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用于射頻應(yīng)用的結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):11636035閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種用于射頻應(yīng)用的結(jié)構(gòu)(1),其包括:半導(dǎo)體支撐襯底(2);捕獲層(3),其布置在支撐襯底(2)上;捕獲層(3)的特點(diǎn)在于其包括比預(yù)定缺陷密度更高的缺陷密度;所述預(yù)定缺陷密度為這樣的缺陷密度:超過(guò)該缺陷密度,捕獲層(3)的電阻率在[?20℃;+120℃]的溫度范圍內(nèi)不低于10Kohm.cm。

技術(shù)研發(fā)人員:O·科農(nóng)丘克;D·朗德呂;C·菲蓋
受保護(hù)的技術(shù)使用者:SOITEC公司
技術(shù)研發(fā)日:2015.09.17
技術(shù)公布日:2017.08.01
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