技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種半導體處理裝置。該半導體處理裝置包括反應(yīng)腔、下電極、射頻電源和阻抗匹配器，射頻電源通過阻抗匹配器連接至位于反應(yīng)腔內(nèi)的下電極，還包括相位調(diào)節(jié)元件，相位調(diào)節(jié)元件串聯(lián)于射頻電源和阻抗匹配器之間，用于調(diào)節(jié)阻抗匹配器的輸入阻抗，使其與射頻電源的輸出阻抗匹配，且相位調(diào)節(jié)元件的特征阻抗等于射頻電源的輸出阻抗。該半導體處理裝置能將整個半導體處理裝置中等離子體阻抗的變化調(diào)整為最小，從而使整個半導體處理裝置的增益更加穩(wěn)定，阻抗匹配器對反應(yīng)腔內(nèi)等離子體阻抗和射頻電源輸出阻抗的匹配更加快速準確，進而確保了半導體處理工藝結(jié)果。

技術(shù)研發(fā)人員：師帥濤
受保護的技術(shù)使用者：北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.04.26
技術(shù)公布日：2017.11.03