻吩等那樣的骨架原子的一個(gè)以上為碳以外的元素的雜環(huán)。另外，設(shè)為環(huán)戊二烯負(fù)離子等非苯型芳香環(huán)也包含于本實(shí)施方式的芳香族類環(huán)中。構(gòu)成本實(shí)施方式的芳香族類環(huán)的骨架的原子數(shù)并沒(méi)有限制，甲基、羥基等官能團(tuán)可以與形成該骨架的原子的一個(gè)以上結(jié)合。此時(shí)，如四氫化萘般結(jié)合于芳香環(huán)的官能團(tuán)可以形成環(huán)狀結(jié)構(gòu)。
脂肪族類環(huán)是指環(huán)狀骨架中任意一個(gè)均不具有芳香族類環(huán)所具有的以環(huán)狀離域的電子的環(huán)狀結(jié)構(gòu)。換言之，脂肪族類環(huán)是由芳香環(huán)以外的環(huán)狀骨架構(gòu)成的環(huán)狀結(jié)構(gòu)。形成脂肪族類環(huán)的環(huán)狀骨架可以例示出如環(huán)己烷那樣的單環(huán)、如降冰片烷、金剛烷那樣的交聯(lián)環(huán)、如萘烷那樣的稠環(huán)、如螺[4,5]癸烷那樣的螺環(huán)。如降冰片烯等般，形成脂肪族類環(huán)的環(huán)狀骨架的鍵的一部分可以是不飽和鍵，如四氫呋喃般，形成脂肪族類環(huán)的環(huán)狀骨架的原子的一部分可以是碳以外的元素。構(gòu)成本實(shí)施方式的脂肪族類環(huán)的骨架原子數(shù)并沒(méi)有限制。形成脂肪族類環(huán)的環(huán)狀骨架的原子上結(jié)合的氫中的一個(gè)以上可以被取代為甲基、羥基等官能團(tuán)。并且，如環(huán)己酮等環(huán)狀酮或γ-丁內(nèi)酯等內(nèi)酯般，骨架原子可以構(gòu)成羰基。
構(gòu)成含環(huán)樹(shù)脂(a1)的熱塑性樹(shù)脂(以下有時(shí)稱為高分子)中的芳香族類環(huán)及脂肪族類環(huán)的位置是任意的?？梢孕纬蓸?gòu)成含環(huán)樹(shù)脂(a1)的高分子中的主鏈的一部分，也可以作為具有環(huán)狀結(jié)構(gòu)的官能團(tuán)(例如苯基、金剛烷基等)結(jié)合于該高分子的主鏈或側(cè)鏈。作為芳香族類環(huán)構(gòu)成主鏈的一部分的高分子，可以例示出聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚對(duì)苯二甲酸丁二醇酯等聚酯、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺、聚芳基酮等。作為脂肪族類環(huán)構(gòu)成主鏈的一部分的高分子，可以例示出環(huán)烯烴聚合物、環(huán)烯烴共聚物、將降冰片烯作為單體的降冰片烯樹(shù)脂、將降冰片烯及乙烯作為單體的共聚物、將四環(huán)十二碳烯及乙烯作為單體的共聚物、將雙環(huán)戊二烯及乙烯作為單體的共聚物等。作為具有環(huán)狀結(jié)構(gòu)的官能團(tuán)，除上述苯基、金剛烷基以外，還可以例示出如芴基、聯(lián)苯基等由環(huán)集合構(gòu)成的基團(tuán)。
芳香族類環(huán)和脂肪族類環(huán)可以包含于一個(gè)高分子內(nèi)，此時(shí)的形態(tài)可以是雙方構(gòu)成主鏈的一部分，也可以是一方或雙方作為官能團(tuán)結(jié)合于主鏈或側(cè)鏈。作為后者的例子，可以舉出如苊烯共聚物般，構(gòu)成主鏈的一部分的部分為脂肪族環(huán)但具有萘環(huán)結(jié)構(gòu)作為官能團(tuán)。
含環(huán)樹(shù)脂(a1)的優(yōu)選結(jié)構(gòu)是包含交聯(lián)環(huán)骨架環(huán)的脂肪族類環(huán)構(gòu)成形成樹(shù)脂的高分子的主鏈的至少一部分的結(jié)構(gòu)，作為具備這種結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂，優(yōu)選降冰片烯類單體的開(kāi)環(huán)易位聚合物氫化聚合物(具體可以獲得日本ZEON CORPORATION制ZEONEX(注冊(cè)商標(biāo))系列)、降冰片烯和乙烯的共聚物(具體可以獲得Polyplastics Co.,Ltd.制TOPAS(注冊(cè)商標(biāo))系列)、基于雙環(huán)戊二烯和四環(huán)戊十二碳烯的開(kāi)環(huán)聚合的共聚物(具體可以獲得日本ZEON CORPORATION制ZEONOR(注冊(cè)商標(biāo))系列)、乙烯和四環(huán)十二碳烯的共聚物(具體可以獲得Mitsui Chemicals,Inc.制APEL(注冊(cè)商標(biāo))系列)、將雙環(huán)戊二烯和甲基丙烯酸酯作為原料的包含極性基的環(huán)狀烯烴樹(shù)脂(具體可以獲得JSR Corporation制ARTON(注冊(cè)商標(biāo))系列)等。
并且，含環(huán)樹(shù)脂(a1)還優(yōu)選為芳香族類環(huán)構(gòu)成形成樹(shù)脂的高分子的主鏈的至少一部分的結(jié)構(gòu)。作為具備這種結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂，優(yōu)選苯乙烯-丁二烯共聚物(具體可以獲得Asahi Kasei Chemicals Corporation制ASAFLEX(注冊(cè)商標(biāo))系列、DENKI KAGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA COMPANY制CLIALEN(注冊(cè)商標(biāo))系列、Chevron Phillips Chemical Company制K-RESIN系列、BASF Corporation制STYLOLUX系列、ATOFINA Corporation制FINACLEAR系列)等。
構(gòu)成含環(huán)樹(shù)脂(a1)的高分子可以是一種，也可以是將多種高分子混合而成。本說(shuō)明書中，高分子的種類不同是指分支狀態(tài)(即，高分子的構(gòu)造)、分子量、構(gòu)成高分子的單體的配比平衡及構(gòu)成高分子的單體的組成以及他們的組合對(duì)物理特性等帶來(lái)較大影響的程度不同。
含環(huán)樹(shù)脂(a1)可以具有交聯(lián)結(jié)構(gòu)。帶來(lái)交聯(lián)結(jié)構(gòu)的交聯(lián)劑的種類是任意的，典型的如過(guò)氧化二枯基那樣的有機(jī)過(guò)氧化物或具有環(huán)氧基的化合物。交聯(lián)劑可以在構(gòu)成含環(huán)樹(shù)脂(a1)的高分子的同一種類彼此之間交聯(lián)，也可以在不同種類的高分子之間交聯(lián)。交聯(lián)劑的結(jié)合部位也是任意的?？梢耘c構(gòu)成形成含環(huán)樹(shù)脂(a1)的高分子中的主鏈的原子交聯(lián)，也可以與構(gòu)成側(cè)鏈或官能團(tuán)等主鏈以外的原子交聯(lián)。交聯(lián)程度也是任意的，但若交聯(lián)程度過(guò)度進(jìn)行，則擔(dān)心包含含環(huán)樹(shù)脂(a1)的切削片抑制層(A)的加工性(尤其是成形性)過(guò)度下降，或者切削片抑制層(A)的表面性狀過(guò)度劣化，或者切削片抑制層(A)的耐脆性下降，因此應(yīng)限制在不會(huì)發(fā)生這種問(wèn)題的范圍內(nèi)。
含環(huán)樹(shù)脂(a1)可以具有結(jié)晶性，也可以是非結(jié)晶性。從與非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)混合并成形于膜上的角度考慮，含環(huán)樹(shù)脂(a1)優(yōu)選為非結(jié)晶性。
