本發(fā)明涉及一種顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種柔性背板及其制作方法、顯示裝置。

背景技術(shù)：

柔性顯示裝置是一種基于柔性基底材料形成的顯示裝置。由于柔性顯示裝置具有可卷曲、寬視角、便于攜帶等特點(diǎn)，因此，在便攜產(chǎn)品、多數(shù)顯示應(yīng)用領(lǐng)域，柔性顯示裝置具有廣闊的應(yīng)用前景以及良好的市場潛力。

現(xiàn)有技術(shù)中的柔性顯示裝置的柔性背板通常采用大量采用了SiNX，SiO2，Si，IGZO，Al2O3等無機(jī)膜層的堆疊結(jié)構(gòu)，因此在工藝中和產(chǎn)品中會存在以下問題：一是，各無機(jī)膜層之間薄膜應(yīng)力種類(收縮應(yīng)力或拉伸應(yīng)力)及大小的差異可能會導(dǎo)致膜層的脫落和基板的翹曲現(xiàn)象，從而影響柔性背板制程的穩(wěn)定性；二是，制作的柔性顯示裝置由于無機(jī)膜層堆疊較厚，在經(jīng)受較大彎曲應(yīng)力或反復(fù)彎折后，會逐漸產(chǎn)生裂紋并不斷拓展，進(jìn)而破壞陣列器件結(jié)構(gòu)或成為水氧滲透的途徑，從而使顯示器件失效，導(dǎo)致柔性顯示裝置的可靠性較差。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種柔性背板的制作方法，以提高柔性背板的可靠性。

本發(fā)明的另一目的在于提供一種利用上述制作方法制成的柔性背板及柔性顯示裝置。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實(shí)施方式提供如下技術(shù)方案：

本發(fā)明提供一種柔性背板的制作方法，包括如下步驟：

在柔性背板的板體上依次形成柔性襯底、阻隔層和緩沖層、有源層、柵極絕緣層、層間絕緣層；其中，所述柵極絕緣層及層間絕緣層為第一無機(jī)層；

在所述層間絕緣層上涂布光阻，通過曝光、顯影及蝕刻同時形成源/漏過孔及第一組斷線溝道；所述第一組斷線溝道包括多條第一斷線溝道，且每條第一斷線溝道均貫穿所述層間絕緣層及柵極絕緣層，所述多條第一斷線溝道均未與所述源/漏過孔連通；形成源/漏過孔的時間與形成第一組斷線溝道的時間相同；

在具有第一組斷線溝道和源/漏過孔的層間絕緣層上形成鈍化層；其中，所述鈍化層為第二無機(jī)層；

在所述鈍化層上通過涂布光阻，曝光、顯影及蝕刻形成部分像素陽極過孔；

在所述第二無機(jī)層上形成有機(jī)發(fā)光層和封裝層，從而形成柔性背板。

其中，在所述鈍化層上通過涂布光阻，曝光、顯影及蝕刻形成部分像素陽極過孔的同時還形成了第二組斷線溝道，所述第二組斷線溝道包括多條第二斷線溝道，且每條第二斷線溝道均貫穿所述鈍化層，所述多條第二斷線溝道均未與所述部分像素陽極過孔連通；形成部分像素陽極過孔的時間與形成第二組斷線溝道的時間相同。

其中，所述第一組斷線溝道中的第一斷線溝道與相應(yīng)位置的第二斷線溝道連通。

其中，所述第一及第二組斷線溝道中的每一斷線溝道在所述基板上的投影均為長形。

本發(fā)明提供一種柔性背板的制作方法，包括如下步驟：

在柔性背板的板體上依次形成柔性襯底、阻隔層和緩沖層、有源層、柵極絕緣層、層間絕緣層及鈍化層；其中，所述柵極絕緣層及層間絕緣層為第一無機(jī)層，所述鈍化層為第二無機(jī)層；

在所述鈍化層上通過涂布光阻，曝光、顯影及蝕刻同時形成部分陽極過孔及第二組斷線溝道，所述第二組斷線溝道包括多條第二斷線溝道，且每條第二斷線溝道均貫穿所述鈍化層，所述多條第二斷線溝道均未與部分像素陽極過孔連通；形成部分像素陽極過孔的時間與形成第二組斷線溝道的時間相同；

