本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓放置裝置及放置晶圓的方法。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體制備過(guò)程中，晶圓需要在各個(gè)制程之間以及同一制程的不同區(qū)域進(jìn)行流轉(zhuǎn)，晶圓的運(yùn)輸和保管過(guò)程都需要用到晶圓放置裝置(cassette)。晶圓放置裝置的使用可以為晶圓提供一種潔凈度較高的環(huán)境，避免晶圓受到潔凈度相對(duì)于晶圓放置裝置低的制作環(huán)境內(nèi)污染源的污染。

為了提高晶圓放置裝置的利用率，通常一個(gè)晶圓放置裝置中會(huì)存儲(chǔ)多片晶圓。晶圓放置裝置中設(shè)置有多個(gè)卡槽，所述卡槽將晶圓分割開(kāi)并起到支撐作用，使得晶圓的底部懸空并有序地放置于晶圓放置裝置中。當(dāng)制程中的設(shè)備發(fā)生故障或者晶圓需要維修時(shí)，需要工作人員手動(dòng)操作將晶圓放置于晶圓放置裝置中。

然而，人工放置晶圓到現(xiàn)有的晶圓放置裝置的過(guò)程中，容易發(fā)生刮傷晶圓的現(xiàn)象。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明解決的問(wèn)題是提供一種晶圓放置裝置及放置晶圓的方法，避免人工放置晶圓到晶圓放置裝置的過(guò)程中發(fā)生刮傷。

為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種晶圓放置裝置，包括：盒體，所述盒體側(cè)壁設(shè)置有多組卡槽，所述卡槽適于固定待放置的晶圓，所述卡槽具有晶圓輸入端；引導(dǎo)裝置，所述引導(dǎo)裝置包含多組引導(dǎo)槽，所述引導(dǎo)槽適于對(duì)接于所述晶圓輸入端，各組引導(dǎo)槽適于和所對(duì)接的卡槽位于同一層。

可選的，每一組卡槽位于同一層；每一組引導(dǎo)槽位于同一層。

可選的，每一組卡槽的數(shù)量為兩個(gè)，每一組卡槽兩兩相對(duì)；每一組引導(dǎo)槽的數(shù)量為兩個(gè)，每一組引導(dǎo)槽兩兩相對(duì)。

可選的，所述引導(dǎo)槽適于在所述卡槽的長(zhǎng)度方向上對(duì)接于所述晶圓輸入端。

可選的，所述引導(dǎo)槽的長(zhǎng)度為所述卡槽長(zhǎng)度的0.5倍～1.5倍。

可選的，相鄰層的引導(dǎo)槽之間的距離等于相鄰層卡槽之間的距離。

可選的，所述引導(dǎo)槽的組數(shù)等于所述卡槽的組數(shù)。

可選的，所述引導(dǎo)槽具有相對(duì)的前引導(dǎo)端和后引導(dǎo)端，后引導(dǎo)端適于對(duì)接于所述晶圓輸入端。

可選的，所述前引導(dǎo)端貼有標(biāo)簽，同一組引導(dǎo)槽的前引導(dǎo)端所貼的標(biāo)簽相同，不同組引導(dǎo)槽的前引導(dǎo)端所貼的標(biāo)簽不同。

可選的，所述盒體包括盒體底層、與所述盒體底層相對(duì)設(shè)置的盒體頂層、位于盒體底層和盒體頂層之間且與盒體底層和盒體頂層相連接的盒體側(cè)壁，所述盒體底層、盒體頂層、盒體側(cè)壁構(gòu)成一個(gè)半封閉的盒體，使所述盒體具有窗口，所述窗口位于盒體底層和盒體頂層之間。

可選的，所述引導(dǎo)裝置還包括底板，所述底板適于容置所述盒體，所述底板的上表面適于與盒體底層相接觸。

可選的，所述引導(dǎo)裝置還包括第一引導(dǎo)板，所述第一引導(dǎo)板位于底板上方，第一引導(dǎo)板適于和窗口側(cè)部的盒體側(cè)壁對(duì)接，所述引導(dǎo)槽位于所述第一引導(dǎo)板的內(nèi)側(cè)壁。

