技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種氧化物薄膜及其制備方法、薄膜晶體管及其制備方法。根據(jù)本發(fā)明氧化物薄膜的制備方法包括：涂布前烘成膜步驟：將含有化學(xué)活性組分的有機(jī)溶液進(jìn)行涂布和前烘形成薄膜，其中，化學(xué)活性組分中包括重氮萘醌感光樹(shù)脂；掩膜曝光步驟：在薄膜上進(jìn)行掩膜，未掩膜的薄膜在曝光后用堿性溶液除去；氧化物薄膜形成步驟：將掩膜部分經(jīng)高能紫外線照射和臭氧處理后，經(jīng)燒結(jié)固化形成氧化物薄膜。根據(jù)本發(fā)明制備方法得到的氧化物薄膜。根據(jù)本發(fā)明薄膜晶體管的制備方法包括根據(jù)本發(fā)明的氧化物薄膜的制備步驟。本發(fā)明的薄膜晶體管包括根據(jù)本發(fā)明制備方法得到的氧化物薄膜。

技術(shù)研發(fā)人員：汪建國(guó)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：京東方科技集團(tuán)股份有限公司
文檔號(hào)碼：201610581647
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.21
技術(shù)公布日：2016.11.23