(1-2)非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂
非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)由上述含環(huán)樹(shù)脂(a1)以外的、即實(shí)質(zhì)上均不具有芳香族類環(huán)及脂肪族類環(huán)中的任一者的烯烴類熱塑性樹(shù)脂構(gòu)成。本實(shí)施方式中，烯烴類熱塑性樹(shù)脂是指如上所述將烯烴作為單體的均聚物及共聚物、以及將烯烴和烯烴以外的分子作為單體的共聚物，是聚合后的樹(shù)脂中基于烯烴單元的部分的質(zhì)量比例為1.0質(zhì)量％以上的熱塑性樹(shù)脂的統(tǒng)稱。
構(gòu)成本實(shí)施方式的非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)的高分子可以是直鏈狀，也可以具有側(cè)鏈。并且，還可以具有非環(huán)式的官能團(tuán)，其種類及取代密度是任意的?？梢允侨缤榛惴磻?yīng)性低的官能團(tuán)，也可以是如羧酸基般反應(yīng)性高的官能團(tuán)。
非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)優(yōu)選由至少一種非環(huán)式聚烯烴(本說(shuō)明書中，“非環(huán)式聚烯烴”是指將不具有環(huán)狀結(jié)構(gòu)的烯烴作為單體的均聚物及共聚物的統(tǒng)稱)構(gòu)成。當(dāng)非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)由非環(huán)式聚烯烴構(gòu)成時(shí)，非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)和含環(huán)樹(shù)脂(a1)的物理特性的差異變得更加顯著，因此可以容易得到切削片抑制效果。非環(huán)式聚烯烴中的分支程度并沒(méi)有特別限定。
作為非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)的具體例，可以舉出聚乙烯(直鏈狀低密度聚乙烯、低密度聚乙烯、中密度聚乙烯、高密度聚乙烯)、乙烯-烯烴共聚物(將乙烯和乙烯以外的烯烴作為單體的共聚物)、乙烯-乙酸乙烯酯共聚物、乙烯-(甲基)丙烯酸共聚物、乙烯-(甲基)丙烯酸酯共聚物等乙烯類共聚物、聚丙烯、聚丁烯、聚甲基戊烯等。
構(gòu)成非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)的高分子可以是一種，也可以是將多種高分子混合而成。
作為非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)，優(yōu)選聚乙烯(直鏈狀低密度聚乙烯、低密度聚乙烯、中密度聚乙烯、高密度聚乙烯)、乙烯-烯烴共聚物、乙烯-乙酸乙烯酯共聚物、乙烯-(甲基)丙烯酸共聚物、乙烯-(甲基)丙烯酸酯共聚物等乙烯類共聚物，更加優(yōu)選聚乙烯(低密度聚乙烯、中密度聚乙烯、高密度聚乙烯)、乙烯-烯烴共聚物。
作為構(gòu)成乙烯-烯烴共聚物的烯烴，例如可以舉出丙烯、1-丁烯、1-己烯、1-辛烯、4-甲基-1-戊烯等丙烯、碳數(shù)為4以上18以下的α烯烴單體等。
當(dāng)上述非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)為乙烯-烯烴共聚物時(shí)，聚合后的樹(shù)脂中基于乙烯單元的部分的質(zhì)量比例為1.0質(zhì)量％以上即可。若基于乙烯單元的部分的質(zhì)量比例在上述范圍內(nèi)，則可以穩(wěn)定地容易得到切削片抑制效果。
從加大非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)與含環(huán)樹(shù)脂(a1)之間的物理特性的差異來(lái)穩(wěn)定地得到切削片抑制效果的角度考慮，上述聚合后的樹(shù)脂中基于乙烯單元的部分的質(zhì)量比例優(yōu)選為20質(zhì)量％以上，更加優(yōu)選為50質(zhì)量％以上，進(jìn)一步優(yōu)選為70質(zhì)量％以上。
在此，非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)可以具有交聯(lián)結(jié)構(gòu)。帶來(lái)交聯(lián)結(jié)構(gòu)的交聯(lián)劑的種類是任意的，典型的如過(guò)氧化二枯基等有機(jī)過(guò)氧化物或具有環(huán)氧基的化合物。交聯(lián)劑可以在構(gòu)成非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)的高分子的一種彼此之間交聯(lián)，也可以在不同種類的高分子之間交聯(lián)。交聯(lián)劑的結(jié)合部位也是任意的。交聯(lián)劑可以與構(gòu)成形成非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)的高分子中的主鏈的原子交聯(lián)，也可以與構(gòu)成側(cè)鏈和官能團(tuán)等主鏈以外的原子交聯(lián)。交聯(lián)程度也是任意的，若交聯(lián)程度過(guò)度進(jìn)行，則非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)與含環(huán)樹(shù)脂(a1)的物理特性之差變小，擔(dān)心表現(xiàn)出抑制切削片的產(chǎn)生的功能下降的傾向。因而，交聯(lián)程度應(yīng)限制在不會(huì)發(fā)生這種問(wèn)題的范圍內(nèi)。
若以熔體質(zhì)量流動(dòng)速率(190℃、2.16kgf)的范圍表示本實(shí)施方式的非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)中的熱塑性的優(yōu)選程度，則為0.5g/10分鐘以上10g/10分鐘以下，若為2.0g/10分鐘以上7g/10分鐘以下則更為優(yōu)選。從實(shí)現(xiàn)切削片抑制層(A)中的良好的相分離結(jié)構(gòu)的角度考慮，優(yōu)選非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)的熔體質(zhì)量流動(dòng)速率為與含環(huán)樹(shù)脂(a1)的熔體質(zhì)量流動(dòng)速率相同的程度以上。
非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)可以是非晶性，也可以具有結(jié)晶性。
(1-3)切削片抑制層(A)中的其他成分
切削片抑制層(A)除上述含環(huán)樹(shù)脂(a1)及非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)以外，還可以含有其他成分。作為這種其他成分，可以例示出異戊二烯橡膠和丁腈橡膠、丙烯酸橡膠、氨酯橡膠、丁二烯橡膠或其共聚物等熱塑性彈性體樹(shù)脂。這些其他成分在切削片抑制層(A)中的含量?jī)?yōu)選設(shè)定在可以得到切削片抑制層(A)的切削片抑制效果的范圍內(nèi)。
(2)擴(kuò)展層(B)
擴(kuò)展層(B)具備至少1層樹(shù)脂類單位層。即，擴(kuò)展層(B)可以具有單層結(jié)構(gòu)，也可以具有積層結(jié)構(gòu)。擴(kuò)展層(B)具備樹(shù)脂類單位層(B1)作為該層所具備的至少1層樹(shù)脂類單位層中配置于最靠近切削片抑制層(A)的位置的單位層。當(dāng)擴(kuò)展層(B)為單層結(jié)構(gòu)時(shí)，擴(kuò)展層(B)由樹(shù)脂類單位層(B1)構(gòu)成。