可選的，所述引導(dǎo)裝置還包括側(cè)板，所述側(cè)板位于底板上方，適于固定盒體，所述側(cè)板的內(nèi)側(cè)壁適于與盒體側(cè)壁相接觸。

可選的，所述盒體呈方體，盒體側(cè)壁包括第一盒體側(cè)壁和第二盒體側(cè)壁，第一盒體側(cè)壁分別位于第二盒體側(cè)壁兩側(cè)且與所述第二盒體側(cè)壁垂直，第一盒體側(cè)壁位于窗口側(cè)部，第二盒體側(cè)壁與窗口相對(duì)。

可選的，所述側(cè)板包括第一側(cè)板，所述第一側(cè)板位于底板上方，所述第一側(cè)板的內(nèi)側(cè)壁適于與第一盒體側(cè)壁相接觸。

可選的，所述側(cè)板還包括第二側(cè)板，所述第二側(cè)板位于底板上方，所述第二側(cè)板的內(nèi)側(cè)壁適于與第二盒體側(cè)壁相接觸。

可選的，所述引導(dǎo)裝置還包括支撐板，所述支撐板位于底板下方，底板容置盒體后，所述支撐板適于使朝向窗口一側(cè)的底板高于背向窗口一側(cè)的底板。

可選的，所述底板具有相對(duì)設(shè)置的前沿和后沿，所述窗口朝向所述前沿放置；所述支撐板位于底板下方且與底板的前沿連接。

可選的，所述底板與水平面的傾斜角度為25度～35度。

本發(fā)明還提供一種采用上述晶圓放置裝置放置晶圓的方法，包括：提供若干片待放置晶圓；將一片待放置晶圓放置于一組引導(dǎo)槽上，并使該片待放置晶圓通過(guò)所述一組引導(dǎo)槽滑入對(duì)應(yīng)的一組卡槽上；重復(fù)將待放置晶圓放置于引導(dǎo)槽、至待放置晶圓滑入對(duì)應(yīng)卡槽的步驟，直至將若干片待放置晶圓放置于卡槽上。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)：

本發(fā)明提供的晶圓放置裝置包括引導(dǎo)裝置，所述引導(dǎo)裝置包含多組引導(dǎo)槽，由于所述引導(dǎo)槽適于對(duì)接于卡槽的晶圓輸入端，各組引導(dǎo)槽適于和所對(duì)接的卡槽位于同一層，使得晶圓能夠通過(guò)引導(dǎo)槽而滑入卡槽上。由于晶圓能夠通過(guò)所述引導(dǎo)槽而滑入卡槽上，一方面，在晶圓正確放置于引導(dǎo)槽上的情況下，使得晶圓滑入卡槽前能夠保持和卡槽平行，避免采用人工放置晶圓到晶圓放置裝置的過(guò)程中，晶圓和放置該晶圓的卡槽之間出現(xiàn)較大夾角，從而避免該層卡槽上的晶圓觸碰到相鄰層卡槽上的晶圓而相互刮傷；另一方面，當(dāng)晶圓放置于相對(duì)錯(cuò)位的不同層的引導(dǎo)槽上時(shí)，由于晶圓僅在引導(dǎo)槽上時(shí)不會(huì)觸碰到卡槽上已經(jīng)放置的晶圓，能夠提供重新放置晶圓的機(jī)會(huì)，避免晶圓互相刮傷。

本發(fā)明提供的放置晶圓的方法中，每片晶圓通過(guò)一組引導(dǎo)槽滑入對(duì)應(yīng)的一組卡槽上，使得晶圓滑入卡槽前能夠保持和卡槽平行，避免采用人工放置晶圓到晶圓放置裝置的過(guò)程中，晶圓和放置該晶圓的卡槽出現(xiàn)較大夾角，從而避免該層卡槽上的晶圓觸碰到相鄰層卡槽上的晶圓而相互刮傷。

附圖說(shuō)明

圖1是一實(shí)施例中晶圓放置裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為一實(shí)施例中晶圓放置裝置中晶圓異常放置的示意圖；

