技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種制備透明導(dǎo)電電極的方法，包括：1)制備透明導(dǎo)電材料；2)形成反應(yīng)區(qū)域：在透明導(dǎo)電材料的導(dǎo)電層上形成反應(yīng)區(qū)域；3)導(dǎo)入反應(yīng)氣體進(jìn)行反應(yīng)：向反應(yīng)區(qū)域?qū)敕磻?yīng)氣體，使反應(yīng)區(qū)域內(nèi)的導(dǎo)電層與反應(yīng)氣體發(fā)生反應(yīng)；4)獲得透明導(dǎo)電電極：反應(yīng)結(jié)束后，向反應(yīng)區(qū)域通入保護(hù)氣體除去反應(yīng)區(qū)域內(nèi)的殘余反應(yīng)氣體，即得透明導(dǎo)電電極。本發(fā)明通過反應(yīng)氣體與導(dǎo)電層反應(yīng)，使導(dǎo)電層部分導(dǎo)電材料轉(zhuǎn)化為不導(dǎo)電材料，從而得到圖案化的電極，并且導(dǎo)電區(qū)域和非導(dǎo)電區(qū)域光學(xué)性能差異極低，實(shí)現(xiàn)完全消影蝕刻，在實(shí)際應(yīng)用中效果顯著，且制備流程簡單，制備成本低。

技術(shù)研發(fā)人員：陳初群
受保護(hù)的技術(shù)使用者：陳初群
文檔號碼：201610257256
技術(shù)研發(fā)日：2016.04.22
技術(shù)公布日：2017.10.27