技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種頂針機構(gòu)及預(yù)清洗腔室，其應(yīng)用在預(yù)清洗腔室中，包括至少三個頂針、安裝架、安裝法蘭、絕緣墊塊和絕緣螺釘，其中，安裝架位于預(yù)清洗腔室內(nèi)，且通過安裝法蘭與預(yù)清洗腔室底部的腔室壁固定連接；至少三個頂針豎直安裝在安裝架上，用于支撐晶片。絕緣墊塊設(shè)置在安裝架與安裝法蘭之間，用以將二者電絕緣。絕緣螺釘用于將絕緣墊塊、安裝架和安裝法蘭固定連接。本發(fā)明提供的頂針機構(gòu)，其可以使頂針與安裝法蘭之間電絕緣，從而可以避免打火現(xiàn)象的發(fā)生。

技術(shù)研發(fā)人員：王桐
受保護的技術(shù)使用者：北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.04.20
技術(shù)公布日：2017.10.31