技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的課題在于提高工藝的生產(chǎn)量。一個(gè)實(shí)施例中的氣體供給系統(tǒng)具有構(gòu)成氣體供給系統(tǒng)的多個(gè)構(gòu)成部件和用于配置多個(gè)構(gòu)成部件的基座(212)。在多個(gè)構(gòu)成部件中，一部分構(gòu)成部件配置于基座(212)的一個(gè)面(212a)，另一部分構(gòu)成部件配置于作為基座(212)的一個(gè)面(212a)的背面的另一個(gè)面(212b)。在一個(gè)實(shí)施例中，多個(gè)構(gòu)成部件例如是流量控制器(FD)和二次側(cè)閥(FV2)，二次側(cè)閥(FV2)配置于配置有流量控制器(FD)的基座(212)的面(212a)的背側(cè)的面(212b)。

技術(shù)研發(fā)人員：澤地淳;網(wǎng)倉(cāng)紀(jì)彥;佐藤好保
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
文檔號(hào)碼：201610437677
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.17
技術(shù)公布日：2016.12.28