(2-1)樹(shù)脂類單位層(B1)
配置于最靠近切削片抑制層(A)的位置的樹(shù)脂類單位層(B1)含有直鏈狀聚乙烯、聚丙烯及熱塑性彈性體。
本說(shuō)明書中，“直鏈狀聚乙烯”是指乙烯和α烯烴(α位具有烯屬不飽和鍵的碳數(shù)為4以上的烯烴)的共聚物。直鏈狀聚乙烯的具體結(jié)構(gòu)并沒(méi)有特別限定。作為成為帶來(lái)直鏈狀聚乙烯的單體的α烯烴，可以例示出1-丁烯、1-己烯、1-辛烯等。直鏈狀聚乙烯可以由一種聚合物構(gòu)成，也可以是多種聚合物的混合物。
通過(guò)樹(shù)脂類單位層(B1)含有直鏈狀聚乙烯，能夠得到擴(kuò)展性及復(fù)原性優(yōu)異的基材膜2。從更加穩(wěn)定地得到擴(kuò)展性及復(fù)原性優(yōu)異的基材膜2的角度考慮，樹(shù)脂類單位層(B1)優(yōu)選含有10質(zhì)量％以上的直鏈狀聚乙烯，更加優(yōu)選含有15質(zhì)量％以上，特別優(yōu)選含有20質(zhì)量％以上。可以進(jìn)一步提高樹(shù)脂類單位層(B1)中的直鏈狀聚乙烯的含量，可以是30質(zhì)量％以上，也可以是40質(zhì)量％以上，還可以是50質(zhì)量％以上。樹(shù)脂類單位層(B1)中的直鏈狀聚乙烯的含量的上限只要在不使樹(shù)脂類單位層(B1)所含有的其他成分(聚丙烯、熱塑性彈性體等)的含量過(guò)度下降的范圍內(nèi)即可。樹(shù)脂類單位層(B1)中的直鏈狀聚乙烯的含量可以是90質(zhì)量％以下，也可以是80質(zhì)量％以下，還可以是70質(zhì)量％以下。
直鏈狀聚乙烯在23℃下的密度(本說(shuō)明書中，沒(méi)有限制的“密度”是指在23℃下的密度)并沒(méi)有特別限定。從更加穩(wěn)定地得到擴(kuò)展性及復(fù)原性優(yōu)異的基材膜2的角度等考慮，直鏈狀聚乙烯的密度優(yōu)選為860kg/m3以上且小于940kg/m3，更加優(yōu)選為870kg/m3以上且小于935kg/m3，進(jìn)一步優(yōu)選為890kg/m3以上且小于930kg/m3，特別優(yōu)選為910kg/m3以上且小于930kg/m3。
直鏈狀聚乙烯所具有的熱塑性的程度并沒(méi)有特別限定。若以熔體質(zhì)量流動(dòng)速率(測(cè)定條件：溫度190℃，負(fù)荷2.16kgf，以下相同)的范圍表示熱塑性的優(yōu)選程度，則為0.5g/10分鐘以上10g/10分鐘以下，若為2.0g/10分鐘以上7g/10分鐘以下則更為優(yōu)選。
本說(shuō)明書中，“聚丙烯”是指包含丙烯的單體的均聚物及共聚物的統(tǒng)稱。聚丙烯可以由一種聚合物構(gòu)成，也可以是多種聚合物的混合物。通過(guò)樹(shù)脂類單位層(B1)含有聚丙烯，能夠得到擴(kuò)展性及復(fù)原性優(yōu)異的基材膜2。
當(dāng)聚丙烯包含共聚物時(shí)，該共聚物中的丙烯以外的單體的種類并沒(méi)有限定。作為這種單體的例子，可以舉出乙烯、1-丁烯、1-己烯及1-辛烯等碳數(shù)為4～18的α烯烴。
當(dāng)聚丙烯包含共聚物時(shí)，關(guān)于該共聚物中源自丙烯的結(jié)構(gòu)單元的含有率，作為丙烯相對(duì)于用于形成該共聚物的單體整體的質(zhì)量比例，通常是75質(zhì)量％以上99.9質(zhì)量％以下，優(yōu)選為80質(zhì)量％以上99質(zhì)量％以下，更加優(yōu)選為85質(zhì)量％以上99質(zhì)量％以下，進(jìn)一步優(yōu)選為90質(zhì)量％以上99質(zhì)量％以下。
當(dāng)聚丙烯包含共聚物時(shí)，該共聚物的具體形態(tài)并沒(méi)有特別限定，可以是無(wú)規(guī)共聚物、嵌段共聚物及接枝共聚物中的任意一種，聚丙烯可以含有他們中的兩種以上的共聚物。
從更加穩(wěn)定地得到擴(kuò)展性及復(fù)原性優(yōu)異的基材膜2的角度考慮，樹(shù)脂類單位層(B1)優(yōu)選含有5質(zhì)量％以上的聚丙烯，更加優(yōu)選含有10質(zhì)量％以上，特別優(yōu)選含有12質(zhì)量％以上?？梢赃M(jìn)一步提高樹(shù)脂類單位層(B1)中的聚丙烯的含量，可以是15質(zhì)量％以上，也可以是30質(zhì)量％以上。樹(shù)脂類單位層(B1)中的聚丙烯的含量的上限只要在不使樹(shù)脂類單位層(B1)所含有的其他成分(直鏈狀聚乙烯、熱塑性彈性體等)的含量過(guò)度下降的范圍內(nèi)即可。樹(shù)脂類單位層(B1)中的聚丙烯的含量可以是70質(zhì)量％以下，也可以是60質(zhì)量％以下，還可以小于50質(zhì)量％。
從輕松地制造樹(shù)脂類單位層(B1)等角度考慮，聚丙烯優(yōu)選為熱塑性樹(shù)脂。此時(shí)，聚丙烯處于未交聯(lián)或其交聯(lián)程度被適當(dāng)控制的狀態(tài)。當(dāng)聚丙烯為熱塑性樹(shù)脂時(shí)，熔體質(zhì)量流動(dòng)速率(MFR)優(yōu)選為0.5g/10分鐘以上10g/10分鐘以下，更加優(yōu)選為2.0g/10分鐘以上7g/10分鐘以下。
本說(shuō)明書中，“熱塑性彈性體”是指在加工及使用中即使在其材料特有的溫度范圍內(nèi)反覆加熱及冷卻時(shí)也依然保持熱塑性、且在常溫下具有橡膠狀彈性的高分子物質(zhì)。在此，橡膠狀彈性是在弱的應(yīng)力下大幅變形之后去除該應(yīng)力時(shí)表現(xiàn)出欲快速幾乎完全恢復(fù)原尺寸及形狀的物質(zhì)的傾向，該傾向主要是由變形所引起的熵減少所產(chǎn)生。通過(guò)樹(shù)脂類單位層(B1)含有熱塑性彈性體，能夠得到擴(kuò)展性及復(fù)原性優(yōu)異的基材膜2。
示出熱塑性彈性體所具有的具體物性如下。即，若外力被去除，則幾乎瞬間恢復(fù)原尺寸。拉伸彈性模量為0.1MPa左右至100MPa左右。斷裂時(shí)的伸長(zhǎng)為100％左右至800％左右。拉伸強(qiáng)度為5MPa左右至40MPa左右。只要具備這種物性，熱塑性彈性體的具體種類就沒(méi)有限定。作為熱塑性彈性體，可以例示出烯烴類彈性體、苯乙烯類彈性體、氨酯類彈性體等。
作為烯烴類彈性體，可以例示出丙烯和α烯烴的共聚物；α烯烴聚合物(使α烯烴聚合而成的聚合物，可以是均聚物及共聚物中的任一種)；乙烯-丙烯橡膠(EPM)、乙烯-丙烯-二烯橡膠(EPDM)等乙烯-丙烯類橡膠；氯磺化聚乙烯(CSM)等。在他們之中，作為α烯烴聚合物，工業(yè)上可以舉出Mitsui Chemicals,Inc.制TAFMER(注冊(cè)商標(biāo))系列和Dow Chemical Company制AFFINITY(注冊(cè)商標(biāo))系列、ENGAGE(注冊(cè)商標(biāo))系列、Exxon Mobil Corporation制EXACT(注冊(cè)商標(biāo))系列、Sumitomo Chemical Co.,Ltd.制EXCELLEN(注冊(cè)商標(biāo))FX系列等商品名。
