本發(fā)明涉及對(duì)由半導(dǎo)體晶片等構(gòu)成的基板進(jìn)行收納、保管、搬送、運(yùn)輸?shù)葧r(shí)使用的基板收納容器。

背景技術(shù)：

作為用于對(duì)由半導(dǎo)體晶片構(gòu)成的基板進(jìn)行收納并搬送的基板收納容器，以往公知有具有容器主體和蓋體的結(jié)構(gòu)的容器。

容器主體具有在一端部形成有容器主體開口部且另一端部被封堵的筒狀壁部。在容器主體內(nèi)形成有基板收納空間。基板收納空間由壁部包圍而形成，能夠收納多個(gè)基板。蓋體能夠相對(duì)于容器主體開口部而裝拆，能夠封堵容器主體開口部。

另外，在基板收納空間中，以在基板收納空間內(nèi)成對(duì)的方式在壁部上設(shè)有基板支承板狀部?；逯С邪鍫畈吭跊]有由蓋體封堵容器主體開口部時(shí)，能夠在使相鄰的基板彼此以規(guī)定間隔分開地排列的狀態(tài)下支承多個(gè)基板的緣部。

在蓋體的一部分即在封堵容器主體開口部時(shí)與基板收納空間相對(duì)的部分上，設(shè)有前保持器。前保持器在由蓋體封堵容器主體開口部時(shí)，能夠支承多個(gè)基板的緣部。另外，以與前保持器成對(duì)的方式，在壁部上設(shè)有里側(cè)基板支承部。里側(cè)基板支承部能夠支承多個(gè)基板的緣部。里側(cè)基板支承部在由蓋體封堵容器主體開口部時(shí)，與前保持器協(xié)同地支承多個(gè)基板，由此，在使相鄰的基板彼此以規(guī)定間隔分開地排列的狀態(tài)下保持多個(gè)基板。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：國際公開第2011/102318號(hào)

專利文獻(xiàn)2：日本專利第4150465號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)3：國際公開第2014/069810號(hào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

例如，用于在工廠內(nèi)的工序中搬送基板的基板收納容器中，收納有高溫的基板。在基板收納容器的基板支承板狀部不具有耐熱性的情況下，在基板支承板狀部的與基板接觸的部分、即在基板接觸部上會(huì)產(chǎn)生傷痕，或構(gòu)成基板接觸部的樹脂會(huì)融化，從而在基板向基板收納空間取放時(shí)，擔(dān)心會(huì)對(duì)基板的背面帶來損傷。另外，由于熱變形而導(dǎo)致基板收納容器的尺寸發(fā)生變化，從基板高度等標(biāo)準(zhǔn)偏離，由此也擔(dān)心因與基板取出器接觸而導(dǎo)致基板損傷。因此，對(duì)于基板收納容器要求耐熱性。

另一方面，在以具有耐熱性的材料構(gòu)成基板收納容器的情況下，在用氮?dú)獾葘?duì)基板收納空間進(jìn)行了吹掃時(shí)，基板收納空間的濕度降低，由此會(huì)從基板收納容器和支承基板接觸部的接觸部支承部等釋放水分。因此，即使在由蓋體封堵了容器主體開口部的狀態(tài)下，在由氮?dú)獾却祾吆蟮幕迨占{空間內(nèi)的濕度也會(huì)隨時(shí)間經(jīng)過而上升。該基板收納空間內(nèi)的濕度上升有時(shí)會(huì)對(duì)基板帶來不良影響。

本發(fā)明的目的在于提供一種具有耐熱性且吸濕性低的基板收納容器。

本發(fā)明涉及一種基板收納容器，具有：容器主體，其在內(nèi)部形成有能夠收納多個(gè)基板的基板收納空間，且在一端部形成有與上述基板收納空間連通的容器主體開口部；蓋體，其能夠相對(duì)于上述容器主體開口部而裝拆，能夠封堵上述容器主體開口部；以及側(cè)方基板支承部，其在上述基板收納空間內(nèi)以成對(duì)的方式配置，在上述容器主體開口部沒有被上述蓋體封堵時(shí)，能夠在使上述多個(gè)基板中的相鄰的基板彼此以規(guī)定間隔分開地排列的狀態(tài)下，支承上述多個(gè)基板的緣部，上述側(cè)方基板支承部具有在支承著上述基板的緣部時(shí)與上述基板接觸的基板接觸部、和支承上述基板接觸部的接觸部支承部，上述基板接觸部由相對(duì)于與上述基板接觸部接觸的上述基板的溫度而具有耐熱性的材料構(gòu)成，上述接觸部支承部由耐熱性比上述基板接觸部低、且吸濕率比上述基板接觸部低的材料構(gòu)成。

另外，優(yōu)選的是，上述基板接觸部與上述接觸部支承部獨(dú)立地形成，相對(duì)于上述接觸部支承部而被固定。

另外，優(yōu)選的是，上述容器主體具有一對(duì)側(cè)壁，上述側(cè)方基板支承部至少設(shè)有一對(duì)，一方的上述側(cè)方基板支承部固定于一方的上述側(cè)壁，另一方的上述側(cè)方基板支承部固定于另一方的上述側(cè)壁，一方的上述側(cè)方基板支承部能夠固定于另一方的上述側(cè)壁，另一方的上述側(cè)方基板支承部能夠固定于一方的上述側(cè)壁，一方的上述側(cè)方基板支承部的上述基板接觸部能夠相對(duì)于另一方的上述側(cè)方基板支承部的上述接觸部支承部進(jìn)行固定，另一方的上述側(cè)方基板支承部的上述基板接觸部能夠相對(duì)于一方的上述側(cè)方基板支承部的上述接觸部支承部進(jìn)行固定。

另外，優(yōu)選的是，上述接觸部支承部具有卡定部，在上述卡定部上形成有寬孔部、和與上述寬孔部連通的窄孔部，上述基板接觸部具有基板接觸部主體、和卡定于上述卡定部的被卡定部，上述基板接觸部主體不能插入到上述寬孔部及上述窄孔部中，上述被卡定部具有：能夠插入到上述寬孔部中且不能插入到上述窄孔部中的頭部；和一端部與上述頭部連接且另一端部與上述基板接觸部主體連接，并能夠插入到上述寬孔部及上述窄孔部中的頸部，具有在上述頸部插入到上述窄孔部中時(shí)，阻礙上述頸部從上述窄孔部向上述寬孔部移動(dòng)的被卡定部移動(dòng)阻礙部。

另外，優(yōu)選的是，具有多個(gè)上述卡定部及多個(gè)上述被卡定部，在一個(gè)上述窄孔部中，在相對(duì)于將上述窄孔部和上述寬孔部相連的方向而正交的方向上，上述窄孔部的寬度與上述頸部的寬度大致相同，在其他上述窄孔部中，在相對(duì)于將上述窄孔部和上述寬孔部相連的方向而正交的方向上，上述窄孔部的寬度大于上述頸部的寬度。

在此，關(guān)于“上述窄孔部的寬度與上述頸部的寬度大致相同”，在不是大致相同而是完全相同的情況下，存在無法將頸部插入到窄孔部中的情況，因此其表示消除這樣的不良情況，而在能夠?qū)㈩i部插入到窄孔部中的程度下，窄孔部的寬度與頸部的寬度相同。

另外，優(yōu)選的是，上述基板接觸部相對(duì)于上述接觸部支承部通過嵌件成形而被固定。另外，優(yōu)選的是，上述基板接觸部相對(duì)于上述接觸部支承部通過重疊注塑(overmolding)而形成。

另外，優(yōu)選的是，上述容器主體由吸濕率比上述基板接觸部低的材料構(gòu)成。另外，優(yōu)選的是，上述容器主體與上述接觸部支承部一體成形。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種具有耐熱性且吸濕性低的基板收納容器。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器1的在基板收納容器1中收納有基板W的狀況的分解立體圖。

圖2是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器1的基板支承板狀部5的立體圖。

圖3是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器1的基板支承板狀部5的主視圖。

圖4是表示從本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器1的基板支承板狀部5拆下前側(cè)基板接觸部53及后側(cè)基板接觸部54后的狀況的立體圖。

圖5A是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器1的前側(cè)基板接觸部53的立體圖。

圖5B是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器1的前側(cè)基板接觸部53的側(cè)視圖。

圖5C是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器1的前側(cè)基板接觸部53的后視圖。

圖6A是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器1的后側(cè)基板接觸部54的立體圖。

圖6B是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器1的后側(cè)基板接觸部54的側(cè)視圖。

圖6C是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器1的后側(cè)基板接觸部54的后視圖。

圖7是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的基板收納容器的基板支承板狀部5A的立體圖。

圖8是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的基板收納容器的前側(cè)基板接觸部53A的立體圖。

圖9是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的基板收納容器的后側(cè)基板接觸部54A的立體圖。

圖10是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的基板收納容器的基板支承板狀部5A的主視圖。

圖11是圖10的沿著A-A線的剖視圖。

圖12是表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式的基板收納容器的基板支承板狀部5B的立體圖。

圖13是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的基板支承板狀部5C的主視圖。

圖14是表示從本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的基板支承板狀部5C拆下前側(cè)基板接觸部53C及后側(cè)基板接觸部54C后的狀況的主視圖。

圖15A是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的前側(cè)基板接觸部53C的側(cè)視圖。

圖15B是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的前側(cè)基板接觸部53C的后視圖。

圖15C是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的前側(cè)基板接觸部53C的俯視圖。

圖16A是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的后側(cè)基板接觸部54C的側(cè)視圖。

