本發(fā)明是有關(guān)于一種半導(dǎo)體元件的處理裝置，且特別是有關(guān)于一種半導(dǎo)體太陽能電池的照光加熱處理裝置。

背景技術(shù)：

傳統(tǒng)太陽能技術(shù)中，大都采用柴可夫斯基(cz)長晶法所制作的摻硼單晶片來作為制作太陽能電池的基質(zhì)材料。原因在于這種摻硼單晶硅材料的摻雜工序較為方便易行，且所制造出的單晶硅棒的電阻率的分布較為均勻。然而，采用摻硼單晶硅，尤其是采用電阻率較低(例如在0.5ω·cm至l.5ω·cm范圍內(nèi))的摻硼單晶硅作為基質(zhì)材料所制作出的太陽能電池，其電池效率在太陽光光照下或在載流子注入下會(huì)衰減，這種現(xiàn)象稱為光致衰減(lightinduceddegradation，lid)。

目前市場上以摻硼單晶硅基質(zhì)所制得的太陽能電池的效率衰減約為3％至7％。此類太陽能電池的效率的光致衰減特性的本質(zhì)原因在于，以柴可夫斯基長晶法所制得的摻硼單晶硅中的氧含量較高，而摻硼單晶硅中的替位硼原子和單晶硅中間隙態(tài)的氧原子在光照或載子注入下會(huì)形成硼氧復(fù)合體。由于硼氧復(fù)合體為深能復(fù)合中心，會(huì)阻陷載子，因而會(huì)降低少數(shù)載流子的壽命，從而降低少數(shù)載子的擴(kuò)散距離，導(dǎo)致太陽能電池的效率降低。

目前已知關(guān)于如何減少或避免光致衰減的方式主要有下列幾種。第一種是減少硅晶片的氧含量。第二種是減少硼的摻雜量或使用其它摻雜物，例如鎵來取代硼。第三種則是直接使用n型單晶硅片來取代硼等元素?fù)诫s的p型硅晶片。但是，減少硅晶片的氧含量的做法是在長晶時(shí)，外加磁場，如此會(huì)增加制程成本，而導(dǎo)致硅晶片的價(jià)格變貴。其次，減少硼含量會(huì)使得硅晶片的電阻提高，電性變差，且電阻的均勻性差。而以其它三族元素，例如鎵，來取代硼的做法，也會(huì)使得硅晶片的成本增加。另外，n型單晶硅片的價(jià)格比p型單晶硅片高，因此以n型單晶硅片來取代p型單晶硅片會(huì)導(dǎo)致成本增加。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的一目的就是在提供一種處理裝置，其采用高發(fā)熱光源與低發(fā)熱光源，并以交錯(cuò)的方式排列高發(fā)熱光源與低發(fā)熱光源，借此可在提供半導(dǎo)體太陽能電池足夠照度的情況下，有效降低處理裝置的腔室內(nèi)的溫度。如此一來，可將半導(dǎo)體太陽能電池控制在工作范圍內(nèi)，而可在不影響半導(dǎo)體太陽能電池的效率的情況下，快速消除半導(dǎo)體太陽能電池的缺陷，進(jìn)一步降低半導(dǎo)體太陽能電池的光致衰減現(xiàn)象。

本發(fā)明的另一目的是在提供一種處理裝置，其可有效控制光源在照光處理時(shí)所產(chǎn)生的熱量，因此不僅可大幅降低處理裝置的腔室散熱的難度，并可減少散熱成本，更可提升腔室溫度的均勻度。

根據(jù)本發(fā)明的上述目的，提出一種處理裝置，其包含多個(gè)電池運(yùn)輸通道、多個(gè)高發(fā)熱光源以及多個(gè)低發(fā)熱光源。電池運(yùn)輸通道彼此相鄰排列，其中每一電池運(yùn)輸通道包含運(yùn)輸裝置，且這些運(yùn)輸裝置配置以運(yùn)輸半導(dǎo)體太陽能電池。前述的高發(fā)熱光源與低發(fā)熱光源沿這些運(yùn)輸裝置的運(yùn)輸方向以交錯(cuò)方式排列于運(yùn)輸通道的上方，用以對(duì)半導(dǎo)體太陽能電池進(jìn)行照光加熱處理。高發(fā)熱光源與低發(fā)熱光源所發(fā)出的光包含可見光與紅外光，其中可見光的總和占紅外光與可見光的總和的比例為50％至90％。

