技術(shù)特征：

1.一種基于低壓擴散爐的超低濃度POCl₃高溫擴散方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)進舟：將制絨后的硅片的送入擴散爐，待擴散爐升溫至700～800℃后，通入氧氣和大氮進行預氧化，預氧化時間控制在5～20min；

(2)磷沉積：調(diào)整擴散爐內(nèi)溫度為700～800℃，在低壓條件下通入攜帶磷源的小氮、大氮和氧氣進行沉積，時間為8～20min；

(3)升溫推結(jié)：在低壓條件下，分別在溫度800～840℃和溫度840～860℃各進行一次推結(jié)，攜帶大氮，時間為10～20min；

(4)降溫氧化：降溫至700～800℃，通入大氮和氧氣進行氧化，時間為8～20min；

(5)出舟：停止升溫，降溫后出舟。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于低壓擴散爐的超低濃度POCl₃高溫擴散方法，其特征在于，步驟(1)中，氧氣的流量為200～1000sccm，大氮的流量為800～2000sccm，爐內(nèi)壓力為50～100mbar。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于低壓擴散爐的超低濃度POCl₃高溫擴散方法，其特征在于，步驟(2)中，低壓條件下為壓力50～100mbar，POCl₃流量20～100sccm，小氮的流量為50～100sccm，大氮的流量為500～1000sccm，氧氣的流量為100～500sccm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于低壓擴散爐的超低濃度POCl₃高溫擴散方法，其特征在于，步驟(3)中，低壓條件下為壓力1bar，大氮的流量為5000～10000sccm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于低壓擴散爐的超低濃度POCl₃高溫擴散方法，其特征在于，步驟(4)中大氮的流量為5000～10000sccm，氧氣的流量為500～5000sccm。