圖16B是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的后側(cè)基板接觸部54C的后視圖。

圖16C是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的后側(cè)基板接觸部54C的俯視圖。

圖17是表示要在本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的基板支承板狀部5C上安裝前側(cè)基板接觸部53C的狀況的剖面立體圖。

圖18是表示在本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的基板支承板狀部5C的寬孔部5261C中插入有前側(cè)基板接觸部53C的被卡定部的頸部5332C及頭部5331C的狀況的放大剖面立體圖。

圖19是表示在本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的基板支承板狀部5C的窄孔部5262C中插入有前側(cè)基板接觸部53C的被卡定部的頸部5332C的狀況的放大剖面立體圖。

圖20是表示在本發(fā)明的第5實(shí)施方式的基板收納容器的基板支承板狀部的窄孔部5262C中插入有前側(cè)基板接觸部53C的被卡定部的頸部5332C的狀況的概略剖視圖。

具體實(shí)施方式

以下，一邊參照?qǐng)D1～圖6C一邊對(duì)本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器進(jìn)行說明。

圖1是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器1的在基板收納容器1中收納有基板W的狀況的分解立體圖。圖2是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器1的基板支承板狀部5的立體圖。圖3是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器1的基板支承板狀部5的主視圖。圖4是表示從本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器1的基板支承板狀部5拆下前側(cè)基板接觸部53及后側(cè)基板接觸部54后的狀況的立體圖。圖5A是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器1的前側(cè)基板接觸部53的立體圖。圖5B是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器1的前側(cè)基板接觸部53的側(cè)視圖。

圖5C是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器1的前側(cè)基板接觸部53的后視圖。圖6A是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器1的后側(cè)基板接觸部54的立體圖。圖6B是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器1的后側(cè)基板接觸部54的側(cè)視圖。圖6C是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板收納容器1的后側(cè)基板接觸部54的后視圖。

在此，為便于說明，將從后述的容器主體2朝向蓋體3的方向(圖1中的從右上朝向左下的方向)定義為前方向D11，將其相反方向定義為后方向D12，將前方向D11和后方向D12定義為前后方向D1。另外，將從后述的下壁24朝向上壁23的方向(圖1中的上方向)定義為上方向D21，將其相反方向定義為下方向D22，將上方向D21和下方向D22定義為上下方向D2。另外，將從后述的第2側(cè)壁26朝向第1側(cè)壁25的方向(圖1中的從右下朝向左上的方向)定義為左方向D31，將其相反方向定義為右方向D32，將左方向D31和右方向D32定義為左右方向D3。在主要附圖中，標(biāo)注表示這些方向的箭頭來進(jìn)行說明。

另外，收納在基板收納容器1中的基板W(參照?qǐng)D1等)是圓盤狀的硅晶片、玻璃晶片、藍(lán)寶石晶片等，是在工業(yè)中使用的薄晶片。本實(shí)施方式中的基板W是直徑為300mm左右的硅晶片。

如圖1所示，基板收納容器1具有容器主體2、蓋體3、密封部件4、作為側(cè)方基板支承部的基板支承板狀部5、里側(cè)基板支承部(未圖示)、和前保持器(未圖示)。

容器主體2具有在一端部形成有容器主體開口部21且另一端部被封堵的筒狀的壁部20。在容器主體2內(nèi)形成有基板收納空間27。基板收納空間27由壁部20包圍而形成。在壁部20的一部分即形成基板收納空間27的部分上，配置有基板支承板狀部5。在基板收納空間27中，如圖1所示，能夠收納多個(gè)基板W。

基板支承板狀部5以在基板收納空間27內(nèi)成對(duì)的方式設(shè)在壁部20上?；逯С邪鍫畈?在沒有由蓋體3封堵容器主體開口部21時(shí)，與多個(gè)基板W的緣部抵接，由此，能夠在使相鄰的基板W彼此以規(guī)定間隔分開地排列的狀態(tài)下支承多個(gè)基板W的緣部。在基板支承板狀部5的里側(cè)設(shè)有里側(cè)基板支承部(未圖示)。

里側(cè)基板支承部(未圖示)以在基板收納空間27內(nèi)與前保持器(未圖示)成對(duì)的方式設(shè)在壁部20上。里側(cè)基板支承部(未圖示)在由蓋體3封堵容器主體開口部21時(shí)，與多個(gè)基板W的緣部抵接，由此能夠支承多個(gè)基板W的緣部的后部。

蓋體3能夠相對(duì)于形成容器主體開口部21的開口周緣部28(圖1等)而裝拆，能夠封堵容器主體開口部21。前保持器(未圖示)設(shè)在蓋體3的一部分即由蓋體3封堵容器主體開口部21時(shí)與基板收納空間27相對(duì)的部分上。前保持器(未圖示)以在基板收納空間27的內(nèi)部與里側(cè)基板支承部(未圖示)成對(duì)的方式配置。

前保持器(未圖示)在由蓋體3封堵容器主體開口部21時(shí)，能夠通過與多個(gè)基板W的緣部抵接來支承多個(gè)基板W的緣部的前部。前保持器(未圖示)在由蓋體3封堵容器主體開口部21時(shí)，與里側(cè)基板支承部(未圖示)協(xié)作地支承多個(gè)基板W，由此，在以使相鄰的基板W彼此以規(guī)定間隔分開地排列的狀態(tài)下保持多個(gè)基板W。以下，詳細(xì)說明各部分。

基板收納容器1由塑料材料等樹脂構(gòu)成，在沒有特別說明的情況下，作為該材料的樹脂，為了使例如環(huán)烯烴聚合物、環(huán)烯烴共聚物這樣的與后述的前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54相比吸濕性低的成形材料、它們的聚合物合金等具有導(dǎo)電性而在這些成形材料的樹脂中選擇性地添加碳纖維、碳粉末、碳納米管、科琴碳黑(Ketjen black)(注冊(cè)商標(biāo))、導(dǎo)電性聚合物等導(dǎo)電性物質(zhì)。另外，為了提高剛性，也可以在這些成形材料的樹脂中添加玻璃纖維、碳纖維等。

如圖1等所示，容器主體2的壁部20具有里側(cè)壁22、上壁23、下壁24、第1側(cè)壁25和第2側(cè)壁26。里側(cè)壁22、上壁23、下壁24、第1側(cè)壁25及第2側(cè)壁26由上述材料構(gòu)成，在第1實(shí)施方式中，由環(huán)烯烴聚合物進(jìn)行一體成形而構(gòu)成。

第1側(cè)壁25與第2側(cè)壁26相對(duì)，上壁23與下壁24相對(duì)。上壁23的后端、下壁24的后端、第1側(cè)壁25的后端、及第2側(cè)壁26的后端全部與里側(cè)壁22連接。上壁23的前端、下壁24的前端、第1側(cè)壁25的前端、及第2側(cè)壁26的前端具有與里側(cè)壁22相對(duì)的位置關(guān)系，構(gòu)成形成容器主體開口部21的開口周緣部28，該容器主體開口部21呈大致長方形狀。

開口周緣部28設(shè)在容器主體2的一端部，里側(cè)壁22位于容器主體2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主體2的外形為箱狀。壁部20的內(nèi)表面、即里側(cè)壁22的內(nèi)表面、上壁23的內(nèi)表面、下壁24的內(nèi)表面、第1側(cè)壁25的內(nèi)表面、及第2側(cè)壁26的內(nèi)表面形成由它們包圍的基板收納空間27。形成于開口周緣部28的容器主體開口部21與由壁部20包圍而形成于容器主體2內(nèi)部的基板收納空間27連通。在基板收納空間27中最大能夠收納25張基板W。

如圖1所示，在上壁23及下壁24的一部分即在開口周緣部28附近的部分上，形成有朝向基板收納空間27的外側(cè)凹陷而成的閂鎖卡合凹部231A、231B、241A、241B。閂鎖卡合凹部231A、231B、241A、241B在上壁23及下壁24的左右兩端部附近各形成有一個(gè)，共計(jì)形成有四個(gè)。

如圖1所示，在上壁23的外表面上，與上壁23一體成形地設(shè)有肋235A、235B。肋235A、235B提高容器主體2的剛性。另外，在上壁23的中央部固定有頂部凸緣236。頂部凸緣236是在AMHS(自動(dòng)晶片搬送系統(tǒng))、PGV(晶片基板搬送臺(tái)車)等中懸吊基板收納容器1時(shí)，成為在基板收納容器1中被卡掛而懸吊的部分的部件。

如圖1所示，基板支承板狀部5分別設(shè)在第1側(cè)壁25及第2側(cè)壁26上，且以在左右方向D3上成對(duì)的方式配置在基板收納空間27內(nèi)。具體地說，基板支承板狀部5具有板部51、板部支承部52、前側(cè)基板接觸部53和后側(cè)基板接觸部54。分別設(shè)在第1側(cè)壁25、第2側(cè)壁26上的基板支承板狀部5具有相同形狀，因此以下僅對(duì)一方的基板支承板狀部5進(jìn)行說明。即，設(shè)在第1側(cè)壁25上的基板支承板狀部5能夠固定于第2側(cè)壁26來使用，另外，設(shè)在第2側(cè)壁26上的基板支承板狀部5能夠固定于第1側(cè)壁25來使用。

另外，前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54與作為所述接觸部支承部的第1板部支承部521、第3板部支承部523獨(dú)立地形成。即，如圖4、圖5A～圖5C、圖6A～圖6C所示，前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54由能夠相對(duì)于第1板部支承部521、第3板部支承部523裝拆的獨(dú)立部件構(gòu)成。

