1.一種激光器部件(10、20、30),
具有殼體(100),所述殼體(100)包括具有腔(210)的載體(200),所述腔(210)具有底表面(220)和側(cè)壁(230),
其中,所述腔(210)從所述底表面(220)開始變寬,
其中,激光芯片(400)被布置在所述腔(210)中的底表面(220)上,所述激光芯片(400)的發(fā)射方向(430)平行于所述底表面(220)定向,
其中,反射元件(500、600、700)被布置在所述腔(210)中,并且支承在所述底表面(220)和所述側(cè)壁(230)之間的邊緣(240)上,
其中,反射元件(500、600、700)的反射表面(510、610、710)與所述腔(210)的底表面(220)形成45°的角度(540、640、740),
其中,所述發(fā)射方向(430)與所述反射元件(500、600、700)的反射表面(510、610、710)形成45°的角度(550、650、750)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器部件(10、30),
其特征在于,所述反射元件(500、700)支承在所述側(cè)壁(230)上。
3.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的激光器部件(20、30),
其特征在于,所述反射元件(600、700)支承在所述底表面(220)上。
4.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的激光器部件(10、20、30),
其特征在于,所述腔(210)借助于蓋(300)來封閉。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的激光器部件(10、20、30),
其特征在于,所述反射元件(500、600、700)包括玻璃。
6.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的激光器部件(10、20、30),
其特征在于,所述反射元件(500、600、700)被構(gòu)造為棱柱。
7.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的激光器部件(10、20、30),
其特征在于,所述側(cè)壁(230)相對于所述底表面(220)以不同于45°的角度(250)傾斜。
8.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的激光器部件(10、20、30),
其特征在于,所述載體(200)包括至少部分結(jié)晶的半導(dǎo)體材料。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的激光器部件(10、20、30),
其特征在于,所述載體(200)包括硅,
其中,所述底表面(220)由所述載體(200)的{100}平面形成,
其中,所述側(cè)壁(230)由所述載體(200)的{111}平面形成。
10.一種用于生產(chǎn)激光器部件(10、20、30)的方法,
具有以下步驟:
- 提供具有腔(210)的載體(200),所述腔(210)具有底表面(220)和側(cè)壁(230),所述腔(210)從所述底表面(220)開始變寬;
- 將激光芯片(400)布置在所述腔(210)中的底表面(220)上,使得所述激光芯片(400)的發(fā)射方向(430)平行于所述底表面(220)定向;
- 將反射元件(500、600、700)布置在所述腔(210)中,使得所述反射元件(500、600、700)支承在所述底表面(220)和所述側(cè)壁(230)之間的邊緣(240)上,所述反射元件(500、600、700)的反射表面(510、610、710)與所述腔(210)的底表面(220)形成45°的角度(540、640、740),并且所述發(fā)射方向(430)與所述反射元件(500、600、700)的反射表面(510、610、710)形成45°的角度(550、650、750)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法,
其特征在于,所述載體(200)在所述反射元件(500、600、700)的布置期間傾斜,使得所述邊緣(240)被布置在所述底表面(220)和所述側(cè)壁(230)之間、所述底表面(220)和所述側(cè)壁(230)之下。
12.根據(jù)權(quán)利要求10和11中任一項所述的方法,
其特征在于,所述載體(200)的提供包括借助于蝕刻過程來產(chǎn)生所述腔(210)。
13.根據(jù)權(quán)利要求10至12中任一項所述的方法,
其特征在于,所述反射元件(500、600、700)借助于焊接連接或粘接結(jié)合來緊固在所述腔(210)中。
14.根據(jù)權(quán)利要求10至13中任一項所述的方法,
其特征在于,所述方法包括以下進一步的步驟:
- 借助于蓋(300)來密封所述腔(210)。
15.根據(jù)權(quán)利要求10至14中任一項所述的方法,
其特征在于,所述載體(200)設(shè)有多個腔(210),所述多個腔(210)中的每一個具有底表面(220)和側(cè)壁(230),
激光芯片(400)被分別布置在每個腔(210)中,使得所述激光芯片(400)的發(fā)射方向(430)平行于所述腔(210)的底表面(220)定向,
反射元件(500、600、700)被布置在每個腔(210)中,使得所述反射元件(500、600、700)支承在所述腔(210)的底表面(220)和側(cè)壁(230)之間的邊緣(240)上,所述反射元件(500、600、700)的反射表面(510、610、710)與所述腔(210)的底表面(220)形成45°的角度(540、640、740),并且所述發(fā)射方向(430)與所述反射元件(500、600、700)的反射表面(510、610、710)形成45°的角度(550、650、750)。