圖3至圖5是本發(fā)明一實(shí)施例中晶圓放置裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

正如背景技術(shù)所述，人工放置晶圓到現(xiàn)有的晶圓放置裝置中的過(guò)程中，容易發(fā)生刮傷晶圓的現(xiàn)象。

一實(shí)施例中，晶圓放置裝置，參考圖1，包括，盒體100，所述盒體100的兩側(cè)側(cè)壁具有設(shè)置有多對(duì)卡槽，各對(duì)卡槽兩兩相對(duì)位于同一層上，所述卡槽適于固定待放置的晶圓。

圖1中以所述卡槽包括第一對(duì)卡槽101、位于第一對(duì)卡槽101上的第二對(duì)卡槽102、位于第二對(duì)卡槽102上的第三對(duì)卡槽103和位于第三對(duì)卡槽103上的第四對(duì)卡槽104為例進(jìn)行說(shuō)明。

當(dāng)制程中的設(shè)備發(fā)生故障或者晶圓需要維修時(shí)，需要工作人員手動(dòng)操作將晶圓放置于晶圓放置裝置中。

研究發(fā)現(xiàn)，人工放置晶圓到上述晶圓放置裝置的過(guò)程中，容易發(fā)生刮傷現(xiàn)象，原因在于：

一方面，相鄰層的卡槽之間的距離過(guò)小，一般為5mm～10mm，容易將晶圓放在不同層相互錯(cuò)位的卡槽上，從而容易將相鄰的晶圓放置在同一側(cè)的卡槽中，如圖2所示，圖2為一實(shí)施例中晶圓放置裝置中晶圓異常放置的示意圖，晶圓110的一側(cè)放在第二對(duì)卡槽102的一側(cè)，晶圓110的另一側(cè)放在第一對(duì)卡槽103的一側(cè)，晶圓111放置于第一對(duì)卡槽103上，晶圓110和晶圓111發(fā)生摩擦碰撞，容易導(dǎo)致晶圓相互刮傷。

另一方面，即使晶圓放置于同一層沒(méi)有錯(cuò)位的卡槽上，但是由于采用人工放置晶圓的方式，在晶圓滑入卡槽的過(guò)程中，容易出現(xiàn)晶圓與放置該晶圓的卡槽的延伸方向之間具有較大夾角，相鄰晶圓容易接觸而發(fā)生刮傷。

在此基礎(chǔ)上，本發(fā)明提供一種晶圓放置裝置，包括：盒體，所述盒體側(cè)壁設(shè)置有多組卡槽，所述卡槽適于固定待放置的晶圓，所述卡槽具有晶圓輸入端；引導(dǎo)裝置，所述引導(dǎo)裝置包含多組引導(dǎo)槽，所述引導(dǎo)槽適于對(duì)接于所 述晶圓輸入端，各組引導(dǎo)槽適于和所對(duì)接的卡槽位于同一層。所述晶圓放置裝置包括引導(dǎo)裝置，晶圓能夠通過(guò)引導(dǎo)裝置中的引導(dǎo)槽滑入卡槽中，從而避免人工放置晶圓到晶圓放置裝置中的過(guò)程中發(fā)生刮傷。

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更為明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例做詳細(xì)的說(shuō)明。

圖3至圖5是本發(fā)明一實(shí)施例中晶圓放置裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

參考圖3，晶圓放置裝置包括盒體200，所述盒體200側(cè)壁設(shè)置有多組卡槽，所述卡槽適于固定待放置的晶圓，所述卡槽具有晶圓輸入端。

本實(shí)施例中，以所述盒體200側(cè)壁設(shè)置有四組卡槽為例進(jìn)行說(shuō)明，所述卡槽包括第一組卡槽211、位于第一組卡槽211上的第二組卡槽212、位于第二組卡槽212上的第三組卡槽213、位于第三組卡槽213上的第四組卡槽214。在其它實(shí)施例中，所述卡槽的組數(shù)可以根據(jù)具體情況進(jìn)行選擇。