板部51及板部支承部52由與前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54相比耐熱性低、且與前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54相比吸濕率低的材料一體成形而構(gòu)成。具體地說，板部51和板部支承部52使用了環(huán)烯烴聚合物、環(huán)烯烴共聚物這樣的與前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54相比吸濕性低的成形材料。在對(duì)這些成形材料的樹脂賦予導(dǎo)電性的情況下，在這些成形材料的樹脂中選擇性地添加碳纖維、碳粉末、碳納米管、科琴碳黑(注冊(cè)商標(biāo))、導(dǎo)電性聚合物等導(dǎo)電性物質(zhì)。

板部51具有板狀的弧形狀。板部51在第1側(cè)壁25、第2側(cè)壁26上分別各設(shè)有25片、共計(jì)設(shè)有50片。相鄰的板部51在上下方向D2上以10mm～12mm間隔相互分開并以平行的位置關(guān)系配置。此外，在位于最上的板部51的上方也配置有與板部51形狀大致相同的部件，其是相對(duì)于位于最上且向基板收納空間27內(nèi)插入的基板W而在插入時(shí)起到引導(dǎo)作用的部件。

另外，設(shè)在第1側(cè)壁25上的25片板部51和設(shè)在第2側(cè)壁26上的25片板部51具有彼此在左右方向D3上相對(duì)的位置關(guān)系。另外，50片板部51及與板部51形狀大致相同的起到引導(dǎo)作用的兩片部件具有與下壁24的內(nèi)表面平行的位置關(guān)系。

板部支承部52由作為接觸部支承部的第1板部支承部521、第2板部支承部522和第3板部支承部523構(gòu)成，這些板部支承部在上下方向D2上延伸。設(shè)在第1側(cè)壁25上的25片板部51與設(shè)在第1側(cè)壁25側(cè)的第1板部支承部521、第2板部支承部522及第3板部支承部523連接。同樣地，設(shè)在第2側(cè)壁26上的25片板部51與設(shè)在第2側(cè)壁26側(cè)的第1板部支承部521、第2板部支承部522及第3板部支承部523連接。基板支承板狀部5分別固定在第1側(cè)壁25、第2側(cè)壁26上。

第1板部支承部521具有供前側(cè)基板接觸部53抵接而固定的前側(cè)接觸部抵接面525。如圖4所示，前側(cè)接觸部抵接面525具有在上下方向D2上細(xì)長地延伸的長方形狀，由平坦面構(gòu)成。前側(cè)接觸部抵接面525的上端部及下端部、上下方向上的前側(cè)接觸部抵接面525的中央部、該上端部與該中央部的中間部、該下端部與該中央部的中間部，分別具有圓形的貫穿孔526。第1板部支承部521支承基板接觸部53。

第3板部支承部523具有供后側(cè)基板接觸部54抵接而固定的后側(cè)接觸部抵接面527。如圖4所示，后側(cè)接觸部抵接面527具有在上下方向D2上細(xì)長地延伸的長方形狀，由平坦面構(gòu)成。在后側(cè)接觸部抵接面527的上端部及下端部、上下方向上的后側(cè)接觸部抵接面527的中央部、該上端部與該中央部的中間部、該下端部與該中央部的中間部上，形成有圓形的貫穿孔528。

如圖5A～圖5C所示，前側(cè)基板接觸部53具有前側(cè)板狀基部531、前側(cè)內(nèi)方凸部532和前側(cè)被固定凸部533，這些部分一體成形。前側(cè)基板接觸部53在基板支承板狀部5支承著基板W的緣部時(shí)，與基板W接觸。前側(cè)基板接觸部53由相對(duì)于與前側(cè)基板接觸部53接觸的基板W的溫度而具有耐熱性的材料構(gòu)成。更具體地說，前側(cè)基板接觸部53由PEEK材料等構(gòu)成。在對(duì)該P(yáng)EEK材料賦予導(dǎo)電性的情況下，在這些成形材料的樹脂中選擇性地添加碳纖維、碳粉末、碳納米管、科琴碳黑(注冊(cè)商標(biāo))、導(dǎo)電性聚合物等導(dǎo)電性物質(zhì)。

前側(cè)板狀基部531具有比前側(cè)接觸部抵接面525稍小的長方形的板狀。前側(cè)板狀基部531的背面以與前側(cè)接觸部抵接面525(參照?qǐng)D4)大致一致的位置關(guān)系面向該前側(cè)接觸部抵接面525而與之抵接。

前側(cè)內(nèi)方凸部532具有從前側(cè)板狀基部531的表面向基板收納空間27的內(nèi)方延伸的板狀。前側(cè)內(nèi)方凸部532如圖2、圖5A等所示，在從與前后方向D1及左右方向D3平行的平面觀察時(shí)，具有尖細(xì)形狀，并且如圖5B所示，在上下方向D2上具有尖細(xì)形狀。將前側(cè)內(nèi)方凸部532的上表面和下表面相連的前側(cè)內(nèi)方凸部532的厚度方向與上下方向D2一致。

在前側(cè)內(nèi)方凸部532的上表面存在大致半圓凸部534。大致半圓凸部534從前側(cè)內(nèi)方凸部532的基部延伸直至前端部，大致半圓凸部534的與延伸方向正交的截面呈向上方向D21具有凸形狀的大致半圓形狀。基板W的下表面的緣部與大致半圓凸部534的最上部抵接，由此，基板W由基板支承板狀部5支承。

如圖5B、圖5C所示，前側(cè)被固定凸部533具有圓盤形狀。前側(cè)被固定凸部533的軸心具有與前側(cè)板狀基部531的背面(在圖5C中表現(xiàn)出的前側(cè)板狀基部531的面)的法線方向平行的位置關(guān)系，前側(cè)被固定凸部533從前側(cè)板狀基部531的背面突出。前側(cè)被固定凸部533能夠壓入到貫穿孔526(參照?qǐng)D4等)中。通過將前側(cè)被固定凸部533壓入到貫穿孔526中，前側(cè)基板接觸部53相對(duì)于板部支承部52的第1板部支承部521而被固定。

如前所述，分別設(shè)在第1側(cè)壁25、第2側(cè)壁26上的基板支承板狀部5具有相同形狀，因此，設(shè)在第1側(cè)壁25上的基板支承板狀部5的前側(cè)基板接觸部53能夠相對(duì)于設(shè)在第2側(cè)壁26上的基板支承板狀部5的第1板部支承部521進(jìn)行固定。同樣地，設(shè)在第2側(cè)壁26上的基板支承板狀部5的前側(cè)基板接觸部53能夠相對(duì)于設(shè)在第1側(cè)壁25上的基板支承板狀部5的第1板部支承部521進(jìn)行固定。

如圖6A～圖6C所示，后側(cè)基板接觸部54具有后側(cè)板狀基部541、后側(cè)內(nèi)方凸部542和后側(cè)被固定凸部543，這些部分一體成形。后側(cè)基板接觸部54在基板支承板狀部5支承著基板W的緣部時(shí)，與基板W接觸。后側(cè)基板接觸部54由相對(duì)于與后側(cè)基板接觸部54接觸的基板W的溫度而具有耐熱性的材料構(gòu)成。更具體地說，后側(cè)基板接觸部54由PEEK材料等構(gòu)成。在對(duì)該P(yáng)EEK材料賦予導(dǎo)電性的情況下，在這些成形材料的樹脂中選擇性地添加碳纖維、碳粉末、碳納米管、科琴碳黑(注冊(cè)商標(biāo))、導(dǎo)電性聚合物等導(dǎo)電性物質(zhì)。

后側(cè)板狀基部541具有比后側(cè)接觸部抵接面527稍小的長方形的板狀，后側(cè)板狀基部541的背面以與后側(cè)接觸部抵接面527大致一致的位置關(guān)系面向該后側(cè)接觸部抵接面527而與之抵接。

后側(cè)內(nèi)方凸部542具有從后側(cè)板狀基部541的表面向基板收納空間27的內(nèi)方延伸的板狀。后側(cè)內(nèi)方凸部542如圖2、圖6A等所示，在從與前后方向D1及左右方向D3平行的平面觀察時(shí)，具有尖細(xì)形狀，并且如圖6B所示，在上下方向D2上具有尖細(xì)形狀。將后側(cè)內(nèi)方凸部542的上表面和下表面相連的后側(cè)內(nèi)方凸部542的厚度方向與上下方向D2一致。

在后側(cè)內(nèi)方凸部542的上表面，不存在前側(cè)基板接觸部53的大致半圓凸部534這樣的大致半圓凸部?；錡的下表面的緣部與后側(cè)內(nèi)方凸部542的上表面的緣部抵接，由此，基板W由基板支承板狀部5支承。

如圖6B、圖6C所示，后側(cè)被固定凸部543具有圓盤形狀。后側(cè)被固定凸部543的軸心具有與后側(cè)板狀基部541的背面(在圖6C中表現(xiàn)出的后側(cè)板狀基部541的面)的法線方向平行的位置關(guān)系，后側(cè)被固定凸部543從后側(cè)板狀基部541的背面突出。后側(cè)被固定凸部543能夠壓入到貫穿孔528(參照?qǐng)D4等)中。通過將后側(cè)被固定凸部543壓入到貫穿孔528中，后側(cè)基板接觸部54相對(duì)于板部支承部52的第3板部支承部523能夠裝拆地被固定。

如前所述，分別設(shè)在第1側(cè)壁25、第2側(cè)壁26上的基板支承板狀部5具有相同形狀，因此，設(shè)在第1側(cè)壁25上的基板支承板狀部5的后側(cè)基板接觸部54相對(duì)于設(shè)在第2側(cè)壁26上的基板支承板狀部5的第3板部支承部523能夠裝拆地被固定。同樣地，設(shè)在第2側(cè)壁26上的基板支承板狀部5的后側(cè)基板接觸部54相對(duì)于設(shè)在第1側(cè)壁25上的基板支承板狀部5的第3板部支承部523能夠裝拆地被固定。