在形成有部分像素陽極過孔及第二組斷線溝道的鈍化層上形成有機(jī)發(fā)光層和封裝層，從而形成柔性顯示裝置。

其中，在形成鈍化層之前還包括：

在所述層間絕緣層上涂布光阻，通過曝光、顯影及蝕刻同時形成源/漏過孔及第一組斷線溝道；所述第一組斷線溝道包括多條第一斷線溝道，且每條第一斷線溝道均貫穿所述層間絕緣層及柵極絕緣層，所述多條第一斷線溝道均未與源/漏過孔連通；形成源/漏過孔的時間與形成第一組斷線溝道的時間相同。

本發(fā)明提供一種柔性背板，包括依次層疊設(shè)置的柔性襯底、阻隔層和緩沖層、有源層、柵極絕緣層、層間絕緣層、鈍化層及有機(jī)發(fā)光層和封裝層，所述柵極絕緣層及層間絕緣層為第一無機(jī)層，所述鈍化層為第二無機(jī)層，其中，所述第一及第二無機(jī)層中至少一個具有一組斷線溝道，該組斷線溝道包括多條斷線溝道，且每條斷線溝道均貫穿相應(yīng)的無機(jī)層，所述多條斷線溝道均未與相應(yīng)無機(jī)層的金屬過孔連通；其中，形成金屬過孔的時間與形成該組斷線溝道的時間相同。

其中，當(dāng)所述第一無機(jī)層具有該組斷線溝道時，該組斷線溝道為第一組斷線溝道，相應(yīng)的金屬過孔為源/漏過孔，當(dāng)所述第二無機(jī)層具有該組斷線溝道，該組斷線溝道為第二組斷線溝道，相應(yīng)的金屬過孔為部分像素陽極過孔。

其中，每一斷線溝道在所述基板上的投影為長形。

本發(fā)明提供一種柔性顯示裝置，包括上述的柔性背板。

本發(fā)明實(shí)施例具有如下優(yōu)點(diǎn)或有益效果：

本發(fā)明的柔性背板的制作方法中，所述柵極絕緣層及層間絕緣層為第一無機(jī)層。在所述層間絕緣層上涂布光阻，通過曝光、顯影及蝕刻同時形成源/漏過孔及第一組斷線溝道。所述第一組斷線溝道包括多條第一斷線溝道，且每條第一斷線溝道均貫穿所述層間絕緣層及柵極絕緣層。所述多條第一斷線溝道均未與所述源/漏過孔連通；形成源/漏過孔的時間與形成第一組斷線溝道的時間相同。由于所述柔性背板具有第一組斷線溝道，因此，在所述柔性背板的過程中，所述第一無機(jī)層的應(yīng)力在所述每一條第一斷線溝道處釋放，降低了所述柔性背板的各個層之間由于應(yīng)力差引起的膜層脫落。另外，所述柔性背板的彎曲主要發(fā)生在第一斷線溝道處，降低了裂紋產(chǎn)生和拓展的風(fēng)險，提高了柔性效果和使用壽命。其中，所述第一斷線溝道與所述源/漏過孔同時形成，且形成源/漏過孔的時間與形成第一斷線溝道的時間相同，即所述第一斷線溝道與所述源/漏過孔的蝕刻速率相同，這樣可以完全蝕刻完所述層間絕緣層及柵極絕緣層且剛好蝕刻到所述阻隔層和緩沖層的頂部停止，不會損傷阻隔層和緩沖層及下方的柔性襯底。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發(fā)明第一方案第一實(shí)施例提供的一種柔性背板的制作方法的流程圖。

圖2-圖6是本發(fā)明柔性背板制作方法的步驟的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7是本發(fā)明第一方案第二實(shí)施例提供的一種柔性背板的制作方法的流程圖。

圖8是本發(fā)明第二方案第一實(shí)施例提供的一種柔性背板的制作方法的流程圖。

圖9是通過柔性背板的制作方法制成的柔性背板的示意圖。

圖10是本發(fā)明第二方案第二實(shí)施例提供的一種柔性背板的制作方法的流程圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

此外，以下各實(shí)施例的說明是參考附加的圖示，用以例示本發(fā)明可用以實(shí)施的特定實(shí)施例。本發(fā)明中所提到的方向用語，例如，“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“內(nèi)”、“外”、“側(cè)面”等，僅是參考附加圖式的方向，因此，使用的方向用語是為了更好、更清楚地說明及理解本發(fā)明，而不是指示或暗指所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。

在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸地連接，或者一體地連接；可以是機(jī)械連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。