每一組卡槽位于同一層。具體的，本實(shí)施例中，第一組卡槽211位于同一層；第二組卡槽212位于同一層；第三組卡槽213位于同一層；第四組卡槽214位于同一層。

本實(shí)施例中，以每一組卡槽的數(shù)量為兩個(gè)為例進(jìn)行說(shuō)明；在其它實(shí)施例中，每一組卡槽的數(shù)量可以選擇三個(gè)、四個(gè)或者其它數(shù)值。

當(dāng)每一組卡槽的數(shù)量為兩個(gè)時(shí)，每一組卡槽兩兩相對(duì)。

相鄰層卡槽之間的距離為5mm～10mm。

所述盒體200以及卡槽的材質(zhì)可以為金屬，如不銹鋼。

所述卡槽適于固定待放置的晶圓。每一組卡槽上均放置一片晶圓；一片晶圓應(yīng)該放置于同一層的一組卡槽上，如可以選擇將一片晶圓放置于第一組卡槽211上、第二組卡槽212上、第三組卡槽213上或者第四組卡槽214上。

所述卡槽具有晶圓輸入端，所述晶圓輸入端作為晶圓在卡槽上滑動(dòng)的起始端。具體的，對(duì)于每一組卡槽均具有對(duì)應(yīng)的晶圓輸入端。本實(shí)施例中，第一組卡槽211具有第一晶圓輸入端，第二組卡槽212具有第二晶圓輸入端，第三組卡槽213具有第三晶圓輸入端，第四組卡槽214具有第四晶圓輸入端。

所述盒體200包括盒體底層201、與所述盒體底層201相對(duì)設(shè)置的盒體頂層202、位于盒體底層201和盒體頂層202之間且與盒體底層201和盒體頂層202相連接的盒體側(cè)壁，所述盒體底層201、盒體頂層202、盒體側(cè)壁構(gòu)成一個(gè)半封閉的盒體，使所述盒體200具有窗口，所述窗口位于盒體底層201和盒體頂層202之間。

本實(shí)施例中，以所述盒體200的形狀為方體作為示例，所述方體可以為立方體或者長(zhǎng)方體，所述盒體側(cè)壁包括第一盒體側(cè)壁203和第二盒體側(cè)壁204，第一盒體側(cè)壁203分別位于第二盒體側(cè)壁204兩側(cè)且與所述第二盒體側(cè)壁204垂直，第一盒體側(cè)壁203位于窗口側(cè)部，第二盒體側(cè)壁204與窗口相對(duì)。

卡槽設(shè)置于盒體200的盒體側(cè)壁。本實(shí)施例中，每一組卡槽的數(shù)量為兩個(gè)，第一組卡槽211、第二組卡槽212、第三組卡槽213和第四組卡槽214均設(shè)置在第一盒體側(cè)壁203。在其它實(shí)施例中，第一組卡槽、第二組卡槽、第三組卡槽和第四組卡槽均可以設(shè)置在第一盒體側(cè)壁和第二盒體側(cè)壁。

參考圖4，所述晶圓放置裝置還包括引導(dǎo)裝置300，所述引導(dǎo)裝置300包含多組引導(dǎo)槽，所述引導(dǎo)槽適于對(duì)接于所述晶圓輸入端，各組引導(dǎo)槽適于和所對(duì)接的卡槽位于同一層。

所述引導(dǎo)槽的組數(shù)和所述卡槽的組數(shù)相同。

本實(shí)施例中，以所述引導(dǎo)槽的組數(shù)為四組作為示例。具體的，所述引導(dǎo)槽包括第一組引導(dǎo)槽321、位于第一組引導(dǎo)槽321上的第二組引導(dǎo)槽322、位于第二組引導(dǎo)槽322上的第三組引導(dǎo)槽323和位于第三組引導(dǎo)槽323上的第四組引導(dǎo)槽324。在其它實(shí)施例中，所述引導(dǎo)槽的組數(shù)可以根據(jù)需要進(jìn)行選擇。