通過這樣構(gòu)成的基板支承板狀部5，能夠在使多個(gè)基板W中的相鄰的基板W彼此以規(guī)定間隔分開的狀態(tài)下且成為相互平行的位置關(guān)系的狀態(tài)下，支承多個(gè)基板W的緣部。

里側(cè)基板支承部(未圖示)具有壁部基板支承部(未圖示)。壁部基板支承部(未圖示)形成并設(shè)在基板支承板狀部5的板部51的后端部。此外，壁部基板支承部(未圖示)也可以與容器主體2一體地成形。

壁部基板支承部(未圖示)設(shè)有與能夠收納于基板收納空間27的每一張基板W對(duì)應(yīng)的個(gè)數(shù)，具體地說，設(shè)有25個(gè)。設(shè)在第1側(cè)壁25及第2側(cè)壁26上的壁部基板支承部(未圖示)具有在左右方向D3上成對(duì)的位置關(guān)系。另外，設(shè)在第1側(cè)壁25及第2側(cè)壁26上的壁部基板支承部(未圖示)具有在前后方向D1上與后述的前保持器(未圖示)成對(duì)這樣的位置關(guān)系。通過將基板W收納到基板收納空間27內(nèi)并關(guān)閉蓋體3，壁部基板支承部(未圖示)夾持基板W的緣部的端緣。

如圖1所示，蓋體3具有與容器主體2的開口周緣部28的形狀大致一致的大致長方形狀。蓋體3能夠相對(duì)于容器主體2的開口周緣部28而裝拆，通過在開口周緣部28上安裝蓋體3，蓋體3能夠封堵容器主體開口部21。在蓋體3的內(nèi)表面(圖1所示的蓋體3的背側(cè)的面)、且在蓋體3封堵容器主體開口部21時(shí)的與開口周緣部28的正后方向D12的位置上形成的層差部分的面(密封面281)相對(duì)的面上，安裝有環(huán)狀的密封部件4。密封部件4由能夠彈性變形的聚酯類、聚烯烴類等各種熱塑性彈性體、氟橡膠、硅橡膠等構(gòu)成。密封部件4以環(huán)繞蓋體3的外周緣部整周的方式配置。

在蓋體3安裝到開口周緣部28時(shí)，密封部件4被密封面281和蓋體3的內(nèi)表面夾持而彈性變形，蓋體3以密封狀態(tài)將容器主體開口部21封堵。通過從開口周緣部28拆下蓋體3，能夠相對(duì)于容器主體2內(nèi)的基板收納空間27取放基板W。

在蓋體3中設(shè)有閂鎖機(jī)構(gòu)。閂鎖機(jī)構(gòu)設(shè)在蓋體3的左右兩端部附近，如圖1所示，具有能夠從蓋體3的上邊向上方向D21突出的兩個(gè)上側(cè)閂鎖部32A、32B、和能夠從蓋體3的下邊向下方向D22突出的兩個(gè)下側(cè)閂鎖部32C、32D。兩個(gè)上側(cè)閂鎖部32A、32B配置在蓋體3的上邊的左右兩端附近，兩個(gè)下側(cè)閂鎖部32C、32D配置在蓋體3的下邊的左右兩端附近。

在蓋體3的外表面上設(shè)有操作部33。通過從蓋體3的前側(cè)對(duì)操作部33進(jìn)行操作，能夠使上側(cè)閂鎖部32A、32B、下側(cè)閂鎖部32C、32D從蓋體3的上邊、下邊突出，另外，能夠使上側(cè)閂鎖部32A、32B、下側(cè)閂鎖部32C、32D成為不從上邊、下邊突出的狀態(tài)。上側(cè)閂鎖部32A、32B從蓋體3的上邊向上方向D21突出，與容器主體2的閂鎖卡合凹部231A、231B卡合，并且，下側(cè)閂鎖部32C、32D從蓋體3的下邊向下方向D22突出，與容器主體2的閂鎖卡合凹部241A、241B卡合，由此，蓋體3固定在容器主體2的開口周緣部28上。

在蓋體3的蓋體主體30的內(nèi)側(cè)固定地設(shè)有前保持器(未圖示)。前保持器(未圖示)具有前保持器基板承托部(未圖示)。前保持器基板承托部(未圖示)在左右方向D3上以分開規(guī)定間隔地成對(duì)的方式按每兩個(gè)配置。這樣以成對(duì)方式按每兩個(gè)配置的前保持器基板承托部(未圖示)在上下方向D2上以排列25對(duì)的狀態(tài)設(shè)置。通過將基板W收納到基板收納空間27內(nèi)，并將蓋體3關(guān)閉，前保持器基板承托部(未圖示)夾持并支承基板W的緣部的端緣。

根據(jù)上述構(gòu)成的第1實(shí)施方式的基板收納容器1，能夠得到以下那樣的效果。

如上所述，基板收納容器1具有：容器主體2，其在內(nèi)部形成有能夠收納多個(gè)基板W的基板收納空間27，且在一端部形成有與基板收納空間27連通的容器主體開口部21；蓋體3，其能夠相對(duì)于容器主體開口部21而裝拆，且能夠封堵容器主體開口部21；和作為側(cè)方基板支承部的基板支承板狀部5，其在基板收納空間27內(nèi)以成對(duì)的方式配置，在沒有由蓋體3封堵容器主體開口部21時(shí)，能夠在使多個(gè)基板W中的相鄰的基板W彼此以規(guī)定間隔分開地排列的狀態(tài)下，支承多個(gè)基板W的緣部?；逯С邪鍫畈?具有：在支承基板W的緣部時(shí)與基板W接觸的前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54；和支承前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54的作為接觸部支承部的第1板部支承部521、第3板部支承部523。前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54由相對(duì)于與前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54接觸的基板W的溫度而具有耐熱性的材料構(gòu)成。第1板部支承部521、第3板部支承部523由與前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54相比耐熱性低、且與前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54相比吸濕率低的材料構(gòu)成。

通過該結(jié)構(gòu)，由于作為側(cè)方基板支承部的基板支承板狀部5具有：在支承著基板W的緣部時(shí)與基板W接觸的前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54；和支承前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54的作為接觸部支承部的第1板部支承部521、第3板部支承部523，前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54由相對(duì)于與前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54接觸的基板W的溫度而具有耐熱性的材料構(gòu)成，因此，能夠抑制前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54產(chǎn)生傷痕，并抑制構(gòu)成前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54的樹脂融化。因此，能夠抑制在基板W向基板收納空間27取放時(shí)對(duì)基板W的背面帶來損傷。另外，能夠抑制因熱變形而導(dǎo)致基板收納容器1的尺寸發(fā)生變化并從基板高度等標(biāo)準(zhǔn)偏離，能夠抑制因與基板取出器的接觸而導(dǎo)致的基板損傷。因此，在以往使用了由耐熱性材料構(gòu)成的基板收納容器1的工序中，也能夠使用基板收納容器1。

另外，由于作為接觸部支承部的第1板部支承部521、第3板部支承部523由與前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54相比吸濕率低的材料構(gòu)成，所以即使在用氮?dú)獾葘?duì)基板收納空間27進(jìn)行了吹掃時(shí)基板收納空間27的濕度降低，也能夠抑制從第1板部支承部521、第3板部支承部523釋放水分。因此，能夠極力抑制因水分對(duì)基板W帶來的不良影響。

另外，前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54與作為上述接觸部支承部的第1板部支承部521、第3板部支承部523獨(dú)立地形成，相對(duì)于作為接觸部支承部的第1板部支承部521、第3板部支承部523被固定。通過該結(jié)構(gòu)，即使在前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54經(jīng)使用而破損等的情況下，也能夠容易地更換前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54。另外，能夠根據(jù)需要更換成形狀不同的前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54而使用。

另外，上述容器主體2具有作為一對(duì)側(cè)壁的第1側(cè)壁25、第2側(cè)壁26，作為上述側(cè)方基板支承部的基板支承板狀部5設(shè)有一對(duì)，一方的上述基板支承板狀部5固定在作為一方的上述側(cè)壁的第1側(cè)壁25上，作為另一方的上述側(cè)方基板支承部的基板支承板狀部5固定在作為另一方的上述側(cè)壁的第2側(cè)壁26上。作為一方的上述側(cè)方基板支承部的基板支承板狀部5能夠固定在作為另一方的上述側(cè)壁的第2側(cè)壁26上，作為另一方的上述側(cè)方基板支承部的基板支承板狀部5能夠固定在作為一方的上述側(cè)壁的第1側(cè)壁25上。一方的基板支承板狀部5的上述前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54分別能夠相對(duì)于另一方的基板支承板狀部5的作為上述接觸部支承部的第1板部支承部521、第3板部支承部523進(jìn)行固定，另一方的基板支承板狀部5的上述前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54分別能夠相對(duì)于一方的基板支承板狀部5的上述前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54進(jìn)行固定。

通過該結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒆鳛閭?cè)方基板支承部的基板支承板狀部5可裝拆地固定在第1側(cè)壁25和第2側(cè)壁26中的任一方上。另外，能夠?qū)⑶皞?cè)基板接觸部53可裝拆地固定在一方的基板支承板狀部5的第1板部支承部521和另一方的基板支承板狀部5的第1板部支承部521中的任一方上。另外，同樣地，能夠?qū)⒑髠?cè)基板接觸部54可裝拆地固定在一方的基板支承板狀部5的第3板部支承部523和另一方的基板支承板狀部5的第3板部支承部523中的任一方上。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54及基板支承板狀部5的制造成本的降低。

