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微電子結構及其形成方法與流程

文檔序號:12916851閱讀:來源:國知局

技術特征:

技術總結
本發(fā)明揭示了一種微電子結構及其形成方法。該微電子結構的形成方法,包括在一襯底上形成多個摻雜區(qū)域,并選擇性地在摻雜區(qū)域上形成一石墨烯層。此石墨烯層包括至少一層石墨烯結構,且具有大于300meV的能隙。由此獲得的微電子結構應用高能隙的石墨烯材料,可提升其電子特性。

技術研發(fā)人員:肖德元;張汝京
受保護的技術使用者:上海新昇半導體科技有限公司
技術研發(fā)日:2016.05.05
技術公布日:2017.11.14
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