依據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，上述每一低發(fā)熱光源所發(fā)出的光為可見光，每一高發(fā)熱光源所發(fā)出的光為紅外光。

依據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例，上述每一低發(fā)熱光源的峰值波長為400nm至700nm，且每一高發(fā)熱光源的峰值波長為大于700nm且小于等于1100nm。

依據(jù)本發(fā)明的又一實(shí)施例，上述每一低發(fā)熱光源為復(fù)金屬燈泡、發(fā)光二極管燈、或氙燈，且每一高發(fā)熱光源為鹵素?zé)簟?/p>

依據(jù)本發(fā)明的再一實(shí)施例，上述的交錯(cuò)方式為低發(fā)熱光源與高發(fā)熱光源依序交錯(cuò)排列的方式。

依據(jù)本發(fā)明的再一實(shí)施例，上述的交錯(cuò)方式為二個(gè)高發(fā)熱光源之間具有二個(gè)低發(fā)熱光源的交錯(cuò)排列方式。

依據(jù)本發(fā)明的再一實(shí)施例，上述的交錯(cuò)方式為二個(gè)低發(fā)熱光源之間具有二個(gè)高發(fā)熱光源的交錯(cuò)排列方式。

依據(jù)本發(fā)明的再一實(shí)施例，上述的高發(fā)熱光源與低發(fā)熱光源使半導(dǎo)體太陽能電池在電池運(yùn)輸通道中受到的照度大于2000w/m²。

依據(jù)本發(fā)明的再一實(shí)施例，上述的高發(fā)熱光源與低發(fā)熱光源使半導(dǎo)體太陽能電池在電池運(yùn)輸通道中的溫度為200℃至230℃。

依據(jù)本發(fā)明的再一實(shí)施例，上述的處理裝置還包含擴(kuò)散板，此擴(kuò)散板設(shè)置在高發(fā)熱光源與低發(fā)熱光源的下方。

附圖說明

為讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征、優(yōu)點(diǎn)與實(shí)施例能更明顯易懂，所附附圖的說明如下：

圖1是繪示依照本發(fā)明的一實(shí)施方式的一種處理裝置的透視圖；

圖2是繪示依照本發(fā)明的一實(shí)施方式的一種處理裝置的組裝示意圖；

圖3是繪示一種鹵素?zé)舻墓庾V；以及

圖4是繪示依照本發(fā)明的一實(shí)施方式的一種處理裝置的運(yùn)輸裝置、照度計(jì)與活動(dòng)遮板之間的位置關(guān)系示意圖。

具體實(shí)施方式

為了改善半導(dǎo)體太陽能電池的光致衰減現(xiàn)象，目前有一種做法是對(duì)半導(dǎo)體太陽能電池進(jìn)行照光加熱處理。此種方式是在處理裝置的腔室內(nèi)的多道傳輸裝置的上方設(shè)置許多光源，當(dāng)半導(dǎo)體太陽能電池經(jīng)由傳輸裝置而在腔室內(nèi)傳送時(shí)，光源可對(duì)半導(dǎo)體太陽能電池進(jìn)行照光加熱處理，來消除半導(dǎo)體太陽能電池的缺陷，借此改善半導(dǎo)體太陽能電池的光致衰減。

然而，此種方式為了要對(duì)半導(dǎo)體太陽能電池提供足夠的照度，大都采用會(huì)鹵素?zé)魜碜鳛楣庠矗蚨鴷?huì)產(chǎn)生過多的熱量，而導(dǎo)致處理裝置的腔室內(nèi)的溫度過高。當(dāng)腔室內(nèi)的溫度過高時(shí)，因無法直接調(diào)整鹵素?zé)舻裙庠吹墓β?，而造成散熱不易，進(jìn)而導(dǎo)致在照光處理期間無法將溫度控制在半導(dǎo)體太陽能電池的工作范圍內(nèi)。

為了解決此問題，都需通過外加的冷卻系統(tǒng)來降低腔室內(nèi)的溫度。然，因鹵素?zé)魰?huì)產(chǎn)生較多的輻射熱，使得處理裝置需耗費(fèi)較多的能量來降低腔室內(nèi)的溫度，造成成本的增加。此外，通過提高冷卻系統(tǒng)的風(fēng)量，雖可降低腔室內(nèi)的 溫度，但會(huì)提高腔室入風(fēng)處與出風(fēng)處之間的溫度梯度，而降低腔室內(nèi)的溫度的均勻度，進(jìn)而影響半導(dǎo)體太陽能電池的照光處理效果。