另外，容器主體2由與前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54相比吸濕率低的材料構(gòu)成。通過該結(jié)構(gòu)，即使在用氮?dú)獾葘?duì)基板收納空間27進(jìn)行了吹掃時(shí)基板收納空間27的濕度降低，也能夠抑制從容器主體2釋放水分。因此，能夠有效地抑制因水分對(duì)基板W帶來的不良影響。

在此，在將前側(cè)基板接觸部53、后側(cè)基板接觸部54與作為接觸部支承部的第1板部支承部521、第3板部支承部523固定時(shí)，除了上述的壓入方法以外，當(dāng)然也能夠使用例如熱鉚或基于鉤實(shí)現(xiàn)的固定等其他方法。

以下，一邊參照?qǐng)D7～圖11一邊對(duì)本發(fā)明的第2實(shí)施方式的基板收納容器進(jìn)行說明。圖7是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的基板收納容器的基板支承板狀部5A的立體圖。圖8是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的基板收納容器的前側(cè)基板接觸部53A的立體圖。圖9是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的基板收納容器的后側(cè)基板接觸部54A的立體圖。圖10是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的基板收納容器的基板支承板狀部5A的主視圖。圖11是圖10的沿著A-A線的剖視圖。

第2實(shí)施方式的基板收納容器的基板支承板狀部5A在前側(cè)基板接觸部53A相對(duì)于作為接觸部支承部的第1板部支承部521A通過嵌件成形(insert molding)而被固定的方面，另外，在后側(cè)基板接觸部54A相對(duì)于作為接觸部支承部的第3板部支承部523A通過嵌件成形而被固定的方面，與第1實(shí)施方式的基板收納容器1的基板支承板狀部5不同。除此以外的各部分的結(jié)構(gòu)與第1實(shí)施方式的基板收納容器1的各部分的結(jié)構(gòu)相同。對(duì)與第1實(shí)施方式中的各結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)，標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說明。

如圖7所示，在基板支承板狀部5A中，前側(cè)基板接觸部53A相對(duì)于第1板部支承部521A通過嵌件成形而被固定。如圖8所示，前側(cè)基板接觸部53A具有前側(cè)板狀基部531A、前側(cè)內(nèi)方凸部532、前側(cè)板狀基部平行板535A和平行板連結(jié)部536A。這些部分全部由相同的PEEK材料構(gòu)成。

前側(cè)板狀基部531A具有與第1實(shí)施方式中的前側(cè)板狀基部531相同的結(jié)構(gòu)。前側(cè)板狀基部平行板535A具有與前側(cè)板狀基部531A相同形狀的長方形狀的板狀。平行板連結(jié)部536A與前側(cè)板狀基部531A及前側(cè)板狀基部平行板535A一體成形，將前側(cè)板狀基部531A和前側(cè)板狀基部平行板535A連結(jié)。由此，前側(cè)板狀基部531A與前側(cè)板狀基部平行板535A具有平行的位置關(guān)系。平行板連結(jié)部536A在將前側(cè)板狀基部531A和前側(cè)板狀基部平行板535A相連的方向上，具有分別與前側(cè)內(nèi)方凸部532相對(duì)的位置關(guān)系。

前側(cè)基板接觸部53A設(shè)置在模具中，通過熔融的環(huán)烯烴聚合物等樹脂材料將前側(cè)板狀基部531A、前側(cè)板狀基部平行板535A及平行板連結(jié)部536A注塑(moulding)。然后，熔融的樹脂材料被冷卻而成為具有第1板部支承部521A的板部支承部52A。由此，如圖7、圖10、圖11所示，前側(cè)基板接觸部53A相對(duì)于第1板部支承部521A嵌件成形而被固定。

另外，如圖7所示，在基板支承板狀部5A中，后側(cè)基板接觸部54A相對(duì)于第3板部支承部523A通過嵌件成形而被固定。如圖9所示，后側(cè)基板接觸部54A具有后側(cè)板狀基部541A、后側(cè)內(nèi)方凸部542、后側(cè)板狀基部平行板545A和平行板連結(jié)部546A。這些部分全部由相同的PEEK材料構(gòu)成。

后側(cè)板狀基部541A具有與第1實(shí)施方式中的后側(cè)板狀基部541相同的結(jié)構(gòu)。后側(cè)板狀基部平行板545A具有與后側(cè)板狀基部541A相同形狀的長方形狀的板狀。平行板連結(jié)部546A與后側(cè)板狀基部541A及后側(cè)板狀基部平行板545A一體成形，將后側(cè)板狀基部541A和后側(cè)板狀基部平行板545A連結(jié)。由此，后側(cè)板狀基部541A與后側(cè)板狀基部平行板545A具有平行的位置關(guān)系。平行板連結(jié)部546A在將后側(cè)板狀基部541A和后側(cè)板狀基部平行板545A相連的方向上，具有分別與后側(cè)內(nèi)方凸部542相對(duì)的位置關(guān)系。

后側(cè)基板接觸部54A設(shè)置在模具中，通過熔融的環(huán)烯烴聚合物等樹脂材料對(duì)后側(cè)板狀基部541A、后側(cè)板狀基部平行板545A及平行板連結(jié)部546A進(jìn)行注塑。然后，熔融的樹脂材料被冷卻而成為具有第3板部支承部523A的板部支承部52A。由此，如圖7、圖10所示，后側(cè)基板接觸部54A相對(duì)于第3板部支承部523A嵌件成形而被固定。

根據(jù)上述構(gòu)成的第2實(shí)施方式的基板收納容器，能夠得到以下那樣的效果。

如前所述，前側(cè)基板接觸部53A、后側(cè)基板接觸部54A相對(duì)于作為接觸部支承部的第1板部支承部521A、第3板部支承部523A分別通過嵌件成形而被固定。通過該結(jié)構(gòu)，能夠在前側(cè)基板接觸部53A與第1板部支承部521A之間、在后側(cè)基板接觸部54A與第3板部支承部523A之間分別消除間隙，能夠減少基板收納容器的清洗后的水殘留。

以下，一邊參照?qǐng)D12一邊對(duì)本發(fā)明的第3實(shí)施方式的基板收納容器進(jìn)行說明。圖12是表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式的基板收納容器的基板支承板狀部5B的立體圖。

在第3實(shí)施方式的基板收納容器的基板支承板狀部5B中，在構(gòu)成前側(cè)基板接觸部的大致半圓凸部件534B相對(duì)于構(gòu)成接觸部支承部的板部51B通過重疊注塑(二次注塑：overmolding)而形成的方面、以及構(gòu)成后側(cè)基板接觸部的板狀傾斜凸部件544B相對(duì)于構(gòu)成接觸部支承部的板部51B通過重疊注塑而形成的方面，與第1實(shí)施方式的基板收納容器1的基板支承板狀部5不同。除此以外的各部分的結(jié)構(gòu)與第1實(shí)施方式的基板收納容器1的各部分的結(jié)構(gòu)相同。對(duì)與第1實(shí)施方式中的各結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說明。

基板支承板狀部5B具有25個(gè)由大致半圓凸部件534B構(gòu)成的前側(cè)基板接觸部、和25個(gè)由板狀傾斜凸部件544B構(gòu)成的后側(cè)基板接觸部。大致半圓凸部件534B具有與第1實(shí)施方式中的大致半圓凸部534相同的形狀。在大致半圓凸部件534B的長度方向與板部51B的長度方向大致正交的位置關(guān)系下，大致半圓凸部件534B在板部51B的靠前的上表面上，分別按每一個(gè)通過重疊注塑而形成。

板狀傾斜凸部件544B具有大致三角形狀的板狀。板狀傾斜凸部件544B朝向容器中心部而稍有傾斜地形成。在與板部51B的長度方向大致正交的位置關(guān)系下，板狀傾斜凸部件544B在板部51B的靠后的上表面上分別按每一個(gè)通過重疊注塑而形成。

大致半圓凸部件534B、板狀傾斜凸部件544B相對(duì)于板部51B的重疊注塑通過以下的工序進(jìn)行。

首先，對(duì)成為板部51B的熔融的環(huán)烯烴聚合物等樹脂材料進(jìn)行成形，而成形出不存在大致半圓凸部件534B及板狀傾斜凸部件544B的狀態(tài)的基板支承板狀部5B。接著，將不存在大致半圓凸部件534B的狀態(tài)的基板支承板狀部5B配置在注塑成形模具中，在基板支承板狀部5B的板部51B之上將熔融的PEEK材料注塑成形。由該P(yáng)EEK材料構(gòu)成的大致半圓凸部件534B、板狀傾斜凸部件544B相對(duì)于板部51B被重疊注塑而形成。

在基板支承板狀部5B的板部51B之上注塑成形熔融的PEEK材料時(shí)，為了避免板部51B歪斜，注塑成形中的模具溫度被保持在成為板部51B的環(huán)烯烴聚合物等的玻璃轉(zhuǎn)移點(diǎn)以下。在熔融的PEEK材料與沒有熔融的環(huán)烯烴聚合物等接觸時(shí)，認(rèn)為會(huì)產(chǎn)生熱物理性的結(jié)合，由此，在板部51B上通過重疊注塑而成形出大致半圓凸部件534B、板狀傾斜凸部件544B。

根據(jù)上述構(gòu)成的第3實(shí)施方式的基板收納容器，能夠得到以下那樣的效果。

如前所述，作為基板接觸部的大致半圓凸部件534B、板狀傾斜凸部件544B相對(duì)于作為接觸部支承部的板部51B通過重疊注塑而形成。通過該結(jié)構(gòu)，能夠在大致半圓凸部件534B及板狀傾斜凸部件544B與板部51B之間分別消除間隙，能夠減少基板收納容器的清洗后的水殘留。另外，能夠?qū)崿F(xiàn)構(gòu)成基板接觸部的樹脂材料的量的減少。

