本發(fā)明涉及集成電路
技術(shù)領(lǐng)域：
，具體涉及一種量測工序的智能抽樣方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
：在半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中，有許多量測、檢測步驟。并且這些步驟不需要100％完全檢驗。在生產(chǎn)時，時常發(fā)生由于產(chǎn)品過多，導(dǎo)致產(chǎn)品堆積在量測工序。一般做法是由工程技術(shù)人員人工做賬，對一些不重要的量測工序進(jìn)行跳站(也即是跳過量測步驟)。這樣就存在人員判斷失誤、選錯制品，選錯跳站步驟、選擇制品過多將導(dǎo)致不能確保抽樣率始終為最低。因此，需要提供一種方法來優(yōu)化產(chǎn)品跳站方法，保持最低抽樣率。技術(shù)實現(xiàn)要素：為了克服以上問題，本發(fā)明旨在提供一種量測工序的智能抽樣方法，從而控制對制品的抽樣率，提高生產(chǎn)周期且保證產(chǎn)品質(zhì)量。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種量測工序的智能抽樣方法，包括：步驟01：設(shè)定量測機(jī)臺的制品堆積數(shù)量的最大堆積數(shù)量；步驟02：當(dāng)量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量超過最大堆積數(shù)量時，開始選擇可跳站的制品，直至量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量低于最大堆積數(shù)量；步驟03：針對同一種類的量測機(jī)臺，設(shè)定所選擇的可跳站的制品的優(yōu)先級，按照優(yōu)先級，從所選擇的可跳站的制品中選擇最終的跳站的制品。優(yōu)選地，步驟01中還包括設(shè)定量測機(jī)臺的制品堆積數(shù)量的最低堆積數(shù)量，步驟02中，開始選擇可跳站的制品直至量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量低于最大堆積數(shù)量且高于或等于最低堆積數(shù)量。優(yōu)選地，開始選擇可跳站的制品直至量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量超出所述最低堆積數(shù)量的值不大于所述最低堆積數(shù)量的30％。優(yōu)選地，步驟03中，還包括：按照優(yōu)先級，從所選擇的可跳站的制品所設(shè)定的編號中選擇奇數(shù)的編號來作為最終的跳站的制品。優(yōu)選地，步驟03中，還包括：按照優(yōu)先級，從所選擇的可跳站的制品所設(shè)定的編號中選擇偶數(shù)的編號來作為最終的跳站的制品為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明還提供了一種上述的量測工序的智能抽樣方法所采用的系統(tǒng)，其包括：存儲模塊，用于存儲設(shè)定量測機(jī)臺的制品堆積數(shù)量的最大堆積數(shù)量；判斷模塊，用于判斷量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量是否超過最大堆積數(shù)量；并且判斷量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量是否低于最大堆積數(shù)量；選擇模塊，用于當(dāng)量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量超過最大堆積數(shù)量時，開始選擇可跳站的制品，直至量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量低于最大堆積數(shù)量；并且，針對同一種類的量測機(jī)臺，按照所設(shè)定的可跳站的制品的優(yōu)先級，從所選擇的可跳站的制品中選擇最終的跳站的制品。優(yōu)選地，所述存儲模塊還用于存儲所設(shè)定的量測機(jī)臺的制品堆積數(shù)量的最低堆積數(shù)量；所述判斷模塊還用于判斷量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量是否低于最大堆積數(shù)量且高于或等于最低堆積數(shù)量；當(dāng)直至量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量低于最大堆積數(shù)量且高于或等于最低堆積數(shù)量時，所述選擇模塊停止選擇可跳站的制品。優(yōu)選地，所述判斷模塊還用于判斷量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量超出所述最低堆積數(shù)量的值是否不大于所述最低堆積數(shù)量的30％，當(dāng)量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量超出所述最低堆積數(shù)量的值不大于所述最低堆積數(shù)量的30％時，所述選擇模塊停止選擇可跳站的制品。優(yōu)選地，還包括編號模塊，對可跳站的制品進(jìn)行編號，所述選擇模塊按照優(yōu)先級，從所選擇的可跳站的制品所設(shè)定的編號中選擇奇數(shù)的編號來作為最終的跳站的制品。優(yōu)選地，還包括編號模塊，對可跳站的制品進(jìn)行編號，所述選擇模塊按照優(yōu)先級，從所選擇的可跳站的制品所設(shè)定的編號中選擇偶數(shù)的編號來作為最終的跳站的制品。本發(fā)明的量測工序的智能抽樣方法及系統(tǒng)，對跳站的制品進(jìn)行了控制，通過設(shè)置最大堆積數(shù)量，進(jìn)一步設(shè)定了最低堆積數(shù)量，來自動選擇跳站的制品，并且針對同一種類的機(jī)臺設(shè)定了選擇跳站的制品的優(yōu)先級，使得對跳站制品的選擇變得更加智能化，節(jié)約了人力和成本，提高了生產(chǎn)周期。附圖說明圖1為本發(fā)明的一個較佳實施例的量測工序的智能抽樣方法的流程示意圖圖2為本發(fā)明的一個較佳實施例的量測工序的智能抽樣系統(tǒng)的路程示意圖具體實施方式為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步說明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。