有鑒于此，本發(fā)明在此提出一種處理裝置，其包含至少兩種發(fā)熱光源并交錯(cuò)設(shè)置，且這兩種發(fā)熱光源產(chǎn)生的熱能不同，因此可在提供半導(dǎo)體太陽能電池足夠照度的情況下，有效降低處理裝置的腔室內(nèi)的溫度。借此，可有效控制光源在照光處理時(shí)所產(chǎn)生的熱量，而可減低處理裝置的腔室散熱的難度，降低散熱成本，更可提升腔室溫度的均勻度。

請(qǐng)參照?qǐng)D1與圖2，其是分別繪示依照本發(fā)明的一實(shí)施方式的一種處理裝置的透視圖與組裝示意圖。在本發(fā)明的一實(shí)施方式中，處理裝置100可用以對(duì)許多半導(dǎo)體太陽能電池102進(jìn)行照光加熱處理，借以修補(bǔ)半導(dǎo)體太陽能電池102中的半導(dǎo)體基材的缺陷。半導(dǎo)體太陽能電池102可為結(jié)晶硅太陽能電池。在一些例子中，半導(dǎo)體太陽能電池102為摻硼單晶硅太陽能電池或摻硼多晶硅太陽能電池。處理裝置100對(duì)半導(dǎo)體太陽能電池102進(jìn)行的照光加熱處理，可在很短時(shí)間內(nèi)消除半導(dǎo)體太陽能電池102中絕大部分的硼氧缺陷，借此可降低半導(dǎo)體太陽能電池102因光致衰減的效率損失。

如圖2所示，在一些例子中，處理裝置100主要包含多個(gè)電池運(yùn)輸通道104a、104b、104c、104d與104e，多個(gè)高發(fā)熱光源106a與多個(gè)低發(fā)熱光源106b。這些電池運(yùn)輸通道104a～104e彼此相鄰排列。在一些例子中，每個(gè)電池運(yùn)輸通道104a～104e包含一運(yùn)輸裝置108，且電池運(yùn)輸通道104a～104e還分別包含二反射隔板110a及112a、110b及112b、110c及112c、110d及112d、與110e及112e。運(yùn)輸裝置108是配置以運(yùn)輸半導(dǎo)體太陽能電池102。每個(gè)運(yùn)輸裝置108可例如由一或多個(gè)輸送帶所組成。當(dāng)然，每個(gè)運(yùn)輸裝置108亦可由數(shù)個(gè)滾輪所組成，或可由一輸送帶搭配數(shù)個(gè)滾輪所組成，本發(fā)明不在此限。

電池運(yùn)輸通道104a的二反射隔板110a與112a沿著運(yùn)輸裝置108的運(yùn)輸方向114，而分別立設(shè)在運(yùn)輸裝置108的相對(duì)二側(cè)。因此，由反射隔板110a與112a及運(yùn)輸裝置108所構(gòu)成的電池運(yùn)輸通道104a的剖面形狀呈類u字型。同樣的，二反射隔板110b與112b分別沿著運(yùn)輸裝置108的相對(duì)二側(cè)設(shè)置，而使電池運(yùn)輸通道104b的剖面形狀呈類u字型。二反射隔板110c與112c分別沿著運(yùn)輸裝置108的相對(duì)二側(cè)設(shè)置，而使電池運(yùn)輸通道104c的剖面形狀呈類u字型。二反射隔板110d與112d分別沿著運(yùn)輸裝置108的相對(duì)二側(cè)設(shè)置，而 使電池運(yùn)輸通道104d的剖面形狀呈類u字型。二反射隔板110e與112e分別沿著運(yùn)輸裝置108的相對(duì)二側(cè)設(shè)置，而使電池運(yùn)輸通道104e的剖面形狀呈類u字型。在一些示范例子中，反射隔板110a～110e與112a～112e是使用光反射材質(zhì)，其對(duì)可見光的反射率是大于70％。舉例而言，反射隔板110a～110e與112a～112e可為金屬材質(zhì)。

