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場效應(yīng)晶體管的制作方法

文檔序號:11452579閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
一種場效應(yīng)晶體管,具備:氮化物半導(dǎo)體層,含有異質(zhì)結(jié);源極電極(5)及漏極電極(6);第一柵極電極(7),于俯視時以包圍所述漏極電極(6)的方式配置而常導(dǎo)通運(yùn)作;第二柵極電極(9),于俯視時以包圍所述第一柵極電極(7)的方式配置而常關(guān)斷運(yùn)作,所述第一柵極電極(7)及所述第二柵極電極(9)包含于俯視時,所述第一柵極電極(7)的外緣及所述第二柵極電極(9)的外緣皆形成大致直線的直線部與形成曲線或彎曲的角部的端部,所述第一柵極電極(7)、所述第二柵極電極(9)以及所述源極電極(5)中的任一者的間隔、長度或曲率半徑是以緩和在所述端部的電場的集中的方式設(shè)定。

技術(shù)研發(fā)人員:永久哲三;福見公孝;吐田真一
受保護(hù)的技術(shù)使用者:夏普株式會社
技術(shù)研發(fā)日:2015.08.21
技術(shù)公布日:2017.08.29
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