本發(fā)明涉及一種外延反應(yīng)器中的用于操縱襯底(substrate)的工具、相關(guān)操縱方法以及相關(guān)的外延反應(yīng)器。

本發(fā)明發(fā)現(xiàn)在外延反應(yīng)器中的有利的應(yīng)用，該外延反應(yīng)器包括具有適合于容納襯底的一個(gè)或多個(gè)袋狀部(pocket)的基座(susceptor)，特別地包括具有水平袋狀部的旋轉(zhuǎn)的盤(pán)狀基座。

背景技術(shù)：

有各種類(lèi)型的外延反應(yīng)器。

在某些類(lèi)型的外延反應(yīng)器中，待處理的襯底在處理前通過(guò)操縱工具放置在反應(yīng)室內(nèi)部的基座的袋狀部中，然后經(jīng)受處理過(guò)程，并且最終在處理后使用相同的操縱工具從基座的袋狀部移除。該基座可以設(shè)有多個(gè)袋狀部并且因此對(duì)于每個(gè)處理過(guò)程都需要操縱多個(gè)襯底。

在某些類(lèi)型的外延反應(yīng)器中，基座且因而其袋狀部以及位于袋狀部?jī)?nèi)的襯底的位置不能高精度地(例如，小于一毫米的精度)確定，并且因而操縱工具和該工具的控制系統(tǒng)必須考慮該問(wèn)題。特別地，在許多情況下，袋狀部的安置襯底的平面的角位置不能高精度地(例如，小于一度的精度)確定。

某些類(lèi)型的外延反應(yīng)器采用真空操縱工具，其中環(huán)形單元放置成與待操縱的襯底的邊緣(通常，邊緣的上部區(qū)域)接觸并且真空在環(huán)形元件和襯底之間形成；沿著襯底的周邊，邊緣和元件之間的接觸越好，則抓取越有效；理想地，需要足以克服僅襯底的重量的真空。邊緣和元件之間的接觸必須以柔和且均勻的方式發(fā)生以防止損壞襯底邊緣，損壞的結(jié)果是，襯底邊緣可能在襯底的上表面的內(nèi)部擴(kuò)展；這對(duì)于處理過(guò)程前的襯底和處理過(guò)程后的襯底來(lái)說(shuō)都是真實(shí)的；此外，值得一提的是，處理過(guò)程可能恰好在襯底的邊緣上引起小的不規(guī)則部(所謂的“邊緣冠(edge crown)”)；最后，值得一提的是，環(huán)形元件通常由非常硬的材料(典型地，石英)制成。與操作工具接觸的問(wèn)題是在處理過(guò)程前或處理過(guò)程后可能產(chǎn)生材料顆粒(由于襯底和/或沉積層的破碎造成的)；這些顆?？煞稚⒌椒磻?yīng)室中并且/或終止于襯底表面上和/或終止于沉積層的表面上以及/或保留在工具上。

操縱外延反應(yīng)器的反應(yīng)室中的襯底的問(wèn)題的解決方案在文件WO00/48234中進(jìn)行了描述。

申請(qǐng)人已設(shè)定了其自身的目標(biāo)：找到一種可替代的且比公知的方案更簡(jiǎn)單的解決方案。

概述

此目的通過(guò)具有在所附權(quán)利要求中陳述的技術(shù)特征的工具實(shí)現(xiàn)，所附權(quán)利要求應(yīng)被認(rèn)為是本說(shuō)明書(shū)的組成部分。

從結(jié)構(gòu)角度來(lái)看，本發(fā)明的基本思路是使用球接頭(ball joint)以為待操縱的襯底的抓取盤(pán)提供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的兩個(gè)自由度。

以這種方式，獲得了抓取盤(pán)和襯底之間的(任何)不平行度的補(bǔ)償。

從結(jié)構(gòu)角度來(lái)看，根據(jù)本發(fā)明的另外的思路是使用待操縱的襯底的抓取盤(pán)，該抓取盤(pán)具有適合于與襯底的邊緣接觸的彈性材料的環(huán)形元件。