以下結(jié)合附圖1-2和具體實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式、使用非精準(zhǔn)的比例，且僅用以方便、清晰地達(dá)到輔助說明本實施例的目的。本實施例的量測工序的智能抽樣方法，請參閱圖1，包括：步驟01：設(shè)定量測機(jī)臺的制品堆積數(shù)量的最大堆積數(shù)量；具體的，量測機(jī)臺有很多種，比如檢測外觀形貌的量測機(jī)臺、用于檢測結(jié)構(gòu)缺陷的量測機(jī)臺等，針對不同的測量機(jī)臺可以分別設(shè)定每種量測機(jī)臺的制品堆積數(shù)量的最大堆積數(shù)量，還可以設(shè)定每種量測機(jī)臺的制品堆積數(shù)量的最低堆積數(shù)量；步驟02：當(dāng)量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量超過最大堆積數(shù)量時，開始選擇可跳站的制品，直至量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量低于最大堆積數(shù)量；具體的，這里開始選擇可跳站的制品直至量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量低于最大堆積數(shù)量且高于或等于最低堆積數(shù)量，例如，針對某種量測機(jī)臺，設(shè)定該種量測機(jī)臺的最大堆積數(shù)量為500，設(shè)定該種量測機(jī)臺的最小堆積數(shù)量為200，當(dāng)量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量超過500時，開始選擇可跳站的制品，從而減小堆積數(shù)量，提高量測效率；當(dāng)選擇可跳站的制品至量測機(jī)臺中剩余制品堆積數(shù)量低于500且大于或等于200時，也即是接近200時，則停止選擇可跳站的制品的工序。較佳的，開始選擇可跳站的制品直至量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量超出所述最低堆積數(shù)量的值不大于所述最低堆積數(shù)量的30％。步驟03：針對同一種類的量測機(jī)臺，設(shè)定所選擇的可跳站的制品的優(yōu)先級，按照優(yōu)先級，從所選擇的可跳站的制品中選擇最終的跳站的制品。具體的，對于某種量測機(jī)臺，設(shè)定該種量測機(jī)臺的堆積制品的優(yōu)先跳站等級，從而使對跳站的制品的選擇更加有序；通常，可跳站的制品的優(yōu)先級可以根據(jù)經(jīng)驗來設(shè)定，可以選擇工藝可靠概率大的制品為優(yōu)先跳站的制品，例如，對于外觀形貌的量測機(jī)臺，優(yōu)先跳站的級別先后為：有源區(qū)光刻外觀檢測的工序優(yōu)先于多晶硅光刻外觀檢測的工序。優(yōu)先級可以用阿拉伯?dāng)?shù)字編號，并且對制品進(jìn)行編號；例如，針對有源區(qū)光刻外觀檢測的工序所對應(yīng)批次的所選擇的可跳站的制品中，選擇奇數(shù)的編號來作為最終的跳站的制品或選擇偶數(shù)的編號來作為最終的跳站的制品；如表一所示，為制品優(yōu)先跳站配置表：表一制品名機(jī)臺名工序名可跳站制品尾號等級A外觀量測機(jī)臺有源區(qū)光刻外觀檢測1,3,5,7,91B外觀量測機(jī)臺多晶硅光刻外觀檢測1,3,5,7,92本實施例中，上述量測工序的智能抽樣方法所采用的系統(tǒng)，請參閱圖2，包括：存儲模塊，用于存儲設(shè)定量測機(jī)臺的制品堆積數(shù)量的最大堆積數(shù)量；判斷模塊，用于判斷量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量是否超過最大堆積數(shù)量；并且判斷量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量是否低于最大堆積數(shù)量；選擇模塊，用于當(dāng)量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量超過最大堆積數(shù)量時，開始選擇可跳站的制品，直至量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量低于最大堆積數(shù)量；并且，針對同一種類的量測機(jī)臺，按照所設(shè)定的可跳站的制品的優(yōu)先級，從所選擇的可跳站的制品中選擇最終的跳站的制品。本實施例中，存儲模塊還用于存儲所設(shè)定的量測機(jī)臺的制品堆積數(shù)量的最低堆積數(shù)量；判斷模塊還用于判斷量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量是否低于最大堆積數(shù)量且高于或等于最低堆積數(shù)量；當(dāng)直至量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量低于最大堆積數(shù)量且高于或等于最低堆積數(shù)量時，選擇模塊停止選擇可跳站的制品。較佳的，判斷模塊還用于判斷量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量超出最低堆積數(shù)量的值是否不大于最低堆積數(shù)量的30％，當(dāng)量測機(jī)臺中制品堆積數(shù)量超出最低堆積數(shù)量的值不大于最低堆積數(shù)量的30％時，選擇模塊停止選擇可跳站的制品。本實施例的系統(tǒng)還包括編號模塊，對可跳站的制品進(jìn)行編號，選擇模塊按照優(yōu)先級，從所選擇的可跳站的制品所設(shè)定的編號中選擇奇數(shù)的編號來作為最終的跳站的制品；或者選擇偶數(shù)的編號來作為最終的跳站的制品。本實施例的智能抽樣系統(tǒng)可以整合于自動派貨系統(tǒng)中，自動派貨系統(tǒng)采用本實施例的智能抽樣系統(tǒng)定期掃描符合跳站規(guī)則的量測機(jī)臺和制品，實時進(jìn)行調(diào)整抽樣。雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭示如上，然所述實施例僅為了便于說明而舉例而已，并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下可作若干的更動與潤飾，本發(fā)明所主張的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求書所述為準(zhǔn)。當(dāng)前第1頁1 2 3