苯乙烯類彈性體由包含源自苯乙烯或其衍生物(苯乙烯類化合物)的結(jié)構(gòu)單元的共聚物構(gòu)成，在包含常溫的溫度區(qū)域具有橡膠狀彈性，并且具有熱塑性。作為苯乙烯類彈性體，可以例示出苯乙烯-共軛二烯共聚物及苯乙烯-烯烴共聚物等。作為苯乙烯-共軛二烯共聚物的具體例，可以例示出苯乙烯-丁二烯共聚物、苯乙烯-丁二烯-苯乙烯共聚物(SBS)、苯乙烯-丁二烯-丁烯-苯乙烯共聚物、苯乙烯-異戊二烯共聚物、苯乙烯-異戊二烯-苯乙烯共聚物(SIS)、苯乙烯-乙烯-異戊二烯-苯乙烯共聚物等未氫化苯乙烯-共軛二烯共聚物；苯乙烯-乙烯/丙烯-苯乙烯共聚物(SEPS、苯乙烯-異戊二烯-苯乙烯共聚物的氫化物)、苯乙烯-乙烯-丁烯-苯乙烯共聚物(SEBS、苯乙烯-丁二烯共聚物的氫化物)等氫化苯乙烯-共軛二烯共聚物等。并且，工業(yè)上可以舉出Asahi Kasei Corporation制TUFPRENE(注冊(cè)商標(biāo))、KRATON Polymers Japan Ltd.制KRATON(注冊(cè)商標(biāo))、Sumitomo Chemical Co.,Ltd.制Sumitomo TPE-SB、Daicel Corporation制EPOFRIEND(注冊(cè)商標(biāo))、Mitsubishi Chemical Corporation制RABALON(注冊(cè)商標(biāo))、KURARAY Co.,Ltd.制SEPTON(注冊(cè)商標(biāo))、Asahi Kasei Corporation制TUFTEC(注冊(cè)商標(biāo))等商品名。
熱塑性彈性體可以由一種聚合物構(gòu)成，也可以是多種聚合物的混合物。
這些熱塑性彈性體中，從提高與樹(shù)脂類單位層(B1)所含有的其他成分、尤其與直鏈狀聚乙烯及聚丙烯的相溶性的角度考慮，優(yōu)選烯烴類彈性體。
從更加穩(wěn)定地得到擴(kuò)展性及復(fù)原性優(yōu)異的基材膜2的角度考慮，樹(shù)脂類單位層(B1)優(yōu)選含有1質(zhì)量％以上的熱塑性彈性體，更加優(yōu)選含有2質(zhì)量％以上，特別優(yōu)選含有5質(zhì)量％以上。樹(shù)脂類單位層(B1)中的熱塑性彈性體的含量的上限只要在不使樹(shù)脂類單位層(B1)所含有的其他成分(直鏈狀聚乙烯、聚丙烯等)的含量過(guò)度下降的范圍內(nèi)即可。樹(shù)脂類單位層(B1)中的熱塑性彈性體的含量可以是60質(zhì)量％以下，也可以是50質(zhì)量％以下，還可以是40質(zhì)量％以下。
樹(shù)脂類單位層(B1)可以含有上述樹(shù)脂以外的樹(shù)脂(本說(shuō)明書中，將該樹(shù)脂還稱為“副樹(shù)脂”)。作為副樹(shù)脂，可以舉出低密度聚乙烯(LDPE，密度：910kg/m3以上且小于930kg/m3)、超低密度聚乙烯(VLDPE，密度：880kg/m3以上且小于910kg/m3)、乙烯-丙烯共聚物、乙烯-乙酸乙烯酯共聚物(EVA)、乙烯-乙酸乙烯酯-馬來(lái)酸酐共聚物、乙烯-(甲基)丙烯酸共聚物、乙烯-丙烯酸丁酯共聚物(EBA)等乙烯-(甲基)丙烯酸酯共聚物、乙烯-(甲基)丙烯酸酯-馬來(lái)酸酐共聚物等。當(dāng)樹(shù)脂類單位層(B1)含有副樹(shù)脂時(shí)，副樹(shù)脂可以由一種樹(shù)脂構(gòu)成，也可以由多種樹(shù)脂構(gòu)成。
樹(shù)脂類單位層(B1)的斷裂伸長(zhǎng)率并沒(méi)有限定，但優(yōu)選大的。優(yōu)選100％以上，更加優(yōu)選200％以上，特別優(yōu)選500％以上。樹(shù)脂類單位層(B1)的斷裂伸長(zhǎng)率可以具有由制造工序而產(chǎn)生的各向異性。
樹(shù)脂類單位層(B1)的厚度并沒(méi)有特別限定。當(dāng)樹(shù)脂類單位層(B1)過(guò)薄時(shí)，有可能失去設(shè)置樹(shù)脂類單位層(B1)的意義，當(dāng)樹(shù)脂類單位層(B1)過(guò)厚時(shí)，有可能失去設(shè)置后述的樹(shù)脂類單位層(B2)的意義，考慮這一點(diǎn)適當(dāng)?shù)卦O(shè)定即可。樹(shù)脂類單位層(B1)的厚度通常優(yōu)選設(shè)為5μm以上150μm以下，更加優(yōu)選為10μm以上100μm以下，特別優(yōu)選為15μm以上60μm以下。
樹(shù)脂類單位層(B1)的厚度相對(duì)于擴(kuò)展層(B)的厚度的比例也沒(méi)有特別限定。當(dāng)擴(kuò)展層(B)由樹(shù)脂類單位層(B1)構(gòu)成時(shí)，該比例為100％。當(dāng)擴(kuò)展層(B)由多個(gè)單位層構(gòu)成時(shí)，該比例優(yōu)選設(shè)為5％以上70％以下，更加優(yōu)選為10％以上60％以下，特別優(yōu)選為20％以上50％以下。
(2-2)樹(shù)脂類單位層(B2)
當(dāng)擴(kuò)展層(B)由多個(gè)單位層構(gòu)成時(shí)，擴(kuò)展層(B)優(yōu)選具備含有乙烯-(甲基)丙烯酸類共聚物的樹(shù)脂類單位層(B2)。關(guān)于樹(shù)脂類單位層(B2)在擴(kuò)展層(B)中的配置，樹(shù)脂類單位層(B2)配置于比樹(shù)脂類單位層(B1)更遠(yuǎn)離切削片抑制層(A)的位置，優(yōu)選配置于最遠(yuǎn)離切削片抑制層(A)的位置。本說(shuō)明書中，“乙烯-(甲基)丙烯酸類共聚物”是指乙烯和選自(甲基)丙烯酸及(甲基)丙烯酸酯構(gòu)成的組中的一種以上化合物的共聚物。作為(甲基)丙烯酸酯，可以例示出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸羥基乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯等。通過(guò)擴(kuò)展層(B)具備這種樹(shù)脂類單位層(B2)，可以容易得到復(fù)原性更加優(yōu)異的基材膜2。
源自乙烯的結(jié)構(gòu)單元相對(duì)于乙烯-(甲基)丙烯酸類共聚物所具有的結(jié)構(gòu)單元整體的摩爾比例優(yōu)選為89％以上，更加優(yōu)選為90％以上，特別優(yōu)選為91％以上。樹(shù)脂類單位層(B2)所含有的乙烯-(甲基)丙烯酸類共聚物可以由一種聚合物構(gòu)成，也可以由多種聚合物構(gòu)成。
樹(shù)脂類單位層(B2)所含有的乙烯-(甲基)丙烯酸類共聚物的含量相對(duì)于構(gòu)成樹(shù)脂類單位層(B2)的所有樹(shù)脂優(yōu)選為50質(zhì)量％以上，更加優(yōu)選為70質(zhì)量％以上，特別優(yōu)選為90質(zhì)量％以上。樹(shù)脂類單位層(B2)可以由乙烯-(甲基)丙烯酸類共聚物構(gòu)成。
樹(shù)脂類單位層(B2)可以含有乙烯-(甲基)丙烯酸類共聚物以外的乙烯類樹(shù)脂(b1)。本說(shuō)明書中，“乙烯類樹(shù)脂(b1)”是指將包含源自乙烯的結(jié)構(gòu)單元的高分子作為主成分的熱塑性樹(shù)脂。源自乙烯的結(jié)構(gòu)單元相對(duì)于乙烯類樹(shù)脂(b1)所具有的結(jié)構(gòu)單元整體的摩爾比例優(yōu)選為60質(zhì)量％以上100質(zhì)量％以下，更加優(yōu)選為70質(zhì)量％以上99.5質(zhì)量％以下。
作為乙烯類樹(shù)脂(b1)，例如可以舉出低密度聚乙烯(LDPE，密度：910kg/m3以上且小于930kg/m3)、超低密度聚乙烯(VLDPE，密度：880kg/m3以上且小于910kg/m3)、乙烯-丙烯共聚物、乙烯-乙酸乙烯酯共聚物(EVA)、乙烯-乙酸乙烯酯-馬來(lái)酸酐共聚物等。乙烯類樹(shù)脂(b1)可以由一種樹(shù)脂構(gòu)成，也可以由多種樹(shù)脂構(gòu)成。
樹(shù)脂類單位層(B2)可以含有乙烯-(甲基)丙烯酸類共聚物及乙烯類樹(shù)脂(b1)以外的樹(shù)脂。作為這種樹(shù)脂，可以例示出聚丙烯、苯乙烯類彈性體等。