每一組引導(dǎo)槽位于同一層。具體的，第一組引導(dǎo)槽321位于同一層，第二組引導(dǎo)槽322位于同一層，第三組引導(dǎo)槽323位于同一層，第四組引導(dǎo)槽324位于同一層。

相鄰層的引導(dǎo)槽之間的距離等于相鄰層卡槽之間的距離。

本實(shí)施例中，以每一組引導(dǎo)槽的數(shù)量為兩個(gè)作為示例，在其它實(shí)施例中，每一組引導(dǎo)槽的數(shù)量可以選擇其它數(shù)值。

當(dāng)每一組引導(dǎo)槽的數(shù)量為兩個(gè)時(shí)，每一組引導(dǎo)槽兩兩相對(duì)。

所述引導(dǎo)槽適于對(duì)接于所述晶圓輸入端。具體的，第一組引導(dǎo)槽321適于對(duì)接于第一晶圓輸入端，第二組引導(dǎo)槽322適于對(duì)接于第二晶圓輸入端，第三組引導(dǎo)槽323適于對(duì)接于第三晶圓輸入端，第四組引導(dǎo)槽324適于對(duì)接于第四晶圓輸入端。

各組引導(dǎo)槽適于和所對(duì)接的卡槽位于同一層。具體的，第一組卡槽211和第一組引導(dǎo)槽321位于同一層；第二組卡槽212和第二組引導(dǎo)槽322位于同一層，第三組卡槽213和第三組引導(dǎo)槽323位于同一層，第四組卡槽214和第四組引導(dǎo)槽324位于同一層。

本實(shí)施例中，每一組引導(dǎo)槽的數(shù)量為兩個(gè)，每一組引導(dǎo)槽兩兩相對(duì)，此時(shí)，所述引導(dǎo)槽適于在所述卡槽的長(zhǎng)度方向上對(duì)接于所述晶圓輸入端，具體的，第一組引導(dǎo)槽321適于在第一組卡槽211的長(zhǎng)度方向上對(duì)接于第一組卡槽211的晶圓輸入端，第二組引導(dǎo)槽322適于在第二組卡槽212的長(zhǎng)度方向上對(duì)接于第二組卡槽212的晶圓輸入端，第三組引導(dǎo)槽323適于在第三組卡槽213的長(zhǎng)度方向上對(duì)接于第三組卡槽213的晶圓輸入端，第四組引導(dǎo)槽324適于在第四組卡槽214的長(zhǎng)度方向上對(duì)接于第四組卡槽214的晶圓輸入端。

當(dāng)所述引導(dǎo)槽適于在所述卡槽的長(zhǎng)度方向上對(duì)接于所述晶圓輸入端時(shí)，所述引導(dǎo)槽的長(zhǎng)度相對(duì)于卡槽的長(zhǎng)度需要選擇合適的范圍，若所述引導(dǎo)槽的長(zhǎng)度相對(duì)于卡槽長(zhǎng)度過(guò)長(zhǎng)，造成工藝?yán)速M(fèi)，若所述引導(dǎo)槽的長(zhǎng)度相對(duì)于卡槽長(zhǎng)度過(guò)小，導(dǎo)致在晶圓滑入卡槽前提供給晶圓的支撐面積過(guò)小，不能主要依靠引導(dǎo)槽有效的支撐晶圓，故本實(shí)施例中，選擇所述引導(dǎo)槽的長(zhǎng)度為所述卡槽長(zhǎng)度的0.5倍～1.5倍。

所述引導(dǎo)槽具有相對(duì)的前引導(dǎo)端和后引導(dǎo)端，后引導(dǎo)端適于對(duì)接于所述晶圓輸入端。所述前引導(dǎo)端貼有標(biāo)簽，同一組引導(dǎo)槽的前引導(dǎo)端所貼的標(biāo)簽相同，不同組引導(dǎo)槽的前引導(dǎo)端所貼的標(biāo)簽不同。所述標(biāo)簽上具有標(biāo)示符號(hào)，所述標(biāo)示符號(hào)可以為數(shù)字、字母或者幾何圖形或者其它可用于識(shí)別的符號(hào)。

