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III?N器件中的凹陷歐姆接觸的制作方法

文檔序號:11452516閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
一種器件,包括具有上側(cè)和下側(cè)的III?N層,下側(cè)與上側(cè)相對,以及III?N層的上側(cè)上的至少一個導(dǎo)電接觸,導(dǎo)電接觸延伸進入III?N層。導(dǎo)電接觸包括遠離III?N層的下側(cè)面對的頂側(cè),以及朝向III?N層的下側(cè)面對的底側(cè)。底側(cè)包括第一端以及與第一端相對的第二端,從第一端升高至比第一端更接近頂側(cè)的中間點的第一側(cè),以及從中間點下降至第二端的第二側(cè),第二端比中間點更遠離頂側(cè)。

技術(shù)研發(fā)人員:吉川俊英;木內(nèi)謙二;細田勉;金村雅仁;望月昭壽
受保護的技術(shù)使用者:創(chuàng)世舫電子有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2015.12.14
技術(shù)公布日:2017.08.29
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