樹(shù)脂類單位層(B2)的厚度并沒(méi)有特別限定。當(dāng)樹(shù)脂類單位層(B2)過(guò)薄時(shí)，擴(kuò)展層(B)整體的物性被樹(shù)脂類單位層(B1)支配而有可能失去設(shè)置樹(shù)脂類單位層(B2)的意義，當(dāng)樹(shù)脂類單位層(B2)過(guò)厚時(shí)，樹(shù)脂類單位層(B1)的厚度相對(duì)變得過(guò)薄而有可能失去設(shè)置樹(shù)脂類單位層(B1)的意義，考慮這一點(diǎn)適當(dāng)?shù)卦O(shè)定即可。樹(shù)脂類單位層(B2)的厚度通常優(yōu)選設(shè)為15μm以上200μm以下，更加優(yōu)選為25μm以上150μm以下，特別優(yōu)選為35μm以上100μm以下。樹(shù)脂類單位層(B2)的厚度相對(duì)于擴(kuò)展層(B)的厚度的比例也沒(méi)有特別限定。該比例通常優(yōu)選設(shè)為30％以上95％以下，更加優(yōu)選為40％以上90％以下，特別優(yōu)選為50％以上80％以下。
(2-3)擴(kuò)展層(B)的其他構(gòu)成等
擴(kuò)展層(B)可以由上述樹(shù)脂類單位層(B1)構(gòu)成，也可以由樹(shù)脂類單位層(B1)及樹(shù)脂類單位層(B2)構(gòu)成。作為擴(kuò)展層(B)，只要能夠發(fā)揮規(guī)定的功能，就可以具備這些單位層以外的單位層。
(3)基材膜2的其他構(gòu)成
本實(shí)施方式的基材膜2的厚度通常是40μm以上300μm以下，優(yōu)選為60μm以上200μm以下。切削片抑制層(A)的厚度通常是20μm以上120μm以下，優(yōu)選為30μm以上100μm以下。若切削片抑制層(A)為上述厚度，則更加穩(wěn)定地容易得到切削片抑制效果。擴(kuò)展層(B)的厚度通常是20μm以上280μm以下，優(yōu)選為40μm以上200μm以下。當(dāng)擴(kuò)展層(B)過(guò)薄時(shí)，即使擴(kuò)展層(B)具有上述組成上的特征，有時(shí)也難以得到擴(kuò)展性優(yōu)異的基材膜2。
擴(kuò)展層(B)的厚度相對(duì)于基材膜2的厚度的比例優(yōu)選為30％以上80％以下。當(dāng)這種比例過(guò)低時(shí)，結(jié)果，擴(kuò)展層(B)變得過(guò)薄，如上所述，有可能難以得到擴(kuò)展性優(yōu)異的基材膜2。另一方面，當(dāng)上述比例過(guò)高時(shí)，結(jié)果，切削片抑制層(A)變得過(guò)薄，有可能難以穩(wěn)定地得到切削片抑制效果。擴(kuò)展層(B)的厚度相對(duì)于基材膜2的厚度的比例進(jìn)一步優(yōu)選為33％以上77％以下，更加優(yōu)選為35％以上75％以下，特別優(yōu)選為40％以上70％以下。
本實(shí)施方式的基材膜2的拉伸彈性模量?jī)?yōu)選為80MPa以上300MPa以下。若拉伸彈性模量小于80MPa，則在切割片1貼合晶圓之后，固定環(huán)狀框架時(shí)，因基材膜2柔軟而發(fā)生松弛，有可能成為誤搬送的原因。另一方面，若基材膜2的拉伸彈性模量超過(guò)300MPa，則由于擴(kuò)展工序時(shí)施加的負(fù)荷變大，因此有可能發(fā)生切割片1本身從環(huán)狀框架剝下等問(wèn)題。
關(guān)于構(gòu)成本實(shí)施方式的基材膜2的層，優(yōu)選相鄰的兩個(gè)層的拉伸彈性模量的差小。即，在構(gòu)成基材膜2的層中相鄰的兩個(gè)層的所有組合中，該兩個(gè)層為具有拉伸彈性模量E1的層及具有拉伸彈性模量E2的層時(shí)，由下式(I)或(II)得到的拉伸彈性模量比ε優(yōu)選為1.0～3.0，特別優(yōu)選為1.0～2.8，進(jìn)一步優(yōu)選為1.0～2.6。
E1≥E2時(shí)，拉伸彈性模量比ε＝E1/E2……(I)
E1＜E2時(shí)，拉伸彈性模量比ε＝E2/E1……(II)
例如，本實(shí)施方式的基材膜2中，當(dāng)擴(kuò)展層(B)僅由樹(shù)脂類單位層(B1)構(gòu)成時(shí)，即基材膜2由切削片抑制層(A)和樹(shù)脂類單位層(B1)構(gòu)成時(shí)，使用分別對(duì)切削片抑制層(A)及樹(shù)脂類單位層(B1)測(cè)定的拉伸彈性模量的值，由上述式(I)或(II)計(jì)算的拉伸彈性模量比ε優(yōu)選為1.0～3.0。
并且，本實(shí)施方式的基材膜2中，當(dāng)擴(kuò)展層(B)由樹(shù)脂類單位層(B1)及樹(shù)脂類單位層(B2)構(gòu)成時(shí)，即基材膜2由切削片抑制層(A)、樹(shù)脂類單位層(B1)及樹(shù)脂類單位層(B2)構(gòu)成時(shí)，使用分別對(duì)切削片抑制層(A)及樹(shù)脂類單位層(B1)測(cè)定的拉伸彈性模量的值，由上述式(I)或(II)計(jì)算的拉伸彈性模量比ε優(yōu)選為1.0～3.0。另外，使用分別對(duì)樹(shù)脂類單位層(B1)及樹(shù)脂類單位層(B2)測(cè)定的拉伸彈性模量的值，由上述式(I)或(II)計(jì)算的拉伸彈性模量比ε也優(yōu)選為1.0～3.0。另外，構(gòu)成基材膜2的各層中的拉伸彈性模量的測(cè)定方法如后述的試驗(yàn)例所示。
通過(guò)上述拉伸彈性模量比為3.0以下，即使在以更快的劃片刀移動(dòng)速度進(jìn)行切割時(shí)或以更深的切入深度進(jìn)行切割時(shí)，也能夠有效地防止擴(kuò)展時(shí)的切割片1的斷裂。
(4)基材膜2的制造方法
基材膜2的制造方法并沒(méi)有特別限定?？梢岳境鯰模法、圓模法等熔體擠出法；壓延法；干法、濕法等溶液法等，可以是其中任意一種方法。從高生產(chǎn)率地制造基材膜2的角度考慮，優(yōu)選采用熔體擠出法或壓延法。在他們之中，當(dāng)通過(guò)熔體擠出法進(jìn)行制造時(shí)，分別捏和構(gòu)成切削片抑制層(A)及擴(kuò)展層(B)的成分，由所得到的捏和物直接進(jìn)行制膜，或者暫先制造顆粒之后，使用公知的擠出機(jī)進(jìn)行制膜即可。
2.切割片中的其他構(gòu)成要件
作為切割片1中的基材膜2以外的構(gòu)成要件，可以例示出基材膜2的兩個(gè)主表面中配置于比擴(kuò)展層(B)更靠近切削片抑制層(A)的位置的主表面上的粘著劑層3、以及用于保護(hù)用于貼附于該粘著劑層3的與基材膜2對(duì)置一側(cè)相反側(cè)的表面即被切斷物的面的剝離片。
(1)粘著劑層3
作為構(gòu)成粘著劑層3的粘著劑，并沒(méi)有特別限定，作為切割片，可以使用通常使用的，例如可以使用橡膠類、丙烯酸類、硅酮類、聚乙烯基醚類等的粘著劑，并且還可以是能量射線固化型(包含紫外線固化型)、加熱發(fā)泡型及加熱固化型粘著劑。并且，當(dāng)本實(shí)施方式中的切割片1用作切割/管芯鍵合片時(shí)，可以使用同時(shí)兼?zhèn)渚A固定功能和管芯接合功能的粘接劑、熱塑性接合劑、乙階接合劑等。
粘著劑層3的厚度通常是3μm至100μm，優(yōu)選為5μm至80μm左右。
(2)剝離片
用于保護(hù)粘著劑層3的剝離片是任意的。
作為剝離片，例如可以使用聚乙烯膜、聚丙烯膜、聚丁烯膜、聚丁二烯膜、聚甲基戊烯膜、聚氯乙烯膜、氯乙烯共聚物膜、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜、聚萘二甲酸乙二醇酯膜、聚對(duì)苯二甲酸丁二醇酯膜、聚氨酯膜、乙烯乙酸乙烯酯膜、離聚物樹(shù)脂膜、乙烯-(甲基)丙烯酸共聚物膜、乙烯-(甲基)丙烯酸酯共聚物膜、聚苯乙烯膜、聚碳酸酯膜、聚酰亞胺膜、氟樹(shù)脂膜等。并且，可以使用他們的交聯(lián)膜。另外，還可以是這些膜中的多個(gè)積層而成的積層膜。
優(yōu)選在上述剝離片的剝離面(尤其是與粘著劑層3相接的面)上實(shí)施剝離處理。作為用于剝離處理的剝離劑，例如可以舉出醇酸類、硅酮類、氟類、不飽和聚酯類、聚烯烴類、蠟類的剝離劑。