高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b設(shè)置在這些電池運(yùn)輸通道104a～104e的上方，且位于反射隔板110a～110e與112a～112e上。如此，反射隔板110a～110e與112a～112e可將高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b所發(fā)射的光朝裝置108上的半導(dǎo)體太陽能電池102反射，而將光有效集中在半導(dǎo)體太陽能電池102上。借此，可進(jìn)一步提升施加在半導(dǎo)體太陽能電池102上的溫度、照度與光均勻度。在本實(shí)施方式中，這些高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b沿著運(yùn)輸裝置108的運(yùn)輸方向114，而以交錯(cuò)方式排列于電池運(yùn)輸通道104a～104e的上方。

在一些例子中，每個(gè)高發(fā)熱光源106a所發(fā)出的光為紅外光，每個(gè)低發(fā)熱光源106b所發(fā)出的光為可見光。在一些示范例子中，每個(gè)高發(fā)熱光源106a的峰值波長可為大于700nm且小于等于1100nm，且每個(gè)低發(fā)熱光源106b的峰值波長可為400nm至700nm。舉例而言，高發(fā)熱光源106a所發(fā)出的光的波長可落在紅外光區(qū)段中的近紅外光區(qū)段內(nèi)。在一些例子中，高發(fā)熱光源106a為鹵素?zé)?，低發(fā)熱光源106b為復(fù)金屬燈泡、發(fā)光二極管燈或氙燈。

請(qǐng)參照?qǐng)D3，其是繪示一種鹵素?zé)舻墓庾V。由圖3可知，一般鹵素?zé)羲l(fā)出的光中，有大約25％是落在可見光區(qū)段134，而其余的75％是落在紅外光區(qū)段136。此外，在可見光區(qū)段134的光的輻照度較低，而在紅外光區(qū)段136的光的輻照度較高。因此，在一些示范例子中，高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b所發(fā)出的光有可見光與紅外光，而在高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b所發(fā)出的混合光中，可見光的總和占紅外光與可見光的總和的比例為50％至90％。具體而言，在兩相鄰高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b的中心點(diǎn)于運(yùn)輸裝置108平面上的位置所量測到的混合光譜中，可見光強(qiáng)度積分占紅外光與可見光的強(qiáng)度積分總和的比例為50％至90％。

上述的交錯(cuò)方式可根據(jù)所需照度與溫度來調(diào)整。舉例而言，如圖2所示，此交錯(cuò)方式可為高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b一個(gè)接一個(gè)依序交錯(cuò)排列的方式，即一個(gè)低發(fā)熱光源106b后接一個(gè)高發(fā)熱光源106a、此高發(fā)熱光源106a 后再接另一個(gè)低發(fā)熱光源106b，以此類推排列。在另一些例子中，此交錯(cuò)方式可為二個(gè)低發(fā)熱光源106b位于一個(gè)高發(fā)熱光源106a與另一個(gè)高發(fā)熱光源106a之間的交錯(cuò)排列方式，即先排二個(gè)低發(fā)熱光源106b、后面接著排一個(gè)高發(fā)熱光源106a、然后再排二個(gè)低發(fā)熱光源106b，以此類推排列。在又一些例子中，此交錯(cuò)方式為三個(gè)低發(fā)熱光源106b位于一個(gè)高發(fā)熱光源106a與另一個(gè)高發(fā)熱光源106a之間的交錯(cuò)排列方式，即先排三個(gè)低發(fā)熱光源106b、后面接著排一個(gè)高發(fā)熱光源106a、然后再排三個(gè)低發(fā)熱光源106b，以此類推排列。上述說明僅為舉例說明用，本發(fā)明的范圍不限于此，高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b的交錯(cuò)排列方式可根據(jù)所采用的光源、以及照度與溫度需求來調(diào)整。

當(dāng)然，在處理裝置100內(nèi)的腔室溫度不夠高的特定例子中，交錯(cuò)方式可為先排二個(gè)高發(fā)熱光源106a、后面接著排一個(gè)低發(fā)熱光源106b、然后再排二個(gè)高發(fā)熱光源106a，以此類推排列。或者，此交錯(cuò)方式可為先排三個(gè)高發(fā)熱光源106a、后面接著排一個(gè)低發(fā)熱光源106b、然后再排三個(gè)高發(fā)熱光源106a，以此類推排列。

