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激光器部件和用于生產(chǎn)該激光器部件的方法與流程

文檔序號:12514522閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種激光器部件(10、20、30),

具有殼體(100),所述殼體(100)包括具有腔(210)的載體(200),所述腔(210)具有底表面(220)和側(cè)壁(230),

其中,所述腔(210)從所述底表面(220)開始變寬,

其中,激光芯片(400)被布置在所述腔(210)中的底表面(220)上,所述激光芯片(400)的發(fā)射方向(430)平行于所述底表面(220)定向,

其中,反射元件(500、600、700)被布置在所述腔(210)中,并且支承在所述底表面(220)和所述側(cè)壁(230)之間的邊緣(240)上,

其中,反射元件(500、600、700)的反射表面(510、610、710)與所述腔(210)的底表面(220)形成45°的角度(540、640、740),

其中,所述發(fā)射方向(430)與所述反射元件(500、600、700)的反射表面(510、610、710)形成45°的角度(550、650、750)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器部件(10、30),

其特征在于,所述反射元件(500、700)支承在所述側(cè)壁(230)上。

3.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的激光器部件(20、30),

其特征在于,所述反射元件(600、700)支承在所述底表面(220)上。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的激光器部件(10、20、30),

其特征在于,所述腔(210)借助于蓋(300)來封閉。

5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的激光器部件(10、20、30),

其特征在于,所述反射元件(500、600、700)包括玻璃。

6.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的激光器部件(10、20、30),

其特征在于,所述反射元件(500、600、700)被構(gòu)造為棱柱。

7.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的激光器部件(10、20、30),

其特征在于,所述側(cè)壁(230)相對于所述底表面(220)以不同于45°的角度(250)傾斜。

8.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的激光器部件(10、20、30),

其特征在于,所述載體(200)包括至少部分結(jié)晶的半導(dǎo)體材料。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的激光器部件(10、20、30),

其特征在于,所述載體(200)包括硅,

其中,所述底表面(220)由所述載體(200)的{100}平面形成,

其中,所述側(cè)壁(230)由所述載體(200)的{111}平面形成。

10.一種用于生產(chǎn)激光器部件(10、20、30)的方法,

具有以下步驟:

- 提供具有腔(210)的載體(200),所述腔(210)具有底表面(220)和側(cè)壁(230),所述腔(210)從所述底表面(220)開始變寬;

- 將激光芯片(400)布置在所述腔(210)中的底表面(220)上,使得所述激光芯片(400)的發(fā)射方向(430)平行于所述底表面(220)定向;

- 將反射元件(500、600、700)布置在所述腔(210)中,使得所述反射元件(500、600、700)支承在所述底表面(220)和所述側(cè)壁(230)之間的邊緣(240)上,所述反射元件(500、600、700)的反射表面(510、610、710)與所述腔(210)的底表面(220)形成45°的角度(540、640、740),并且所述發(fā)射方向(430)與所述反射元件(500、600、700)的反射表面(510、610、710)形成45°的角度(550、650、750)。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法,

其特征在于,所述載體(200)在所述反射元件(500、600、700)的布置期間傾斜,使得所述邊緣(240)被布置在所述底表面(220)和所述側(cè)壁(230)之間、所述底表面(220)和所述側(cè)壁(230)之下。

12.根據(jù)權(quán)利要求10和11中任一項所述的方法,

其特征在于,所述載體(200)的提供包括借助于蝕刻過程來產(chǎn)生所述腔(210)。

13.根據(jù)權(quán)利要求10至12中任一項所述的方法,

其特征在于,所述反射元件(500、600、700)借助于焊接連接或粘接結(jié)合來緊固在所述腔(210)中。

14.根據(jù)權(quán)利要求10至13中任一項所述的方法,

其特征在于,所述方法包括以下進一步的步驟:

- 借助于蓋(300)來密封所述腔(210)。

15.根據(jù)權(quán)利要求10至14中任一項所述的方法,

其特征在于,所述載體(200)設(shè)有多個腔(210),所述多個腔(210)中的每一個具有底表面(220)和側(cè)壁(230),

激光芯片(400)被分別布置在每個腔(210)中,使得所述激光芯片(400)的發(fā)射方向(430)平行于所述腔(210)的底表面(220)定向,

反射元件(500、600、700)被布置在每個腔(210)中,使得所述反射元件(500、600、700)支承在所述腔(210)的底表面(220)和側(cè)壁(230)之間的邊緣(240)上,所述反射元件(500、600、700)的反射表面(510、610、710)與所述腔(210)的底表面(220)形成45°的角度(540、640、740),并且所述發(fā)射方向(430)與所述反射元件(500、600、700)的反射表面(510、610、710)形成45°的角度(550、650、750)。

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