另外，關(guān)于剝離片的厚度并沒(méi)有特別限定，通常是20μm至150μm左右。
3.切割片1的制造方法
由上述基材膜2及粘著劑層3、以及根據(jù)需要使用的剝離片等的積層體構(gòu)成的切割片1的制造方法并沒(méi)有特別限定。
關(guān)于切割片1的制造方法，舉出幾個(gè)例子如下。
(i)在剝離片上形成粘著劑層3，并在該粘著劑層3上壓合積層基材膜2。此時(shí)，粘著劑層3的形成方法是任意的。
舉出粘著劑層3的形成方法的一例如下。制備含有用于形成粘著劑層3的粘著劑組合物且根據(jù)需要還含有溶劑的涂布劑。通過(guò)輥式涂布機(jī)、刮刀式涂布機(jī)、輥刀式涂布機(jī)、氣刀式涂布機(jī)、模具式涂布機(jī)、棒式涂布機(jī)、凹版式涂布機(jī)、簾式涂布機(jī)等涂布機(jī)，在基材膜2的兩個(gè)主表面中比擴(kuò)展層(B)更靠近切削片抑制層(A)的位置的主表面上進(jìn)行涂布。通過(guò)干燥基材膜2上的由涂布劑構(gòu)成的層來(lái)形成粘著劑層3。
作為上述方法以外的例子，可以將另行形成為片狀的粘著劑層3貼附于基材膜2。
(ii)形成基材膜2，在其上形成粘著劑層3，根據(jù)需要還積層剝離片。如上所述，此時(shí)的粘著劑層3的形成方法是任意的。
作為上述(i)、(ii)的方法以外的例子，可以將另行形成為片狀的粘著劑層3貼附于基材膜2。
4.晶片的制造方法
對(duì)使用本實(shí)施方式的切割片制造晶片的方法進(jìn)行說(shuō)明。
首先，將本實(shí)施方式的切割片1的粘著劑層3的表面貼附于被切斷物的一主表面。當(dāng)粘著劑層3的表面被剝離片保護(hù)時(shí)，剝下該剝離片而使粘著劑層3的表面露出即可。當(dāng)使用貼附裝置將切割片1貼附于該被切斷物時(shí)，通常還進(jìn)行切割片1對(duì)環(huán)狀框架的貼附。如此，得到貼合于切割片1的被切斷物位于環(huán)狀框架的開(kāi)口部?jī)?nèi)的積層結(jié)構(gòu)體。
接著，將上述積層結(jié)構(gòu)體載置于切割臺(tái)上，從被切斷物的與粘著劑層3對(duì)置之側(cè)相反側(cè)的面進(jìn)行切割加工，將被切斷物單片化(切割工序)。通過(guò)經(jīng)過(guò)上述切割工序，被切斷物單片化而成的多個(gè)晶片以相互靠近的狀態(tài)配置于切割片1上。在此狀態(tài)下拾取一個(gè)晶片時(shí)，該晶片有可能接觸與其相鄰的晶片，若發(fā)生這種晶片接觸，則無(wú)法適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行拾取或者發(fā)生晶片產(chǎn)生缺陷等品質(zhì)上的問(wèn)題的可能性增加。因此，在切割工序后進(jìn)行對(duì)切割片1賦予張力的擴(kuò)展工序。若對(duì)切割片1賦予張力，則切割片1沿主表面內(nèi)方向伸長(zhǎng)，從而晶片間距離增大。
如上所述，近年來(lái)，具有通過(guò)擴(kuò)展工序伸長(zhǎng)的切割片的長(zhǎng)度(擴(kuò)展量)增大的傾向。具體而言，擴(kuò)展量通常被規(guī)定為切割片的拉下量，結(jié)果，近年來(lái)，該拉下量有時(shí)從10mm左右變?yōu)?0～40mm左右。即使在這種情況下，若使用具備本實(shí)施方式的基材膜2的切割片1，則也不易發(fā)生基材膜2的斷裂。因而，當(dāng)使用具備本實(shí)施方式的基材膜2的切割片1時(shí)，即使在擴(kuò)展量大時(shí)，也難以在擴(kuò)展工序中發(fā)生不良情況。
并且，本實(shí)施方式的基材膜2的復(fù)原性也優(yōu)異。具備復(fù)原性優(yōu)異的基材膜2的切割片1在擴(kuò)展作業(yè)后，在50℃～70℃左右溫度下加熱30秒鐘至數(shù)分鐘，由此松弛量容易降低。
以上說(shuō)明的實(shí)施方式是用于便于理解本發(fā)明而記載，并非為了限定本發(fā)明而記載。因而，上述實(shí)施方式所公開(kāi)的各要件旨在還包含屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)的所有設(shè)計(jì)變型和等同物。
實(shí)施例
以下，通過(guò)實(shí)施例等對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步具體的說(shuō)明，但本發(fā)明的范圍并非限定于這些實(shí)施例等。
[實(shí)施例1]
(基材膜的制作)
在210℃下通過(guò)雙螺桿捏和機(jī)(Toyo Seiki Seisaku-Sho,Ltd.制，LABO PLASTOMILL)熔融捏和作為含環(huán)樹(shù)脂(a1)的環(huán)烯烴-共聚物(Polyplastics Co.,Ltd.制，產(chǎn)品名：TOPAS(注冊(cè)商標(biāo))8007)30質(zhì)量份和作為非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)的低密度聚乙烯(Sumitomo Chemical Co.,Ltd.制，產(chǎn)品名：SUMIKATHENE(注冊(cè)商標(biāo))L705)70質(zhì)量份，得到用于形成切削片抑制層(A)的樹(shù)脂組合物(α)。
在210℃下通過(guò)雙螺桿捏和機(jī)(Toyo Seiki Seisaku-Sho,Ltd.制，LABO PLASTOMILL)熔融捏和直鏈狀聚乙烯(Prime Polymer Co.,Ltd.制，產(chǎn)品名：EVOLUE(注冊(cè)商標(biāo))SP2540，密度：924kg/m3)60質(zhì)量份、聚丙烯(Prime Polymer Co.,Ltd.制，產(chǎn)品名：PRIME POLYPRO(注冊(cè)商標(biāo))F-744NP，密度：900kg/m3)10質(zhì)量份及作為熱塑性彈性體的烯烴類彈性體(Mitsui Chemicals,Inc.制，產(chǎn)品名：TAFMER(注冊(cè)商標(biāo))DF640，密度：864kg/m3)30質(zhì)量份，得到用于形成樹(shù)脂類單位層(B1)的樹(shù)脂組合物(β1)。
使用所得到的樹(shù)脂組合物(α)及樹(shù)脂組合物(β1)，通過(guò)小型T模擠出機(jī)(Toyo Seiki Seisaku-Sho,Ltd.制，LABO PLASTOMILL)進(jìn)行共擠成形。其結(jié)果，得到由厚度為60μm的樹(shù)脂類單位層(B1)構(gòu)成的擴(kuò)展層(B)和積層于樹(shù)脂類單位層(B1)的一主表面的厚度為40μm的切削片抑制層(A)所構(gòu)成的、厚度為100μm的2層結(jié)構(gòu)的基材膜。
(粘著劑的制備)
混合使丙烯酸正丁酯95質(zhì)量份及丙烯酸5質(zhì)量份共聚合而成的共聚物(Mw：500,000)100質(zhì)量份、氨酯丙烯酸酯寡聚物(Mw：8000)120質(zhì)量份、異氰酸酯類固化劑(Nippon Polyurethane Industry Co.,Ltd.制，CORONATEL)5質(zhì)量份及光聚合引發(fā)劑(Chiba Specialty Chemicals Holding Inc.制，IRGACURE184)4質(zhì)量份，得到能量射線固化型粘著劑組合物。
將所得到的能量射線固化型粘著劑組合物以干燥后的膜厚成為10μm的方式涂布于進(jìn)行硅酮處理后的剝離膜(LINTEC Corporation制，SP-PET3811(S))上，并在100℃下干燥1分鐘，形成由粘著劑層和剝離膜構(gòu)成的積層體。接著，將該積層體貼合于上述基材膜的切削片抑制層(A)側(cè)的主表面，并將積層體中的粘著劑層轉(zhuǎn)印到基材膜上，將其作為切割片。
