技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明描述了使用多個電感和電容設(shè)備來施用多種等離子體條件以確定匹配網(wǎng)絡(luò)模型的系統(tǒng)和方法，描述了用于使用多個電感和電容設(shè)備以施用多種等離子體條件以確定匹配網(wǎng)絡(luò)模型的固定參數(shù)的系統(tǒng)和方法。多個設(shè)備模擬多種等離子體條件，而不占用其中晶片置于等離子體室中的工具時間，以產(chǎn)生匹配網(wǎng)絡(luò)模型的固定參數(shù)。

技術(shù)研發(fā)人員：亞瑟·M·霍瓦爾德;約翰·C·小瓦爾考
受保護的技術(shù)使用者：朗姆研究公司
文檔號碼：201610334670
技術(shù)研發(fā)日：2016.05.19
技術(shù)公布日：2016.11.30