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一種基于粗化外延片的LED芯片的電極色差改善方法與流程

文檔序號(hào):11956302閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種基于粗化外延片的LED芯片的電極色差改善方法,其特征在于:包括如下步驟:

S1,提供一粗化GaN外延片,該GaN外延片包括:藍(lán)寶石襯底,依次層疊設(shè)置在該藍(lán)寶石襯底上的N型層、發(fā)光層及粗化P型層;

S2,在部分粗化P型層表面蝕刻至裸露出N型層;

S3,在粗化P型層與裸露出的N型層的表面制備金屬保護(hù)層,并分別在粗化P型層與N型層上裸露出供后續(xù)制備電極的讓位區(qū)域;

S4,置于堿性蝕刻液中進(jìn)行蝕刻,將S3中裸露在金屬保護(hù)層外的讓位區(qū)域的GaN表面蝕刻至平整;

S5,去除金屬保護(hù)層;

S6,制備透明導(dǎo)電層及P、N電極,且P、N電極分別對(duì)應(yīng)設(shè)置在讓位區(qū)域的位置上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于粗化外延片的LED芯片的電極色差改善方法,其特征在于:所述步驟S2中,在部分粗化P型層表面蝕刻至裸露出N型層,其蝕刻方式為ICP干蝕刻。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于粗化外延片的LED芯片的電極色差改善方法,其特征在于:所述步驟S3中,具體包括如下步驟:

S3-1,分別在P型層與N型層上后續(xù)制備P、N電極的區(qū)域制備一光阻掩膜層,

S3-2,在粗化P型層、N型層及光阻掩膜層的表面制備金屬保護(hù)層,

S3-3,去除光阻掩膜層及在該光阻掩膜層表面的金屬保護(hù)層,即得到裸露的讓位區(qū)域。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于粗化外延片的LED芯片的電極色差改善方法,其特征在于:所述光阻掩膜層不做烘烤硬化處理。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于粗化外延片的LED芯片的電極色差改善方法,其特征在于:所述金屬保護(hù)層的厚度小于光阻掩膜層厚度的三分之一。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的基于粗化外延片的LED芯片的電極色差改善方法,其特征在于:所述金屬保護(hù)層為層疊的鉻層與鎳層,所述鉻層連接在GaN表面與鎳層之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基于粗化外延片的LED芯片的電極色差改善方法,其特征在于:所述步驟S5中,去除金屬保護(hù)層的具體方式為將其置于鉻蝕刻液中進(jìn)行蝕刻。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于粗化外延片的LED芯片的電極色差改善方法,其特征在于:所述步驟S4中,堿性蝕刻液為5-20mol/L的KOH溶液,其蝕刻溫度為90-120℃,蝕刻時(shí)間50-100分鐘。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于粗化外延片的LED芯片的電極色差改善方法,其特征在于:所述步驟S4中,蝕刻深度小于1μm。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于粗化外延片的LED芯片的電極色差改善方法,其特征在于:所述讓位區(qū)域的直徑比所對(duì)應(yīng)電極的直徑大1-5μm。

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