[實(shí)施例2]
除了實(shí)施例1中的樹(shù)脂組合物(β1)是將直鏈狀聚乙烯40質(zhì)量份、聚丙烯30質(zhì)量份及烯烴類彈性體30質(zhì)量份熔融捏和而得到的之外，與實(shí)施例1同樣地制造具備2層結(jié)構(gòu)的基材膜的切割片。
[實(shí)施例3]
除了實(shí)施例1中的樹(shù)脂組合物(β1)是將直鏈狀聚乙烯20質(zhì)量份、聚丙烯50質(zhì)量份及烯烴類彈性體30質(zhì)量份熔融捏和而得到的之外，與實(shí)施例1同樣地制造具備2層結(jié)構(gòu)的基材膜的切割片。
[實(shí)施例4]
將用于形成樹(shù)脂組合物(β1)的聚丙烯變更為另一種類的聚丙烯(Prime Polymer Co.,Ltd.制，產(chǎn)品名：PRIME POLYPRO(注冊(cè)商標(biāo))F-704LB，密度：900kg/m3)，除此以外，與實(shí)施例2同樣地制造具備2層結(jié)構(gòu)的基材膜的切割片。
[實(shí)施例5]
將用于形成樹(shù)脂組合物(β1)的聚丙烯變更為另一種類的聚丙烯(Prime Polymer Co.,Ltd.制，產(chǎn)品名：PRIME POLYPRO(注冊(cè)商標(biāo))F-704NP，密度：900kg/m3)，除此以外，與實(shí)施例2同樣地制造具備2層結(jié)構(gòu)的基材膜的切割片。
[實(shí)施例6]
將直鏈狀聚乙烯65質(zhì)量份、聚丙烯30質(zhì)量份及烯烴類彈性體5質(zhì)量份熔融捏和而得到樹(shù)脂組合物(β1)，除此以外，與實(shí)施例1同樣地制造具備2層結(jié)構(gòu)的基材膜的切割片。
[實(shí)施例7]
將直鏈狀聚乙烯30質(zhì)量份、聚丙烯30質(zhì)量份及烯烴類彈性體40質(zhì)量份熔融捏和而得到樹(shù)脂組合物(β1)，除此以外，與實(shí)施例1同樣地制造具備2層結(jié)構(gòu)的基材膜的切割片。
[實(shí)施例8]
在210℃下通過(guò)雙螺桿捏和機(jī)(Toyo Seiki Seisaku-Sho,Ltd.制，LABO PLASTOMILL)熔融捏和作為含環(huán)樹(shù)脂(a1)的環(huán)烯烴-共聚物(Polyplastics Co.,Ltd.制，產(chǎn)品名：TOPAS(注冊(cè)商標(biāo))8007)30質(zhì)量份及作為非環(huán)式烯烴類樹(shù)脂(a2)的低密度聚乙烯(Sumitomo Chemical Co.,Ltd.制，產(chǎn)品名：SUMIKATHENE(注冊(cè)商標(biāo))L705)70質(zhì)量份，得到用于形成切削片抑制層(A)的樹(shù)脂組合物(α)。
在210℃下通過(guò)雙螺桿捏和機(jī)(Toyo Seiki Seisaku-Sho,Ltd.制，LABO PLASTOMILL)熔融捏和直鏈狀聚乙烯(Prime Polymer Co.,Ltd.制，產(chǎn)品名：EVOLUE(注冊(cè)商標(biāo))SP2540，密度：924kg/m3)40質(zhì)量份、聚丙烯(Prime Polymer Co.,Ltd.制，產(chǎn)品名：PRIME POLYPRO(注冊(cè)商標(biāo))F-744NP，密度：900kg/m3)30質(zhì)量份及烯烴類彈性體(Mitsui Chemicals,Inc.制，產(chǎn)品名：TAFMER(注冊(cè)商標(biāo))DF640，密度：864kg/m3)30質(zhì)量份，得到用于形成樹(shù)脂類單位層(B1)的樹(shù)脂組合物(β1)。
在210℃下通過(guò)雙螺桿捏和機(jī)(Toyo Seiki Seisaku-Sho,Ltd.制，LABO PLASTOMILL)熔融捏和作為乙烯-(甲基)丙烯酸類共聚物的一種的乙烯-甲基丙烯酸共聚物(DU PONT-MITSUI POLYCHE MICALS CO.,LTD.制，產(chǎn)品名：NUCREL(注冊(cè)商標(biāo))N0903HC)100質(zhì)量份，得到用于形成樹(shù)脂類單位層(B2)的樹(shù)脂組合物(β2)。
使用所得到的樹(shù)脂組合物(α)、樹(shù)脂組合物(β1)及樹(shù)脂組合物(β2)，通過(guò)小型T模擠出機(jī)(Toyo Seiki Seisaku-Sho,Ltd.制，LABO PLASTOMILL)進(jìn)行共擠成形。其結(jié)果，得到由厚度30μm的樹(shù)脂類單位層(B1)、積層于樹(shù)脂類單位層(B1)的一主表面的厚度40μm的切削片抑制層(A)及以與樹(shù)脂類單位層(B1)的另一主表面相接的方式積層的厚度30μm的樹(shù)脂類單位層(B2)構(gòu)成的厚度100μm的3層結(jié)構(gòu)的基材膜，換言之，其具備40μm的切削片抑制層(A)及積層于切削片抑制層(A)的一主表面上的60μm的擴(kuò)展層(B)，擴(kuò)展層(B)由厚度30μm的樹(shù)脂類單位層(B1)和厚度30μm的樹(shù)脂類單位層(B2)構(gòu)成。
以下，進(jìn)行與實(shí)施例1相同的操作來(lái)制造切割片。
[實(shí)施例9]
將直鏈狀聚乙烯20質(zhì)量份、聚丙烯50質(zhì)量份及烯烴類彈性體30質(zhì)量份熔融捏和而得到樹(shù)脂組合物(β1)，除此以外，與實(shí)施例8同樣地制造具備3層結(jié)構(gòu)的基材膜的切割片。
[實(shí)施例10]
將樹(shù)脂組合物(β1)變更為具有實(shí)施例4中準(zhǔn)備的樹(shù)脂組合物(β1)的組成，除此以外，與實(shí)施例8同樣地制造具備3層結(jié)構(gòu)的基材膜的切割片。
[實(shí)施例11]
將樹(shù)脂組合物(β1)變更為具有實(shí)施例5中準(zhǔn)備的樹(shù)脂組合物(β1)的組成，除此以外，與實(shí)施例8同樣地制造具備3層結(jié)構(gòu)的基材膜的切割片。
[比較例1]
將直鏈狀聚乙烯60質(zhì)量份及聚丙烯40質(zhì)量份熔融捏和而得到樹(shù)脂組合物(β1)，除此以外，與實(shí)施例1同樣地制造具備2層結(jié)構(gòu)的基材膜的切割片。
[比較例2]
將直鏈狀聚乙烯60質(zhì)量份及烯烴類彈性體40質(zhì)量份熔融捏和而得到樹(shù)脂組合物(β1)，除此以外，與實(shí)施例1同樣地制造具備2層結(jié)構(gòu)的基材膜的切割片。
[比較例3]
使用在210℃下通過(guò)雙螺桿捏和機(jī)(Toyo Seiki Seisaku-Sho,Ltd.制，LABO PLASTOMILL)熔融捏和低密度聚乙烯(Sumitomo Chemical Co.,Ltd.制，產(chǎn)品名：SUMIKATHENE(注冊(cè)商標(biāo))L705，密度：919kg/m3)40質(zhì)量份、聚丙烯(Prime Polymer Co.,Ltd.制，產(chǎn)品名：PRIME POLYPRO(注冊(cè)商標(biāo))F-744NP，密度：900kg/m3)30質(zhì)量份及烯烴類彈性體(Mitsui Chemicals,Inc.制，產(chǎn)品名：TAFMER(注冊(cè)商標(biāo))DF640，密度：864kg/m3)30質(zhì)量份而得到的樹(shù)脂組合物(β1)，除此以外，與實(shí)施例1同樣地制造具備2層結(jié)構(gòu)的基材膜的切割片。
將以上實(shí)施例及比較例的條件總結(jié)示于表1。組成欄的數(shù)值意味著各成分的混合質(zhì)量份，構(gòu)成欄的數(shù)值意味著各層的厚度(單位：μm)。