以下，一邊參照?qǐng)D13～圖19一邊對(duì)本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器進(jìn)行說明。

圖13是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的基板支承板狀部5C的主視圖。圖14是表示從本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的基板支承板狀部5C拆下前側(cè)基板接觸部53C及后側(cè)基板接觸部54C后的狀況的主視圖。圖15A是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的前側(cè)基板接觸部53C的側(cè)視圖。圖15B是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的前側(cè)基板接觸部53C的后視圖。圖15C是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的前側(cè)基板接觸部53C的俯視圖。圖16A是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的后側(cè)基板接觸部54C的側(cè)視圖。圖16B是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的后側(cè)基板接觸部54C的后視圖。圖16C是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的后側(cè)基板接觸部54C的俯視圖。

圖17是表示要在本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的基板支承板狀部5C上安裝前側(cè)基板接觸部53C的狀況的剖面立體圖。圖18是表示在本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的基板支承板狀部5C的寬孔部5261C中插入有前側(cè)基板接觸部53C的被卡定部的頸部5332C及頭部5331C的狀況的放大剖面立體圖。圖19是表示在本發(fā)明的第4實(shí)施方式的基板收納容器的基板支承板狀部5C的窄孔部5262C中插入有前側(cè)基板接觸部53C的被卡定部的頸部5332C的狀況的放大剖面立體圖。

在第4實(shí)施方式的基板收納容器中，前側(cè)基板接觸部53C及后側(cè)基板接觸部54C的結(jié)構(gòu)與第1實(shí)施方式的基板收納容器的前側(cè)基板接觸部53及后側(cè)基板接觸部54的結(jié)構(gòu)不同。另外，與之相伴地，第4實(shí)施方式的基板收納容器的第1板部支承部521C、第3板部支承部523C的結(jié)構(gòu)也與第1實(shí)施方式的基板收納容器的第1板部支承部521、第3板部支承部523的結(jié)構(gòu)不同。除此以外的結(jié)構(gòu)與第1實(shí)施方式中的各結(jié)構(gòu)相同。對(duì)與第1實(shí)施方式中的各結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說明。

固定在第1側(cè)壁25上的基板支承板狀部5C和固定在第2側(cè)壁26上的基板支承板狀部5C具有左右對(duì)稱形狀。因此，對(duì)固定在第1側(cè)壁25上的基板支承板狀部5C進(jìn)行說明，對(duì)于固定在第2側(cè)壁26上的基板支承板狀部5C省略說明。

第1板部支承部521C具有：具有T字狀貫穿孔526C的卡定部；和具有構(gòu)成被卡定部移動(dòng)阻礙部的長方形貫穿孔部5263C的被卡定部。

如圖14所示，T字狀貫穿孔526C在第1板部支承部521C的從上端部到下端部的范圍內(nèi)，在上下方向D2上以等間隔形成有5個(gè)，具有分別為長方形狀的寬孔部5261C和窄孔部5262C。寬孔部5261C相對(duì)于窄孔部5262C位于前方向D11這一側(cè)。上下方向D2上的寬孔部5261C的長度為該方向上的窄孔部5262C的長度的2倍左右。窄孔部5262C與寬孔部5261C的上下方向D2上的中央位置的后部連通。

長方形貫穿孔部5263C在第1板部支承部521C中，形成于T字狀貫穿孔526C的上方附近或下方附近。更具體地說，位于最上位置的長方形貫穿孔部5263C形成在位于最上位置的T字狀貫穿孔526C的下方附近。位于從上數(shù)第2～第4位置的長方形貫穿孔部5263C分別形成在位于從上數(shù)第2～第4位置的T字狀貫穿孔526C各自的上方附近。

長方形貫穿孔部5263C具有貫穿孔5264C、突起部5265C和平坦凹部5266C。

貫穿孔5264C在長方形貫穿孔部5263C中位于最靠前方向D11的端部，將第1板部支承部521C貫穿。平坦凹部5266C在長方形貫穿孔部5263C中位于最靠后方向D12的端部，由向左方向D31(圖14中的紙面的從表向里的方向)凹陷的凹部構(gòu)成。突起部5265C位于貫穿孔5264C與平坦凹部5266C之間。突起部5265C朝向基板收納空間27的中央(圖14中的紙面的從里向表)突出。突起部5265C的突出端面具有隨著向前方向D11行進(jìn)而朝向左方向D31(圖14中的紙面的從表向里的方向)的傾斜面(參照?qǐng)D17)。

如圖14所示，第3板部支承部523C具有：具有T字狀貫穿孔528C的卡定部；和具有構(gòu)成被卡定部移動(dòng)阻礙部的長方形貫穿孔部5283C的固定部。

T字狀貫穿孔528C在第3板部支承部523C的從上端部到下端部的范圍內(nèi)，在上下方向D2上以等間隔形成有5個(gè)，具有分別為長方形狀的寬孔部5281C和窄孔部5282C。寬孔部5281C相對(duì)于窄孔部5282C位于后方向D12這一側(cè)。上下方向D2上的寬孔部5281C的長度為該方向上的窄孔部5282C的長度的2倍左右。窄孔部5282C與寬孔部5281C的上下方向D2上的中央位置的前部連通。

長方形貫穿孔部5283C在第3板部支承部523C中，形成在T字狀貫穿孔528C的上方附近或下方附近。更具體地說，位于最上位置的長方形貫穿孔部5283C形成在位于最上位置的T字狀貫穿孔528C的下方附近。位于從上數(shù)第2～第4位置的長方形貫穿孔部5283C分別形成在位于從上數(shù)第2～第4位置的T字狀貫穿孔528C各自的上方附近。

長方形貫穿孔部5283C具有貫穿孔5284C、突起部5285C和平坦凹部5286C。

貫穿孔5284C在長方形貫穿孔部5283C位于最靠后方向D12的端部，將第3板部支承部523C貫穿。平坦凹部5286C在長方形貫穿孔部5283C中位于最靠前方向D11的端部，由大致向左方向D31(圖14中的紙面的從表向里的方向)凹陷的凹部構(gòu)成。突起部5285C位于貫穿孔5284C與平坦凹部5286C之間。突起部5285C朝向基板收納空間27的中央(圖14中的紙面的從里向表)突出。突起部5285C的突出端面具有隨著向大致后方向D12行進(jìn)而朝向大致左方向D31的傾斜面。

前側(cè)基板接觸部53C具有：作為被卡定部的前側(cè)被固定凸部533C；和構(gòu)成被卡定部移動(dòng)阻礙部的移動(dòng)阻礙突起537C。

如圖15A、圖15B、圖15C、圖17～圖19所示，前側(cè)被固定凸部533C具有相對(duì)于前側(cè)板狀基部531的突出有前側(cè)內(nèi)方凸部532的面而從其相反側(cè)的面突出的大致T字形狀，具有頭部5331C和頸部5332C。

頭部5331C具有構(gòu)成前側(cè)被固定凸部533C的突出端部的大致長方形的板狀。頭部5331C的長度方向具有與上下方向D2一致的位置關(guān)系。大致長方形的板狀的頭部5331C比寬孔部5261C構(gòu)成得小。即，圖15A所示的上下方向D2上的頭部5331C的寬度W2比圖14所示的上下方向D2上的寬孔部5261C的寬度W3短，能夠插入到寬孔部5261C中。另外，頭部5331C比窄孔部5262C構(gòu)成得大。即，圖15A所示的上下方向D2上的頭部5331C的寬度W2比圖14所示的上下方向D2上的窄孔部5262C的寬度W4長，不能插入到窄孔部5262C中。

頸部5332C的一端部與上述頭部5331C的上下方向D2上的中央部一體成形地連接。頸部5332C的另一端部與構(gòu)成上述基板接觸部主體的前側(cè)板狀基部531一體成形地連接。

五個(gè)前側(cè)被固定凸部533C中，在圖15A中位于從下數(shù)第1、第2、第4、第5位置的四個(gè)前側(cè)被固定凸部533C中，相對(duì)于將上述窄孔部5262C(參照?qǐng)D14)和上述寬孔部5261C相連的方向而正交的方向、即與前側(cè)板狀基部531的面平行的方向(與寬孔部5261C的長度方向平行的方向即上下方向D2)上的頸部5332C的寬度W1比該方向上的寬孔部5261C的寬度W3及窄孔部5262C的寬度W4構(gòu)成得小。因此，能夠?qū)㈩i部5332C插入到寬孔部5261C及窄孔部5262C中。

五個(gè)前側(cè)被固定凸部533C中，在剩余一個(gè)前側(cè)被固定凸部533C、即圖15A中位于上下方向D2上的中央部的前側(cè)被固定凸部533C中，該方向上的頸部5332C的寬度W1與該方向上的窄孔部5262C(參照?qǐng)D14)的寬度W4大致相同。在此，關(guān)于“頸部5332C的寬度W1與窄孔部5262C的寬度W4大致相同”，在不是大致相同而是完全相同的情況下，存在無法將頸部5332C插入到窄孔部5262C中的情況，因此其表示為了消除這樣的不良情況，而在能夠?qū)㈩i部5332C插入到窄孔部5262C中的程度下，窄孔部5262C的寬度W4與頸部5332C的寬度W1相同。

關(guān)于相對(duì)于全部五個(gè)長方形貫穿孔部5263C(參照?qǐng)D14)的各前側(cè)被固定凸部533C(參照?qǐng)D15A等)，頸部5332C從寬孔部5261C移動(dòng)而插入到窄孔部5262C中，頭部5331C與窄孔部5262C周圍的第1板部支承部521C的一部分抵接，由此，前側(cè)基板接觸部53C相對(duì)于板部支承部52C的第1板部支承部521C而被固定。

