技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種激光晶化方法，用于晶化半導(dǎo)體薄膜，包括步驟：預(yù)晶化薄膜，第一激光束以預(yù)設(shè)的間歇順序掃描薄膜；再晶化薄膜，第二激光束連續(xù)掃描第一激光束掃描過(guò)的薄膜，其中第二激光束的掃描方向與第一激光束的掃描方向相同。本發(fā)明還涉及一種激光晶化裝置，包括激光器、光學(xué)系統(tǒng)和吸光板；激光器用于發(fā)出初始激光束；光學(xué)系統(tǒng)用于將初始激光束分為第一激光束和第二激光束，第一激光束順序掃描薄膜，第二激光束連續(xù)掃描第一激光束掃描過(guò)的薄膜；吸光板設(shè)置于第一激光束照射至薄膜的光路上，吸光板能夠以預(yù)設(shè)的間歇吸收第一激光束。上述激光晶化方法及裝置，通過(guò)預(yù)晶化薄膜和再晶化薄膜兩個(gè)步驟，晶化效果較好。

技術(shù)研發(fā)人員：趙雁飛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：昆山國(guó)顯光電有限公司
文檔號(hào)碼：201610686001
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.18
技術(shù)公布日：2017.01.04