表中，將實(shí)施例1～3、6～9以及比較例1和3的聚丙烯表示為“聚丙烯1”，將實(shí)施例4和10的聚丙烯表示為“聚丙烯2”，將實(shí)施例5和11的聚丙烯表示為“聚丙烯3”。
[表1]
[試驗(yàn)例1](切削片觀察)
將實(shí)施例及比較例中制造的切割片的粘著劑層貼附于BGA型封裝體模組之后，設(shè)置于切割裝置(DISCO Corporation制，DFD-651)上，在以下條件下進(jìn)行切割。
·工件尺寸：6英寸直徑，厚度350μm
·切割劃片刀：DISCO Corporation制Z1110LS3
·劃片刀轉(zhuǎn)速：30,000rpm
·切割速度：10mm/秒
·切入深度：將基材膜從與粘著劑層的界面切入至20μm的深度
·切割尺寸：10mm×10mm
其后，從基材膜側(cè)照射(160mJ/cm2)紫外線來(lái)剝離被切斷的晶片。使用數(shù)字顯微鏡(KEYENCE CORPORATION制，VHX-100，倍率：100倍)，對(duì)縱橫切割線中在各自的中央附近處的1條縱線及1條橫線上所產(chǎn)生的絲狀切削片的個(gè)數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)。關(guān)于所測(cè)定的切削片的個(gè)數(shù)，通過(guò)以下評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行評(píng)價(jià)。
A：切削片的個(gè)數(shù)為0個(gè)以上10個(gè)以下
B：切削片的個(gè)數(shù)為11個(gè)以上15個(gè)以下
C：切削片的個(gè)數(shù)為16個(gè)以上
對(duì)于A及B判定為良好，將C判定為不良。將結(jié)果示于表1。
[試驗(yàn)例2](擴(kuò)展性評(píng)價(jià))
在實(shí)施例及比較例中制造的切割片的粘著劑層貼附6英寸硅晶圓之后，將該切割片安裝于平架(flat frame)上，并設(shè)置于切割裝置(DISCO Corporation制，DFD-651)上，在以下兩個(gè)條件下分別進(jìn)行切割。
＜切割條件1>
·工件尺寸：6英寸直徑，厚度350μm
·切割劃片刀：DISCO Corporation制27HECC
·劃片刀轉(zhuǎn)速：30,000rpm
·切割速度：10mm/秒
·切入深度：將基材膜從與粘著劑層的界面切入至20μm的深度
·切割尺寸：10mm×10mm
＜切割條件2>
·工件尺寸：6英寸直徑，厚度350μm
·切割劃片刀：DISCO Corporation制27HECC
·劃片刀轉(zhuǎn)速：30,000rpm
·切割速度：100mm/秒
·切入深度：將基材膜從與粘著劑層的界面切入至40μm的深度
·切割尺寸：10mm×10mm
對(duì)于在上述兩個(gè)條件下進(jìn)行了切割的各個(gè)切割片，通過(guò)使用擴(kuò)展夾具(NEC Machinery Corporation制管芯鍵合機(jī)，產(chǎn)品名：CSP-100VX)，將處于其一主表面上貼合有晶片的狀態(tài)的切割片以速度300mm/分鐘拉下10mm(擴(kuò)展條件1)或速度300mm/分鐘拉下30mm(擴(kuò)展條件2)，實(shí)施擴(kuò)展工序。對(duì)于擴(kuò)展工序后的切割片，觀察有無(wú)發(fā)生斷裂。進(jìn)行觀察時(shí)，通過(guò)以下評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行評(píng)價(jià)。
A：在擴(kuò)展條件1及2中的任一條件下均未確認(rèn)到斷裂
B：在擴(kuò)展條件1及2中的一個(gè)條件下確認(rèn)到斷裂
C：在擴(kuò)展條件1及2中的任一條件下均確認(rèn)到斷裂
將A及B判定為良好，將C判定為不良。將結(jié)果示于表1。
[試驗(yàn)例3](復(fù)原性評(píng)價(jià))
對(duì)于在試驗(yàn)例2中的在切割條件1下進(jìn)行切割、且在擴(kuò)展條件1下進(jìn)行擴(kuò)展工序后的切割片，通過(guò)干燥器供給1分鐘溫度為50℃～70℃的溫風(fēng)。對(duì)其后的切割片的松弛量(以切割片中貼合于環(huán)狀框架的部分為標(biāo)準(zhǔn)的、切割片底面的鉛垂方向的分開(kāi)距離)進(jìn)行測(cè)定。對(duì)于所測(cè)定的松弛量，用以下標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行評(píng)價(jià)。
A：松弛量為1.5mm以下
B：松弛量超過(guò)1.5mm且3mm以下
C：松弛量超過(guò)3mm
將A及B判定為良好，將C判定為不良。將結(jié)果示于表1。
由表1明確可知，實(shí)施例中制造的切割片觀測(cè)到切削片抑制效果，且在擴(kuò)展工序后不易發(fā)生斷裂，且復(fù)原性良好。
[試驗(yàn)例4](拉伸彈性模量比的測(cè)定)
將用于制作實(shí)施例及比較例的基材膜而制備的樹(shù)脂組合物分別單獨(dú)通過(guò)小型T模擠出機(jī)(Toyo Seiki Seisaku-Sho,Ltd.制，LABO PLASTOMILL)進(jìn)行擠出成形。由此，得到厚度100μm的單層結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂膜。
將所得到的樹(shù)脂膜裁斷成15mm×140mm的試驗(yàn)片，并遵照J(rèn)IS K7161-1:2014及JIS K7127:1999測(cè)定23℃下的拉伸彈性模量。具體而言，通過(guò)拉伸試驗(yàn)機(jī)(Shimadzu Corporation制，AUTOGRAPH AG-IS 500N)，在設(shè)定了卡盤間距離100mm之后，以200mm/min的速度對(duì)上述試驗(yàn)片進(jìn)行拉伸試驗(yàn)，測(cè)定拉伸彈性模量(MPa)。拉伸彈性模量的測(cè)定僅沿著樹(shù)脂膜成形時(shí)的擠出方向(MD)進(jìn)行。
分別對(duì)實(shí)施例及比較例，將切削片抑制層(A)的拉伸彈性模量設(shè)為E1、將樹(shù)脂類單位層(B1)的拉伸彈性模量設(shè)為E2，由下式(I)或(II)計(jì)算對(duì)切削片抑制層(A)和樹(shù)脂類單位層(B1)的組合的拉伸彈性模量比ε。
E1≥E2時(shí)，拉伸彈性模量比ε＝E1/E2……(I)
E1＜E2時(shí)，拉伸彈性模量比ε＝E2/E1……(II)
其結(jié)果，由于是E1≥E2，因此根據(jù)上述式(I)，將切削片抑制層(A)的拉伸彈性模量除以樹(shù)脂類單位層(B1)的拉伸彈性模量之值作為拉伸彈性模量比ε。將所得到的拉伸彈性模量比示于表1。
另外，關(guān)于制作3層結(jié)構(gòu)的基材膜的實(shí)施例8～11，將樹(shù)脂類單位層(B1)的拉伸彈性模量設(shè)為E1、將樹(shù)脂類單位層(B2)的拉伸彈性模量設(shè)為E2，根據(jù)上述式(I)或(II)，還計(jì)算對(duì)樹(shù)脂類單位層(B1)和樹(shù)脂類單位層(B2)的組合的拉伸彈性模量比ε。其結(jié)果，由于是E1≥E2，因此根據(jù)上述式(I)，將樹(shù)脂類單位層(B1)的拉伸彈性模量除以樹(shù)脂類單位層(B2)的拉伸彈性模量之值作為拉伸彈性模量比ε。將所得到的拉伸彈性模量比示于表1。
工業(yè)實(shí)用性
本發(fā)明的切割片用基材膜及切割片適合用于半導(dǎo)體晶圓和各種封裝體類等的切割。
附圖標(biāo)記說(shuō)明
1：切割片
2：基材膜
(A)：切削片抑制層
(B)：擴(kuò)展層
(B1)：樹(shù)脂類單位層
(B2)：樹(shù)脂類單位層
3：粘著劑層