以這種方式，獲得了抓取盤(pán)和襯底之間的(可能的)不平行度和/或(可能的)不一致性的補(bǔ)償。

“不一致性”是指抓取盤(pán)表面可能在接觸區(qū)域中沒(méi)有與襯底表面精確地匹配，例如，由于接觸區(qū)域中的雜散材料。

優(yōu)選地，接觸應(yīng)是“可控且柔和的”。

“可控且柔和的”是指：

-在(可能的)“補(bǔ)償”或(可能的)“多個(gè)補(bǔ)償”期間，由工具施加在襯底的各個(gè)點(diǎn)上(特別地，在其邊緣的點(diǎn)上)的豎直力是小而不均勻的，

-在(可能的)“補(bǔ)償”或(可能的)“多個(gè)補(bǔ)償”后(或如果大體上無(wú)補(bǔ)償?shù)脑?huà))，由工具施加在襯底的各個(gè)點(diǎn)上(特別地，在其邊緣的點(diǎn)上)的豎直力是甚至更小的并且大體上均勻的；

這尤其通過(guò)確保工具頭部(其基本上包括抓取盤(pán)和球接頭)的重量大體上不重壓于襯底上來(lái)實(shí)現(xiàn)。

從方法論角度來(lái)看，本發(fā)明的基本思路是實(shí)現(xiàn)抓取盤(pán)和襯底之間的(可能的)不平行度的補(bǔ)償，特別地并且有利地通過(guò)“可控且柔和的”接觸來(lái)實(shí)現(xiàn)。

優(yōu)選地，從方法論角度來(lái)看，本發(fā)明提供用于實(shí)現(xiàn)抓取盤(pán)和襯底之間的(可能的)不平行度和(可能的)不一致性的補(bǔ)償。

附圖列表

本發(fā)明根據(jù)結(jié)合附圖考慮的以下詳細(xì)描述將變得更明顯，在附圖中：

圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的工具的示例性實(shí)施方案的三維視圖，

圖2示出了圖1中的工具的剖面圖，

圖3示出了圖1中的工具的俯視圖，

圖4示出了圖2中的截面的局部且很大程度上放大的視圖，

圖5示出了類(lèi)似于圖2中的工具但還具有彈性材料的環(huán)形元件的工具的示例性實(shí)施方案的截面的局部且很大程度上放大的視圖，以及

圖6示出了根據(jù)本發(fā)明的工具當(dāng)其操縱襯底時(shí)位于外延反應(yīng)器的反應(yīng)室內(nèi)的示意性剖面且不成比例的視圖。

該描述和附圖都被認(rèn)為是僅出于說(shuō)明的目的并且因此是非限制的。

如易于理解的，在實(shí)踐中有各種方式實(shí)施本發(fā)明，本發(fā)明以其主要有利方面界定于所附權(quán)利要求中。

詳細(xì)描述

所有附圖都涉及外延反應(yīng)器中的用于操縱襯底的工具1的相同的示例性實(shí)施方案。

工具1包括臂2、抓取盤(pán)3和球接頭4；抓取盤(pán)3具有在其下側(cè)上的座5，座5用于接納待操縱的襯底6；抓取盤(pán)3經(jīng)由相對(duì)于抓取盤(pán)3居中放置的球接頭4安裝到臂2。

抓取盤(pán)3的座5成形為使得僅與待操縱的襯底6的上邊緣接觸。如在圖2中看到的，在有利的示例性實(shí)施方案中，座5大體上對(duì)應(yīng)于抓取盤(pán)3的整個(gè)下側(cè)并且大體上對(duì)應(yīng)于待操縱襯底6的整個(gè)上側(cè)。如在圖2中看到的，在有利的示例性實(shí)施方案中，座5包括具有例如5mm至15mm厚度的中央圓柱狀或棱柱狀空間(其構(gòu)成“抽吸腔”并且其用于在待操縱襯底的整個(gè)上側(cè)上產(chǎn)生均勻的抽吸力，而不接觸)。如在圖2中看到的，在有利的示例性實(shí)施方案中，座5包括具有例如0.5mm至1.5mm的最大厚度的環(huán)形截頭圓錐狀或截頭棱錐狀空間(其用于接觸待操縱襯底的上邊緣)。如在圖2中看到的，在有利的示例性實(shí)施方案中，當(dāng)襯底由工具操縱時(shí)(即，當(dāng)所謂的“捕獲”后)，座5完全關(guān)閉。

在第一近似中，可以假設(shè)，大體上為長(zhǎng)形的圓柱形元件的臂2在工具1使用期間具有水平布置的其軸線(xiàn)，如在圖2和圖3中看到的；圖4示出了球接頭4的因而豎直地布置的軸線(xiàn)。