如圖15A所示，移動(dòng)阻礙突起537C與前側(cè)被固定凸部533C同樣地，相對(duì)于前側(cè)板狀基部531的突出有前側(cè)內(nèi)方凸部532的面而從其相反側(cè)的面突出。移動(dòng)阻礙突起537C具有能夠插入到長方形貫穿孔部5263C的貫穿孔5264C中的大小的大致長方體形狀。以成為在將全部的前側(cè)被固定凸部533C的頭部5331C按每個(gè)插入到各T字狀貫穿孔526C的寬孔部5261C中時(shí)，全部的移動(dòng)阻礙突起537C按每個(gè)插入到各長方形貫穿孔部5263C的貫穿孔5264C中的位置關(guān)系的方式，將移動(dòng)阻礙突起537C與前側(cè)板狀基部531一體成形而固定。移動(dòng)阻礙突起537C從貫穿孔5264C移動(dòng)并越過突起部5265C，從而位于平坦凹部5266C，由此，成為上述頸部5332C插入到上述窄孔部5262C中的狀態(tài)，阻礙頸部5332C從窄孔部5262C向?qū)捒撞?261C移動(dòng)，從而阻止成為前側(cè)基板接觸部53C從板部支承部52C的第1板部支承部521C脫落的狀態(tài)。

后側(cè)基板接觸部54C具有：作為被卡定部的后側(cè)被固定凸部543C；和構(gòu)成被卡定部移動(dòng)阻礙部的移動(dòng)阻礙突起547C。

如圖16A、圖16B、圖16C、圖17～圖19所示，后側(cè)被固定凸部543C具有相對(duì)于后側(cè)板狀基部541的突出有后側(cè)內(nèi)方凸部542的面而向其相反側(cè)的面突出的大致T字形狀，具有頭部5431C和頸部5432C。

頭部5431C具有構(gòu)成后側(cè)被固定凸部543C的突出端部的大致長方形的板狀。頭部5431C的長度方向具有與上下方向D2一致的位置關(guān)系。大致長方形的板狀的頭部5431C比寬孔部5281C構(gòu)成得小。即，圖16所示的上下方向D2上的頭部5431C的寬度W6比圖14所示的上下方向D2上的寬孔部5281C的寬度W7短，能夠插入到寬孔部5281C中。另外，頭部5431C比窄孔部5282C構(gòu)成得大。即，圖16A所示的上下方向D2上的頭部5431C的寬度W6比圖14所示的上下方向D2上的窄孔部5282C的寬度W8長，不能插入到窄孔部5282C中。

頸部5432C的一端部與上下方向D2上的上述頭部5431C的中央部一體成形地連接。頸部5432C的另一端部與構(gòu)成上述基板接觸部主體的后側(cè)板狀基部541一體成形地連接。

五個(gè)后側(cè)被固定凸部543C中，在圖16A中位于從下數(shù)第1、第2、第4、第5位置的四個(gè)后側(cè)被固定凸部543C中，相對(duì)于將上述窄孔部5282C和上述寬孔部5281C相連的方向而正交的方向、即與后側(cè)板狀基部541的面平行的方向(與寬孔部5281C的長度方向平行的方向即上下方向D2)上的頸部5432C的寬度W5比該方向上的寬孔部5281C的寬度W7(參照?qǐng)D14)及窄孔部5282C的寬度W8構(gòu)成得小。因此，能夠?qū)㈩i部5432C插入到寬孔部5281C及窄孔部5282C中。

五個(gè)后側(cè)被固定凸部543C中，在剩余一個(gè)后側(cè)被固定凸部543C、即圖16A中位于上下方向D2上的中央部的后側(cè)被固定凸部543C中，該方向上的頸部5432C的寬度W5與該方向上的窄孔部5282C的寬度W8大致相同。在此，關(guān)于“頸部5432C的寬度W5與窄孔部5282C的寬度W8大致相同”，在不是大致相同而是完全相同的情況下，存在無法將頸部5432C插入到窄孔部5282C中的情況，因此其表示消除這樣的不良情況，而在能夠?qū)㈩i部5432C插入到窄孔部5282C中的程度下，窄孔部5282C的寬度W8與頸部5432C的寬度W5相同。

關(guān)于相對(duì)于全部五個(gè)長方形貫穿孔部5283C(參照?qǐng)D14)的各后側(cè)被固定凸部543C(參照?qǐng)D16A等)，頸部5432C從寬孔部5281C移動(dòng)并插入到窄孔部5282C中，頭部5431C與窄孔部5282C周圍的第3板部支承部523C的一部分抵接，由此，后側(cè)基板接觸部54C相對(duì)于板部支承部52C的第3板部支承部523C而被固定。

如圖16A所示，移動(dòng)阻礙突起547C與后側(cè)被固定凸部543C同樣地，相對(duì)于后側(cè)板狀基部541的突出有后側(cè)內(nèi)方凸部542的面而從其相反側(cè)的面突出。移動(dòng)阻礙突起547C具有能夠插入到長方形貫穿孔部5283C的貫穿孔5284C中的大小的大致長方體形狀。在全部的后側(cè)被固定凸部543C的頭部5431C按每個(gè)插入到各T字狀貫穿孔528C的寬孔部5281C中時(shí)，以成為全部移動(dòng)阻礙突起547C按每個(gè)插入到各長方形貫穿孔部5283C的貫穿孔5284C中的位置關(guān)系的方式，將移動(dòng)阻礙突起547C與后側(cè)板狀基部541一體成形而固定。移動(dòng)阻礙突起547C從貫穿孔5284C移動(dòng)并越過突起部5285C，從而位于平坦凹部5286C，由此，成為上述頸部5432C插入到上述窄孔部5282C中的狀態(tài)，阻礙上述頸部5432C從上述窄孔部5282C向上述寬孔部5281C移動(dòng)，從而阻止成為后側(cè)基板接觸部54C從板部支承部52C的第3板部支承部523C脫落的狀態(tài)。

接下來，對(duì)將前側(cè)基板接觸部53C固定到第1板部支承部521C的動(dòng)作進(jìn)行說明。將后側(cè)基板接觸部54C固定到第3板部支承部523C的動(dòng)作與將前側(cè)基板接觸部53C固定到第1板部支承部521C的動(dòng)作相同，因此省略說明。

首先，如圖17所示，將前側(cè)板狀基部531以與前側(cè)接觸部抵接面525相對(duì)的方式配置，將全部的前側(cè)被固定凸部533C的頭部5331C以能夠插入的狀態(tài)與全部的T字狀貫穿孔526C的寬孔部5261C(參照?qǐng)D14)相對(duì)。由此，全部的移動(dòng)阻礙突起537C與全部的長方形貫穿孔部5263C的貫穿孔5264C相對(duì)。

接著，使前側(cè)板狀基部531逐步接近第1板部支承部521C。然后，如圖18所示，將全部的前側(cè)被固定凸部533C的頭部5331C插入到全部的T字狀貫穿孔526C的寬孔部5261C中。

接著，使前側(cè)板狀基部531相對(duì)于前側(cè)接觸部抵接面525向后方向D12(圖18的右方向)移動(dòng)。于是，移動(dòng)阻礙突起537C在突起部5265C的傾斜面上逐步移動(dòng)，向平坦凹部5266C接近。另外，頸部5332C從寬孔部5261C逐步向窄孔部5262C移動(dòng)。

然后，進(jìn)一步使前側(cè)板狀基部531相對(duì)于前側(cè)接觸部抵接面525向后方向D12(圖18的右方向)移動(dòng)，由此，如圖19所示，移動(dòng)阻礙突起537C越過突起部5265C的傾斜面，從傾斜面落到平坦凹部5266C。此時(shí)，頸部5332C位于窄孔部5262C。由此，移動(dòng)阻礙突起537C位于平坦凹部5266C，由于突起部5265C的存在，成為從平坦凹部5266C向貫穿孔5264C的移動(dòng)受阻的狀態(tài)，因此，成為頸部5332C從窄孔部5262C向?qū)捒撞?261C的移動(dòng)受阻的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，頭部5331C不會(huì)從窄孔部5262C脫出，因此維持前側(cè)基板接觸部53C固定于板部支承部52C的第1板部支承部521C的狀態(tài)。

根據(jù)上述構(gòu)成的第4實(shí)施方式的基板收納容器，能夠得到以下那樣的效果。

如前所述，作為接觸部支承部的第1板部支承部521C、第3板部支承部523C具有作為卡定部的T字狀貫穿孔526C、528C。在上述卡定部上形成有寬孔部5261C、5281C、和與上述寬孔部連通的窄孔部5262C、5282C。上述基板接觸部具有作為基板接觸部主體的前側(cè)板狀基部531、后側(cè)板狀基部541、和卡定于上述卡定部的作為被卡定部的前側(cè)被固定凸部533C、后側(cè)被固定凸部543C。上述基板接觸部主體不能插入到上述寬孔部及上述窄孔部中。上述被卡定部具有：能夠插入到上述寬孔部中且不能插入到上述窄孔部中的頭部5331C、5431C；和一端部與上述頭部連接且另一端部與上述基板接觸部主體連接，并能夠插入到上述寬孔部及上述窄孔部中的頸部5332C、5432C。具有在上述頸部插入到上述窄孔部中時(shí)，阻礙上述頸部從上述窄孔部向上述寬孔部移動(dòng)的作為被卡定部移動(dòng)阻礙部的長方形貫穿孔部5263C、5283C、移動(dòng)阻礙突起537C、547C。