本實(shí)施例中，所述引導(dǎo)裝置300包括底板310，所述底板310適于容置所述盒體200(參考圖3)。具體的，所述底板310的上表面適于與盒體底層201 相接觸。

所述引導(dǎo)裝置300還包括第一引導(dǎo)板311，所述第一引導(dǎo)板311位于底板310上方，第一引導(dǎo)板311適于和窗口側(cè)部的盒體側(cè)壁對(duì)接，具體的，第一引導(dǎo)板311適于與第一盒體側(cè)壁203對(duì)接，所述引導(dǎo)槽位于所述第一引導(dǎo)板311的內(nèi)側(cè)壁。

所述引導(dǎo)裝置300還包括側(cè)板，所述側(cè)板位于底板310上方，適于固定盒體200，所述側(cè)板的內(nèi)側(cè)壁適于與盒體側(cè)壁相接觸。

所述側(cè)板包括第一側(cè)板312，所述第一側(cè)板312位于底板310上方，所述第一側(cè)板312的內(nèi)側(cè)壁適于與第一盒體側(cè)壁203相接觸。

可以設(shè)置所述第一側(cè)板312在垂直于底板310方向上的尺寸小于盒體側(cè)壁在垂直于底板310方向上的尺寸，使得后續(xù)在放置盒體200于底板310上的過(guò)程中第一側(cè)板312與盒體側(cè)壁之間的摩擦力較小。具體的，第一側(cè)板312在垂直于底板310方向上的尺寸為80mm～120mm，如80mm、100mm、120mm。

所述側(cè)板還包括第二側(cè)板313，所述第二側(cè)板313位于底板310上方，所述第二側(cè)板313的內(nèi)側(cè)壁適于與第二盒體側(cè)壁204相接觸。

可以設(shè)置所述第二側(cè)板313在垂直于底板310方向上的尺寸小于盒體側(cè)壁在垂直于底板310方向上的尺寸，使得在后續(xù)放置盒體200于底板310上的過(guò)程中第二側(cè)板313與盒體側(cè)壁之間的摩擦力較小。且進(jìn)一步的使得第二側(cè)板313在垂直于底板310方向上的尺寸小于第一側(cè)板312在垂直于底板310方向上的尺寸，進(jìn)一步的方便后續(xù)將盒體200放置于底板310上。具體的，第二側(cè)板313在垂直于底板310方向上的尺寸為15mm～25mm，如15mm、20mm、25mm。

所述引導(dǎo)裝置300還包括支撐板314，所述支撐板314位于底板310下方，底板310容置盒體200后，所述支撐板314適于使朝向窗口一側(cè)的底板310高于背向窗口一側(cè)的底板310。

所述底板310具有相對(duì)設(shè)置的前沿和后沿。底板310容置盒體200后，所述窗口朝向所述前沿放置；所述支撐板314位于底板310下方且與底板310的前沿連接。所述支撐板314可以與所述底板310垂直，所述支撐板314與 所述底板310形成的角度可以為銳角或者鈍角。

所述支撐板314將底板310傾斜。圖4中，所述底板310與水平面具有傾斜角度θ。

所述底板310的傾斜角度θ需要選擇合適的范圍，使得在人工操作將晶圓放置于晶圓放置裝置300的過(guò)程中，能夠具有合適的視角，便于準(zhǔn)確的將晶圓放置于同一層的一對(duì)引導(dǎo)槽上。故選擇所述底板310的傾斜角度θ為25度～35度，如25度、30度或者35度。

由于采用支撐板314將底板310傾斜，使得引導(dǎo)槽的前引導(dǎo)端高于引導(dǎo)槽的后引導(dǎo)端，便于人工操作人員識(shí)別引導(dǎo)槽的位置，便于將晶圓放置于引導(dǎo)槽上；后續(xù)將盒體200放置于引導(dǎo)裝置300的底板310上后，盒體200的窗口后仰傾斜，晶圓從傾斜的引導(dǎo)槽滑入傾斜的卡槽上，從而便于將晶圓放置于卡槽上。