在本實(shí)施方式中，通過高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b的搭配使用，并交錯(cuò)排列這些高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b，如此可有效控制處理裝置100內(nèi)的溫度。因此，可在提供半導(dǎo)體太陽能電池102足夠進(jìn)行有效照光加熱處理的照度的情況下，降低處理裝置100內(nèi)的溫度，進(jìn)而可降低處理裝置100的散熱難度，并可減少處理裝置100的散熱成本。

在一些例子中，如圖1與圖2所示，高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b可為長型燈管。此外，加熱光源106可位于反射隔板110a～110e與112a～112e的上方、或穿設(shè)于反射隔板110a～110e與112a～112e的頂部。請(qǐng)?jiān)俅螀⒄請(qǐng)D2，這些高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b可垂直電池運(yùn)輸通道104a～104e，即高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b的長度延伸方向垂直電池運(yùn)輸通道104a～104e的長度延伸方向，而電池運(yùn)輸通道104a～104e的長度延伸方向可平行運(yùn)輸方向114。在一些示范例子中，每個(gè)長型燈管的加熱光源106橫跨電池運(yùn)輸通道104a～104e。在一些特定例子中，每個(gè)高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b可僅橫跨部分的電池運(yùn)輸通道104a～104e，但每個(gè)電池運(yùn)輸通道104a～104e上方均需有高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b通過。

在另一些例子中，高發(fā)熱光源與低發(fā)熱光源可采用燈泡型的加熱光源。在此種例子中，燈泡型的高發(fā)熱光源與低發(fā)熱光源可位于反射隔板110a～110e與112a～112e的上方、或完全位于電池運(yùn)輸通道104a～104e內(nèi)。

在一些例子中，高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b使半導(dǎo)體太陽能電池102在電池運(yùn)輸通道104a～104e中受到的照度大于2000w/m²。此外，高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b可使半導(dǎo)體太陽能電池102在電池運(yùn)輸通道104a～104e中的溫度維持在200℃至230℃。

舉例而言，于半導(dǎo)體太陽能電池102完成制程后，利用處理裝置100對(duì)這些半導(dǎo)體太陽能電池102進(jìn)行照度大于2000w/m²且溫度維持在200℃至230℃的照光加熱處理，可在降低或不影響半導(dǎo)體太陽能電池102的電池效率下，于短時(shí)間內(nèi)快速地消除半導(dǎo)體太陽能電池102的硅晶基材的缺陷，進(jìn)而可有效降低半導(dǎo)體太陽能電池102的光致衰減。由于照光加熱處理的時(shí)間可縮短至數(shù)分鐘以內(nèi)，因此可以連續(xù)傳遞的方式消除半導(dǎo)體太陽能電池102的缺陷，故可達(dá)到量產(chǎn)的目標(biāo)。

在一些例子中，如圖2所示，處理裝置100可選擇性地包含蓋板116。此蓋板116設(shè)于電池運(yùn)輸通道104a～104e上方，且位于反射隔板110a～110e與112a～112e上。而高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b則固定在蓋板116的底面下。蓋板116的設(shè)置可有利于電池運(yùn)輸通道104a～104e內(nèi)的溫度的維持與控制。

在一些例子中，處理裝置100亦可選擇性地包含擴(kuò)散板118。此擴(kuò)散板118設(shè)置在高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b的下方。高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b所發(fā)出的光在通過擴(kuò)散板118時(shí)，可被擴(kuò)散板118均勻化。因此，擴(kuò)散板118可提升高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b所發(fā)出的光對(duì)半導(dǎo)體太陽能電池102的照度均勻度。

請(qǐng)?jiān)俅螀⒄請(qǐng)D1與圖2，處理裝置100可選擇性包含外罩120、數(shù)個(gè)排氣管122與數(shù)個(gè)溫度感測器124。外罩120可罩設(shè)在所有高發(fā)熱光源106a與低發(fā)熱光源106b上方，并可遮蓋住所有的電池運(yùn)輸通道104a～104e。排氣管122可設(shè)置在外罩120的頂板126中，并貫穿頂板126而與外罩120內(nèi)的空間連通。在一些示范例子中，每個(gè)排氣管122可設(shè)有閥門，通過調(diào)整閥門的啟閉與開啟的程度，可控制由排氣管122抽出的氣流大小。

