技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明揭示的試樣觀察裝置，包括：柱體部，內(nèi)部形成真空空間，一側(cè)形成有開放口，并具有能產(chǎn)生電子束的電子束發(fā)生裝置；支撐部，與所述柱體部的開放口相對設(shè)置，在大氣壓下支撐所述試樣；蓋部，與所述柱體部的開放口相結(jié)合，具有電子束能通過的透過窗及用于收集從所述試樣產(chǎn)生之電子的收集本體；以及檢測部，與所述蓋部相連，用于檢測基于收集的電子所產(chǎn)生的電流。根據(jù)本發(fā)明的試樣觀察裝置，在觀察大氣壓中的試樣時(shí)，可以在大氣壓氣氛下收集從試樣所放射的二次電子，因此能提高所觀察試樣圖像的分辨率。

技術(shù)研發(fā)人員：芮世熙
受保護(hù)的技術(shù)使用者：燦美工程股份有限公司
文檔號碼：201610322036
技術(shù)研發(fā)日：2016.05.16
技術(shù)公布日：2016.11.23