通過該結(jié)構(gòu)，能夠分別在第1板部支承部521C、第3板部支承部523C上容易地固定前側(cè)基板接觸部53C、后側(cè)基板接觸部54C。而且，能夠維持分別在第1板部支承部521C、第3板部支承部523C上固定了前側(cè)基板接觸部53C、后側(cè)基板接觸部54C的狀態(tài)。

另外，上述卡定部及上述被卡定部存在多個(gè)。在一個(gè)上述窄孔部中，在相對(duì)于將上述窄孔部和上述寬孔部相連的方向而正交的方向D2上，上述窄孔部的寬度W4、W8與上述頸部5332C、5432C的寬度W1、W5大致相同。在其他上述窄孔部中，在與將上述窄孔部和上述寬孔部相連的方向而正交的方向D2上，上述窄孔部的寬度W4、W8大于上述頸部5332C、5432C的寬度W1、W5。

通過該結(jié)構(gòu)，即使在前側(cè)基板接觸部53C、后側(cè)基板接觸部54C中稍微產(chǎn)生尺寸誤差的情況下，也能夠?qū)⑷康那皞?cè)被固定凸部533C、后側(cè)被固定凸部543C卡定到全部的T字狀貫穿孔526C、528C中，能夠防止因尺寸誤差而成為無法卡定的狀態(tài)。因此，無論尺寸誤差如何，均能夠?qū)⑶皞?cè)基板接觸部53C、后側(cè)基板接觸部54C分別固定到第1板部支承部521C、第3板部支承部523C上。

而且，在一個(gè)上述窄孔部即中央部的T字狀貫穿孔526C、528C的窄孔部中，在相對(duì)于將上述窄孔部和上述寬孔部相連的方向而正交的方向即上下方向D2上，上述窄孔部的寬度W4、W8與上述頸部5332C、5432C的寬度W1、W5大致相同，因此，能夠?qū)⑶皞?cè)被固定凸部533C、后側(cè)被固定凸部543C向該中央部的T字狀貫穿孔526C、528C高精度地進(jìn)行了定位的狀態(tài)下，將前側(cè)基板接觸部53C、后側(cè)基板接觸部54C分別固定到第1板部支承部521C、第3板部支承部523C上。

以下，一邊參照?qǐng)D20一邊對(duì)本發(fā)明的第5實(shí)施方式的基板收納容器進(jìn)行說明。

圖20是表示在本發(fā)明的第5實(shí)施方式的基板收納容器的基板支承板狀部的窄孔部5262C中插入有前側(cè)基板接觸部53C的被卡定部的頸部5332C的狀況的概略剖視圖。

在第5實(shí)施方式的基板收納容器中，T字狀貫穿孔526D的形狀與第4實(shí)施方式的T字狀貫穿孔526C的形狀不同。除此以外的結(jié)構(gòu)與第4實(shí)施方式中的各結(jié)構(gòu)相同。對(duì)與第4實(shí)施方式中的各結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說明。

另外，供前側(cè)被固定凸部533C插入的T字狀貫穿孔526D和供后側(cè)被固定凸部543C插入的T字狀貫穿孔(未圖示)具有相同形狀，因此僅對(duì)供前側(cè)被固定凸部533C插入的T字狀貫穿孔526D進(jìn)行說明，對(duì)于供后側(cè)被固定凸部543C插入的T字狀貫穿孔(未圖示)省略說明。

T字狀貫穿孔526D具有尖細(xì)孔部5267D。尖細(xì)孔部5267D的一端部與寬孔部5261C的長度方向上的中央部連接。尖細(xì)孔部5267D的另一端部和與寬孔部5261C相對(duì)的窄孔部5262C的中央部分連接。由此，尖細(xì)孔部5267D將寬孔部5261C與窄孔部5262C連通。

尖細(xì)孔部5267D具有隨著從寬孔部5261C接近窄孔部5262C而變得尖細(xì)的形狀。而且，尖細(xì)孔部5267D的與窄孔部5262C連接的部分的開口幅度比上下方向D2上的頸部5332C的寬度W1(參照?qǐng)D15A)短。因此，從寬孔部5261C穿過了尖細(xì)孔部5267D的頸部5332C通過被向窄孔部5262C的方向推入而進(jìn)入到窄孔部5262C中。在頸部5332C進(jìn)入到窄孔部5262C后，通過尖細(xì)孔部5267D的變得尖細(xì)的部分，阻止頸部5332C從窄孔部5262C向?qū)捒撞?261C的方向的移動(dòng)。

根據(jù)上述構(gòu)成的第5實(shí)施方式的基板收納容器，能夠得到以下那樣的效果。

如前所述，T字狀貫穿孔526D具有將寬孔部5261C與窄孔部5262C連通的尖細(xì)孔部5267D。因此，能夠不需要第4實(shí)施方式中的移動(dòng)阻礙突起537C、547C和長方形貫穿孔部5263C、5283C，能夠通過尖細(xì)孔部5267D構(gòu)成被卡定部移動(dòng)阻礙部。其結(jié)果為，能夠?qū)⒕哂星皞?cè)內(nèi)方凸部532的前側(cè)基板接觸部、具有后側(cè)內(nèi)方凸部542的后側(cè)基板接觸部以簡單結(jié)構(gòu)相對(duì)于側(cè)方基板支承部的接觸部支承部進(jìn)行固定。

本發(fā)明不限定于上述的實(shí)施方式，能夠在權(quán)利要求書記載的技術(shù)范圍內(nèi)進(jìn)行變形。例如，在本實(shí)施方式中，容器主體2、構(gòu)成接觸部支承部的第1板部支承部521、第3板部支承部523、板部51B獨(dú)立地構(gòu)成，即，由不同部件構(gòu)成，但不限定于該結(jié)構(gòu)。例如，也可以是，圖4所示那樣的沒有設(shè)置作為接觸部支承部的前側(cè)基板接觸部53及后側(cè)基板接觸部54的基板支承板狀部5與圖1所示的容器主體2一體成形。

另外，在本實(shí)施方式，在前側(cè)基板接觸部53C、后側(cè)基板接觸部54C這一側(cè)存在前側(cè)被固定凸部533C、后側(cè)被固定凸部543C，在第1板部支承部521C、第3板部支承部523C這一側(cè)形成有T字狀貫穿孔526C、528C，但不限定于該結(jié)構(gòu)。例如，也可以是凸部存在于第1板部支承部521C、第3板部支承部523C這一側(cè)，貫穿孔形成在前側(cè)基板接觸部53C、后側(cè)基板接觸部54C這一側(cè)。

同樣地，在本實(shí)施方式中，在前側(cè)基板接觸部53C、后側(cè)基板接觸部54C這一側(cè)存在移動(dòng)阻礙突起537C、移動(dòng)阻礙突起547C，在第1板部支承部521C、第3板部支承部523C這一側(cè)形成有長方形貫穿孔部5263C，但不限定于該結(jié)構(gòu)。例如，也可以是突起存在于第1板部支承部521C、第3板部支承部523C這一側(cè)，貫穿孔形成在前側(cè)基板接觸部53C、后側(cè)基板接觸部54C這一側(cè)。另外，卡定部、被卡定部、被卡定部移動(dòng)阻礙部的結(jié)構(gòu)不限定于本實(shí)施方式中的卡定部、被卡定部、被卡定部移動(dòng)阻礙部的結(jié)構(gòu)。

另外，容器主體、蓋體、及側(cè)方基板支承部的形狀、尺寸、材料、能夠收納于容器主體的基板的張數(shù)等不限定于本實(shí)施方式中的容器主體2、蓋體3、及基板支承板狀部5的形狀、尺寸、材料、能夠收納于容器主體2的基板W的張數(shù)等。例如，前側(cè)基板接觸部53、53A、后側(cè)基板接觸部54、54A也可以是以分割成兩部分的結(jié)構(gòu)、分割成三部分的結(jié)構(gòu)等、分割而成的結(jié)構(gòu)，也可以是與每一張基板W對(duì)應(yīng)地，以與基板W相同的個(gè)數(shù)按每個(gè)分散地設(shè)置的結(jié)構(gòu)。另外，例如，基板W的直徑是300mm，但不限定于該值。例如，基板W的直徑只要是300mm～450mm即可。另外，例如，基板支承板狀部5設(shè)有一對(duì)，但不限定于一對(duì)。只要至少設(shè)有一對(duì)即可。

附圖標(biāo)記說明

1 基板收納容器

2 容器主體

3 蓋體

5、5A 基板支承板狀部(側(cè)方基板支承部)

21 容器主體開口部

27 基板收納空間

51B 板部(接觸部支承部)

53、53A 前側(cè)基板接觸部(基板接觸部)

54、54A 后側(cè)基板接觸部(基板接觸部)

521、521A、521C 第1板部支承部(接觸部支承部)

523、523A、523C 第3板部支承部(接觸部支承部)

531前側(cè)板狀基部

541后側(cè)板狀基部

534B 大致半圓凸部件(接觸部支承部)

544B 板狀傾斜凸部件(接觸部支承部)

526C、526D、528C T字狀貫穿孔(卡定部)

5261C、5281C 寬孔部

5262C、5282C 窄孔部

5267D 尖細(xì)孔部(卡定部)

533C 前側(cè)被固定凸部(被卡定部)

537C 移動(dòng)阻礙突起(被卡定部移動(dòng)阻礙部)

543C 后側(cè)被固定凸部(被卡定部)

5263C、5283C 長方形貫穿孔部(被卡定部移動(dòng)阻礙部)

5331C、5431C 頭部

5332C、5432C 頸部

W 基板