溫度感測器124則分別設(shè)于各電池運(yùn)輸通道104a～104e中，配置以偵測這些電池運(yùn)輸通道104a～104e內(nèi)的溫度。當(dāng)一溫度感測器124所偵測的溫度過高時(shí)，此溫度感測器124發(fā)出信號(hào)，并經(jīng)回饋控制后而將此溫度感測器124上方或附近的排氣管122打開或?qū)⒃疽验_啟的排氣管122的閥門開大，使此區(qū)域的氣流量增加，來降低此區(qū)域的溫度。反之，當(dāng)一溫度感測器124所偵測的溫度較低時(shí)，此溫度感測器124發(fā)出信號(hào)，并經(jīng)回饋控制后而將此溫度感測器124上方或附近的排氣管122關(guān)閉或?qū)⒃疽验_啟的排氣管122的閥門關(guān)小，使此區(qū)域的氣流量縮減，來提升此區(qū)域的溫度。在一些示范例子中，排氣管122不限于用以將電池運(yùn)輸通道104a～104e內(nèi)的熱空氣排出，亦可用來將外界冷空氣導(dǎo)入至電池運(yùn)輸通道104a～104e，直接降低電池運(yùn)輸通道104a～104e的溫度。同樣的，可通過調(diào)整排氣管122的閥門的啟閉與開啟的程度，控制由排氣管122導(dǎo)入的冷空氣氣流大小。

請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D2與圖4，其中圖4是繪示依照本發(fā)明的一實(shí)施方式的一種處理裝置的運(yùn)輸裝置、照度計(jì)與活動(dòng)遮板之間的位置關(guān)系示意圖。在一些例子中，處理裝置100亦可選擇性地包含數(shù)個(gè)照度計(jì)128與數(shù)個(gè)活動(dòng)遮板130。在一些示范例子中，照度計(jì)128可升降地設(shè)置在運(yùn)輸裝置108之下，而活動(dòng)遮板130則分別設(shè)于這些照度計(jì)128的上方，來隔開照度計(jì)128與上方的高發(fā)熱光源106a及低發(fā)熱光源106b，借以避免照度計(jì)128因長時(shí)間被高發(fā)熱光源106a及低發(fā)熱光源106b照射而導(dǎo)致溫度升高，進(jìn)而造成照度計(jì)128壽命大幅縮減。而當(dāng)要利用照度計(jì)128來量測半導(dǎo)體太陽能電池102的照度時(shí)，可將活動(dòng)遮板130自照度計(jì)128上方移開，再將照度計(jì)128升高至運(yùn)輸裝置108處的高度，即和待處理的半導(dǎo)體太陽能電池102上表面高度大約等同，來進(jìn)行照度的測量。完成測量后，照度計(jì)128下降，再移動(dòng)活動(dòng)遮板130來遮住并保護(hù)照度計(jì)128。

請(qǐng)?jiān)俅螀⒄請(qǐng)D1與圖2，處理裝置100更可選擇性地包含冷卻裝置132。此冷卻裝置132設(shè)置在電池運(yùn)輸通道104a～104e的出口處，以冷卻完成照光加熱處理后的半導(dǎo)體太陽能電池102，借以將半導(dǎo)體太陽能電池102的溫度降至室溫，以利后續(xù)收片作業(yè)的進(jìn)行。

由上述的實(shí)施方式可知，本發(fā)明的一優(yōu)點(diǎn)就是因?yàn)楸景l(fā)明的處理裝置采用高發(fā)熱光源與低發(fā)熱光源，并以交錯(cuò)的方式排列高發(fā)熱光源與低發(fā)熱光源，借 此可在提供半導(dǎo)體太陽能電池足夠照度的情況下，有效降低處理裝置的腔室內(nèi)的溫度。因此，可將半導(dǎo)體太陽能電池控制在工作范圍內(nèi)，而可在不影響半導(dǎo)體太陽能電池的效率的情況下，快速消除半導(dǎo)體太陽能電池的缺陷，進(jìn)一步降低半導(dǎo)體太陽能電池的光致衰減現(xiàn)象。

由上述的實(shí)施方式可知，本發(fā)明的另一優(yōu)點(diǎn)就是因?yàn)楸景l(fā)明的處理裝置可有效控制光源在照光處理時(shí)所產(chǎn)生的熱量，因此不僅可大幅降低處理裝置的腔室散熱的難度，并可減少散熱成本，更可提升腔室溫度的均勻度。

雖然本發(fā)明已以實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何在此技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動(dòng)與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視所附的權(quán)利要求書所界定的范圍為準(zhǔn)。