技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明揭示了一種真空管閃存結(jié)構(gòu)及其制造方法。包括在溝道中形成真空，其中，柵介電層是使用電漿在氧氣、氮?dú)?、N2O或NH3的環(huán)境下進(jìn)行柵極層的熱氧化或是熱氮化過(guò)程所生成。本發(fā)明所揭露的結(jié)構(gòu)，能夠使形成的組件具有更好的程序設(shè)計(jì)、擦除速度及儲(chǔ)存時(shí)間，同樣還能夠獲得優(yōu)越的柵極控制能力及極小的柵極漏電流。

技術(shù)研發(fā)人員：肖德元
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.03.24
技術(shù)公布日：2017.10.13