由于球接頭4，抓取盤(pán)3相對(duì)于臂1設(shè)有至少兩個(gè)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)自由度；在該優(yōu)選的實(shí)施方案中，抓取盤(pán)3相對(duì)于臂1設(shè)有僅兩個(gè)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)自由度(特別地，盤(pán)3不能?chē)@其對(duì)稱(chēng)軸線(xiàn)旋轉(zhuǎn)，該對(duì)稱(chēng)軸線(xiàn)在圖中是豎直的)。以這種方式，工具1能夠適合襯底(在圖2和圖4中用參考標(biāo)記6指示)的位置，尤其當(dāng)定位在外延反應(yīng)器的基座的袋狀部中時(shí)；實(shí)際上，盤(pán)3的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致獲得盤(pán)和襯底(以及還有基座)之間的共面性；盤(pán)3的旋轉(zhuǎn)為“自然”旋轉(zhuǎn)，不是借助于致動(dòng)器獲得的，而是通過(guò)降低工具1引起的。

考慮附圖，應(yīng)理解，盤(pán)3的旋轉(zhuǎn)自由度受到限制；例如，其沿彼此正交的兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)(水平的)可以是+/-1°或+/-2°或+/-3°或+/-4°或+/-5°。

臂2內(nèi)部具有抽吸管7，并且管7與座5連通；因此，當(dāng)襯底與盤(pán)3接觸時(shí)(以及當(dāng)然當(dāng)抽吸有效時(shí))，工具1適合于保持襯底(在圖2和圖4中用參考標(biāo)記6指示)。

聯(lián)接到球接頭4的頭部15位于臂2的一端處；當(dāng)臂2是具有例如圓形橫截面(該橫截面可以是多邊形的或橢圓形的或...)的桿狀物時(shí)，頭部15是薄且大的以允許盤(pán)3旋轉(zhuǎn)，而不需要大幅度增大工具1的豎直尺寸(特別地見(jiàn)圖2)；當(dāng)然，管7還延伸到頭部15的端部。

盤(pán)3具有適合于使管7與座5連通的多個(gè)孔8(特別地，具有8個(gè)孔)。

而且，臂2(精確地，頭部15)具有適合于使管7與座5連通的多個(gè)孔9(特別地，具有8個(gè)孔)。

因此，在抽吸步驟中，位于座5中的少量的氣體首先穿過(guò)孔8，然后穿過(guò)孔9，并且最后終止于管7中(實(shí)際最終目的地是與管7連通并且未在圖中示出的抽吸系統(tǒng))。

球接頭4的第一重要方面是，如何使旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)是可能的。

球接頭4的第二重要方面是，如何使座5和管7之間的流體通路是密封或大體上密封的。

在圖的實(shí)施方案中，這些方面都呈現(xiàn)。

球接頭4包括位于臂2(精確地，頭部15)和抓取盤(pán)3之間的第一彈性元件10(特別地，唇形密封件—可替代地，環(huán)形彈性波紋管或O形圈)；彈性元件10還適合于提供密封。

球接頭4包括鉸接主體(圖4中的一組元件13和14)和放置在鉸接主體和抓取盤(pán)3之間的第二環(huán)形彈性元件12(特別地，O形圈)；同樣，彈性元件12還適合于提供密封。

一般地，根據(jù)接頭的具體實(shí)現(xiàn)方式，包含在球形接頭中的彈性元件通常是一個(gè)或兩個(gè)或三個(gè)并且可以在其中不同地布置。除此以外，這樣的彈性元件用于在工具運(yùn)動(dòng)期間穩(wěn)定工具抓取盤(pán)(還可能是所運(yùn)輸?shù)囊r底)的位置。

彈性元件10和12可以由彈性體材料或金屬材料制成；非常適合于在外延反應(yīng)器中應(yīng)用的材料是例如一種由杜邦(Dupont)公司生產(chǎn)的合成橡膠。

在圖4中的示例性實(shí)施方案中，鉸接主體包括鉸接盤(pán)13(特別地，圓形的)和接頭桿(joint stem)14(特別地，圓柱形的)，該鉸接盤(pán)13和接頭桿14例如以單件形式制成。桿14具有孔，并且頭部15具有孔；螺釘11擰入這兩個(gè)孔中并且用于使臂2(即，頭部15)和鉸接主體彼此固定；環(huán)形彈性元件12放置在鉸接盤(pán)13、接頭桿14和抓取盤(pán)3之間。