所述底板310、第一引導(dǎo)板311、第一側(cè)板312、第二側(cè)板313、引導(dǎo)槽的材料可以為金屬，如不銹鋼。

在使用過(guò)程中，需要將引導(dǎo)裝置300和盒體200組合在一起。具體的，參考圖5，將盒體200(參考圖3)放置于底板310上。

引導(dǎo)裝置300和盒體200組合在一起后，所述引導(dǎo)槽對(duì)接于所述卡槽的晶圓輸入端，各組引導(dǎo)槽適于和所對(duì)接的卡槽位于同一層。

具體的，本實(shí)施例中，第一組引導(dǎo)槽321對(duì)接于第一晶圓輸入端，第二組引導(dǎo)槽322對(duì)接于第二晶圓輸入端，第三組引導(dǎo)槽323對(duì)接于第三晶圓輸入端，第四組引導(dǎo)槽324對(duì)接于第四晶圓輸入端。第一組卡槽211和第一組引導(dǎo)槽321位于同一層；第二組卡槽212和第二組引導(dǎo)槽322位于同一層，第三組卡槽213和第三組引導(dǎo)槽323位于同一層，第四組卡槽214和第四組引導(dǎo)槽324位于同一層。

引導(dǎo)裝置300和盒體200組合在一起后，第一引導(dǎo)板311與第一盒體側(cè)壁203對(duì)接；所述側(cè)板的內(nèi)側(cè)壁與盒體側(cè)壁相接觸，將盒體200在底板310上的位置固定，具體的，第一側(cè)板312的內(nèi)側(cè)壁與第一盒體側(cè)壁203相接觸，第二側(cè)板313的內(nèi)側(cè)壁與第二盒體側(cè)壁204相接觸。

由于所述引導(dǎo)裝置包含多組引導(dǎo)槽，所述引導(dǎo)槽適于對(duì)接于卡槽的晶圓輸入端，各組引導(dǎo)槽適于和所對(duì)接的卡槽位于同一層，使得晶圓能夠通過(guò)引導(dǎo)槽而滑入卡槽上。由于晶圓能夠通過(guò)所述引導(dǎo)槽而滑入卡槽上，一方面，在晶圓正確放置于引導(dǎo)槽上的情況下，使得晶圓滑入卡槽前能夠保持和卡槽平行，避免采用人工放置晶圓到晶圓放置裝置的過(guò)程中，晶圓和放置該晶圓的卡槽之間出現(xiàn)較大夾角，從而避免該層卡槽上的晶圓觸碰到相鄰層卡槽上的晶圓而相互刮傷；另一方面，當(dāng)晶圓放置于相對(duì)錯(cuò)位的不同層的引導(dǎo)槽上時(shí)，由于晶圓僅在引導(dǎo)槽上時(shí)不會(huì)觸碰到卡槽上已經(jīng)放置的晶圓，能夠提供重新放置晶圓的機(jī)會(huì)，避免晶圓互相刮傷。

相應(yīng)的，本發(fā)明還提供了一種采用上述實(shí)施例提供的晶圓放置裝置放置晶圓的方法，包括：提供若干片待放置晶圓；將一片待放置晶圓放置于一組引導(dǎo)槽上，并使該片待放置晶圓通過(guò)所述一組引導(dǎo)槽滑入對(duì)應(yīng)的一組卡槽上；重復(fù)將待放置晶圓放置于引導(dǎo)槽上、至待放置晶圓滑入對(duì)應(yīng)卡槽的步驟，直至將若干片待放置晶圓放置于卡槽上。

本發(fā)明提供的放置晶圓的方法中，每片晶圓通過(guò)一組引導(dǎo)槽滑入對(duì)應(yīng)的一組卡槽上，使得晶圓滑入卡槽前能夠保持和卡槽平行，避免采用人工放置晶圓到晶圓放置裝置的過(guò)程中，晶圓和放置該晶圓的卡槽出現(xiàn)較大夾角，從而避免該層卡槽上的晶圓觸碰到相鄰層卡槽上的晶圓而相互刮傷。

雖然本發(fā)明披露如上，但本發(fā)明并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與修改，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。