技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種通過以下來非接觸地測(cè)量半導(dǎo)體材料的摻雜物含量的系統(tǒng)和方法：將離開材料的紅外(IR)輻射反射到積分球中以散射所接收的輻射，并使部分的輻射穿過不同波長(zhǎng)范圍的帶通濾波器，比較穿過每個(gè)濾波器的能級(jí)，并且通過參照由用于該系統(tǒng)的已知晶圓摻雜物含量制成的相關(guān)曲線來計(jì)算摻雜物含量。

技術(shù)研發(fā)人員：斯蒂芬·沃倫·布萊恩
受保護(hù)的技術(shù)使用者：奧羅拉太陽能科技（加拿大）公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.08.28
技術(shù)公布日：2017.08.29