在圖中的示例性實(shí)施方案中，元件2、13、14和15是鋼的，并且元件9是石英的(特別適合于與反應(yīng)室外部和內(nèi)部的襯底直接接觸的材料)。

抓取盤(pán)3旋轉(zhuǎn)的可能性是由球接頭4給定的，并且是由存在于球接頭4中的彈性元件或多個(gè)彈性元件的彈性所允許的。

通常，抓取盤(pán)簡(jiǎn)單地通過(guò)盤(pán)和邊緣之間的接觸來(lái)旋轉(zhuǎn)，即沒(méi)有致動(dòng)器來(lái)使盤(pán)旋轉(zhuǎn)。

工具1和襯底(圖2和圖4中用參考標(biāo)記6指示)之間的接觸的柔和度由存在于球接頭4中的彈性元件或多個(gè)彈性元件的材料或多種材料的柔軟性來(lái)促進(jìn)。

優(yōu)選地，工具的重量(完全地)安置在工具自身的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)上，即，既不安置在襯底上也不安置在基座上；以這種方式，當(dāng)抓取盤(pán)與襯底的邊緣接觸時(shí)，僅非常小的力將足以使抓取盤(pán)旋轉(zhuǎn)；考慮圖中的示例性實(shí)施方案，該力將只需克服球接頭中的彈性元件的反作用力。

有利地，為了使工具的重量不重壓在襯底和基座上，可設(shè)想，將工具的臂(在圖中用參考標(biāo)記2指示)分成兩個(gè)半部臂，通過(guò)鉸鏈連接兩個(gè)半部臂并且使彈簧與鉸鏈相關(guān)聯(lián)以與鉸鏈的向下旋轉(zhuǎn)相反。

根據(jù)本發(fā)明，操縱包括將襯底運(yùn)送靠近基座并且將襯底放置在基座上(特別地，放置在其座，也稱(chēng)為“袋狀部”中)，并且然后從基座(特別地，從其座，也稱(chēng)為“袋狀部”)取回襯底(具有沉積層)并且將襯底運(yùn)送遠(yuǎn)離基座；具有抓取盤(pán)的工具用于操縱。

操縱方法包括以下步驟：

A)水平移動(dòng)所述工具直到所述抓取盤(pán)位于所述座處，

B)降低所述工具直到所述抓取盤(pán)觸碰到所述襯底的上邊緣的至少一個(gè)點(diǎn)(見(jiàn)圖6)，

C)繼續(xù)降低所述工具直到所述抓取盤(pán)經(jīng)由相對(duì)于水平軸線(xiàn)(考慮垂直于圖4中突出顯示的豎直對(duì)稱(chēng)軸線(xiàn)的任何水平軸線(xiàn)，并且該水平軸線(xiàn)在彈性元件10和12之間的水平面處至少部分地位于抓取盤(pán)3中)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)(具體地，傾斜運(yùn)動(dòng))但不經(jīng)由相對(duì)于所述抓取盤(pán)的豎直對(duì)稱(chēng)軸線(xiàn)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)(即，旋轉(zhuǎn)地固定)而觸碰到所述襯底的全部上邊緣，

D)借助于所述工具的抽吸系統(tǒng)抽吸所述襯底，

E)提升帶有所述襯底(通過(guò)抽吸保持)的所述工具，以及

F)水平移動(dòng)帶有所述襯底(通過(guò)抽吸保持)的所述工具。

步驟A是接近步驟并且通常僅提供水平的運(yùn)動(dòng)。

步驟B和步驟C一起執(zhí)行在抓取盤(pán)和襯底之間的自動(dòng)調(diào)平。

步驟D可定義為“捕獲”步驟。如果工具設(shè)有“抽吸腔”(諸如，圖2和圖3中的工具)，則在步驟D中，在不接觸的情況下，在待操縱襯底的整個(gè)上側(cè)上產(chǎn)生均勻的抽吸力。

步驟F是移除步驟并且通常僅提供水平的運(yùn)動(dòng)。

在步驟C中，抓取盤(pán)觸碰到襯底的上邊緣；利用良好的近似，其為沿著整個(gè)邊緣的接觸。

通常，抓取盤(pán)簡(jiǎn)單地通過(guò)盤(pán)和邊緣之間的接觸來(lái)旋轉(zhuǎn)，即沒(méi)有致動(dòng)器來(lái)使盤(pán)旋轉(zhuǎn)。

優(yōu)選地，至少在步驟A、B、C、E和F期間，工具的重量(完全地)安置在工具自身的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)上，即，既不安置在襯底上也不安置在基座上；以這種方式，當(dāng)抓取盤(pán)與襯底的邊緣接觸時(shí)，僅非常小的力將足以使抓取盤(pán)旋轉(zhuǎn)；考慮圖中的示例性實(shí)施方案，該力將只需克服球接頭的彈性元件的反作用力。

有別于圖2和圖3中的示例性實(shí)施方案，并且如圖5中(部分地)示出的，抓取盤(pán)(大體上對(duì)應(yīng)于主體30)還包括適合于僅與待操縱的襯底6的上邊緣接觸的彈性材料的環(huán)形元件31—該環(huán)形圈(以及相關(guān)安裝方式)是與圖2和圖3中的示例的唯一實(shí)質(zhì)性差異。

環(huán)形元件可以以單個(gè)件或多個(gè)鄰近件的形式制成。

彈性材料可以是聚合物材料，特別地，適合于承受在高于200℃(例如在250℃和350℃之間)的溫度下連續(xù)操作的聚合物材料；特別地，可以有利地使用具有彈性體性能的氟化聚合物或全氟聚合物；特別合適的材料是由杜邦公司生產(chǎn)的“4079”(“4079”是具有肖氏A硬度為75的彈性體)。

可替代地，例如，能夠承受高溫、化學(xué)侵蝕(特別地來(lái)自酸類(lèi)的化學(xué)侵蝕)且相當(dāng)軟的(例如，肖氏A硬度在50和80之間)的其它彈性體材料可以被使用。

環(huán)形元件的材料的抵抗力允許操縱相對(duì)熱的襯底；例如，在“4079”的情況中，襯底可以在300℃(以及甚至超過(guò)300℃)下操縱。這允許縮短外延反應(yīng)器的處理循環(huán)時(shí)間，因?yàn)樘幚磉^(guò)的襯底在其仍然相當(dāng)熱時(shí)(即，在不使其完全冷卻的情況下)，并且在由于僅在其邊緣上的“受控且柔和的”接觸而未導(dǎo)致對(duì)其損壞的情況下可以離開(kāi)反應(yīng)器(即，從其反應(yīng)室取出)。

環(huán)形元件31可以(例如通過(guò)螺釘33)被夾緊在抓取盤(pán)的主體30(例如布置在下方)和夾持環(huán)32(例如布置在上方)之間；這是圖5中的示例性實(shí)施方案。

環(huán)形元件31可以(大體上)成形為圓形冠；環(huán)形元件31可以是(大體上)平坦的；這是圖5中的示例性實(shí)施方案。

抓取盤(pán)的主體30和/或夾持環(huán)32可以由石英或碳化硅或鈦或不銹鋼或鍍鋁合金(優(yōu)選地，鍍有熱塑性材料)或FRP(特別地，CFRP)制成。特別地，對(duì)于特別輕的主體30，其可以由鍍有熱塑性材料(諸如PEEK＝聚醚醚酮)的鋁合金(諸如，合金7075，商業(yè)上稱(chēng)為“Ergal”)制成。

在圖5中的示例性實(shí)施方案中，由于抓取盤(pán)的環(huán)形元件和襯底的邊緣之間的接觸，環(huán)形元件彈性地變形；特別地，在任何點(diǎn)處的這樣的變形是小的(通常小于1mm或2mm)，并且因而由工具施加在襯底的任何點(diǎn)(特別地在其邊緣)上的豎直力是小的。

工具(特別地，圖5中的工具1的環(huán)形元件31)和襯底(特別地，圖5中的襯底6)之間的接觸的柔和度由工具的環(huán)形元件的材料的柔軟性來(lái)促進(jìn)。

優(yōu)選地，還在圖5中的示例性實(shí)施方案中，工具的重量(完全)重壓在工具自身的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)上，即，既不重壓在襯底上也不重壓在基座上；當(dāng)抓取盤(pán)的環(huán)形元件接觸襯底邊緣時(shí)，當(dāng)工具進(jìn)一步下降時(shí)，僅很小的力就足以使環(huán)形元件變形。

稍后，當(dāng)工具升高時(shí)，環(huán)形元件由于其材料的彈性而恢復(fù)到其自然形狀。

圖5中的工具與圖2和圖3和圖4中的工具類(lèi)似地使用，但在步驟C中，環(huán)形元件可以輕微且彈性地變形。

在圖5中部分示出的解決方案提供了使用球接頭(見(jiàn)例如圖4)安裝到臂的抓取盤(pán)。

在所描述的示例性實(shí)施方案中，一個(gè)或多個(gè)或所有的部件2、3、13(如果存在的話(huà))、14(如果存在的話(huà))、15(如果存在的話(huà))、30和32(如果存在的)可以由石英或碳化硅或鈦或不銹鋼或鍍鋁合金(優(yōu)選地鍍有熱塑性材料)或FRP(特別地，CFRP)制成。

如前所述，根據(jù)本發(fā)明的工具發(fā)現(xiàn)了在外延反應(yīng)器中特別有利的應(yīng)用，特別是其中反應(yīng)室(通常水平地放置)具有減小的高度(特別地為幾厘米，例如在2cm至5cm范圍內(nèi))的腔(通常，這種腔的高度在室的各個(gè)部分處是大體上相同的)的那些外延反應(yīng)器；該應(yīng)用例如在圖6中示出。

根據(jù)本發(fā)明，操縱包括運(yùn)送襯底(圖6中的6)靠近基座(圖6中的120)并且將襯底放置在基座上，特別地放置在其座，一般稱(chēng)為“袋狀部”(圖6中的130)中，并且然后從基座，特別地從“袋狀部”取回襯底(具有沉積層)，以及將襯底運(yùn)送遠(yuǎn)離基座。

在圖6中，外延反應(yīng)器的反應(yīng)室總體上用參考標(biāo)記100指示，并且石英的下壁101和石英的上壁102是可見(jiàn)的。在室內(nèi)，具有成形為水平盤(pán)(通常為由石墨制成的實(shí)心主體)的旋轉(zhuǎn)基座120；基座120具有適合于容納襯底6的多個(gè)水平袋狀部130。通常，基座120由室的“涂覆設(shè)備”包圍，該“涂覆設(shè)備”在圖6中用參考標(biāo)記110示意性示出。

袋狀部130具有豎直對(duì)稱(chēng)軸線(xiàn)131，具有稍微凹的底部132(中心比輪廓深例如1mm至5mm)，并且包括第一較高的圓柱形容積133(具有例如1mm至3mm的厚度)和第二較低的圓柱形容積134(具有例如1mm至3mm的厚度)；容積134的半徑比容積133的半徑小例如1mm至5mm。

襯底6容納在袋狀部130內(nèi)；然而，其位置無(wú)法完全肯定地獲知；襯底6的位置可以由其對(duì)稱(chēng)軸線(xiàn)61以及其中平面62界定。在圖6的情況中，襯底6的中心相對(duì)于袋狀部130的中心橫向地移動(dòng)，但由于襯底安置在凹底部132上，襯底6的軸線(xiàn)61相對(duì)于袋狀部130的軸線(xiàn)131傾斜。

圖6還示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的工具，該工具包括臂2和抓取盤(pán)3；工具插入到反應(yīng)室中，以使得抓取盤(pán)3與袋狀部130對(duì)齊；但抓取盤(pán)3不與襯底6對(duì)齊。

圖6中的情形對(duì)應(yīng)于當(dāng)工具被降低直到抓取盤(pán)3觸碰到襯底6的上邊緣的點(diǎn)的時(shí)刻，即，在上面所描述的步驟B結(jié)束時(shí)；接觸可以與主體30發(fā)生(如圖2中)或與環(huán)形元件31發(fā)生(如圖5中)。

繼續(xù)使工具降低，抓取盤(pán)3傾斜(以與由軸線(xiàn)61和131形成的角度對(duì)應(yīng)的角度傾斜)并且觸碰到襯底6的整個(gè)上邊緣；如果在抓取盤(pán)的下邊緣處還具有彈性材料的環(huán)形元件(例如，圖5中的元件31)，則工具和襯底之間的接觸更好，即，是沿著閉合線(xiàn)的。