此外，在本發(fā)明的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。若本說明書中出現(xiàn)“工序”的用語，其不僅是指獨(dú)立的工序，在與其它工序無法明確區(qū)別時，只要能實(shí)現(xiàn)該工序所預(yù)期的作用則也包括在本用語中。另外，本說明書中用“～”表示的數(shù)值范圍是指將“～”前后記載的數(shù)值分別作為最小值及最大值包括在內(nèi)的范圍。在附圖中，結(jié)構(gòu)相似或相同的用相同的標(biāo)號表示。

請參閱圖1，本發(fā)明第一方案第一實(shí)施例提供的一種柔性背板的制作方法，包括如下步驟：

S101：在柔性背板的板體上依次形成柔性襯底100、阻隔層200和緩沖層300、有源層400、柵極絕緣層500、層間絕緣層600(參見圖2)；其中，所述柵極絕緣層500及層間絕緣層600為第一無機(jī)層。

需要說明的是，所述板體可以為透明的玻璃板體。所述柔性襯底100、所述阻隔層200、緩沖層300、所述有源層400、所述柵極絕緣層500及所述層間絕緣層600依次層疊設(shè)置于所述板體上。所述阻隔層200和緩沖層300的材料可以是無機(jī)材料如SiO_x，SiN_x等，可以通過化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積、旋涂法等方法在所述柔性襯底100上沉積所述阻隔層200和緩沖層300。所述柵極絕緣層500及層間絕緣層600通常使用氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等材料。

S102：在所述層間絕緣層600上涂布光阻，通過曝光、顯影及蝕刻同時形成源/漏過孔602及第一組斷線溝道(參見圖3)。所述第一組斷線溝道包括多條第一斷線溝道601，且每條第一斷線溝道601均貫穿所述層間絕緣層600及柵極絕緣層500。所述多條第一斷線溝道601均未與所述源/漏過孔602連通；形成源/漏過孔602的時間與形成第一組斷線溝道的時間相同。

需要說明的是，所述第一斷線溝道601與所述源/漏過孔602同時形成，且形成源/漏過孔602的時間與形成第一組斷線溝道的時間相同，即所述第一斷線溝道601與所述源/漏過孔602的蝕刻速率相同，這樣可以完全蝕刻完所述層間絕緣層600及柵極絕緣層500且剛好蝕刻到所述阻隔層和緩沖層300的頂部停止，不會損傷阻隔層200和緩沖層300及下方的柔性襯底100。

S103：在具有第一組斷線溝道和源/漏過孔的層間絕緣層上形成鈍化層700(參閱圖4)；其中，所述鈍化層700為第二無機(jī)層。

S104：在所述鈍化層700上通過涂布光阻，曝光、顯影及蝕刻形成部分像素陽極過孔702(參見圖5)。

S105：在所述第二無機(jī)層上形成有機(jī)發(fā)光層和封裝層(參見圖6)，從而形成柔性顯示裝置。

需要說明的是，所述有機(jī)發(fā)光層包括有機(jī)平坦層800及像素定義層900。所述像素陽極過孔702存在于所述鈍化層700及所述有機(jī)平坦層800，故存在于所述鈍化層700內(nèi)像素陽極過孔702為部分像素陽極過孔。

在本實(shí)施例中，所述柔性背板的制作方法包括在柔性背板上依次形成柔性襯底100、阻隔層200和緩沖層300、有源層400、柵極絕緣層500、層間絕緣層600；其中，所述柵極絕緣層500及層間絕緣層600為第一無機(jī)層。在所述層間絕緣層600上涂布光阻，通過曝光、顯影及蝕刻同時形成源/漏過孔602及第一組斷線溝道。所述第一組斷線溝道包括多條第一斷線溝道601，且每條第一斷線溝道601均貫穿所述層間絕緣層600及柵極絕緣層500。所述多條第一斷線溝道601均未與所述源/漏過孔602連通；形成源/漏過孔602的時間與形成第一組斷線溝道的時間相同。由于所述柔性背板具有第一組斷線溝道，因此，在所述柔性背板的過程中，所述第一無機(jī)層的應(yīng)力在所述每一條第一斷線溝道601處釋放，降低了所述柔性背板的各個層之間由于應(yīng)力差引起的膜層脫落。另外，所述柔性背板的彎曲主要發(fā)生在第一斷線溝道601處，降低了裂紋產(chǎn)生和拓展的風(fēng)險，提高了柔性效果和使用壽命。

其中，所述第一斷線溝道601與所述源/漏過孔602同時形成，且形成源/漏過孔602的時間與形成第一斷線溝道601的時間相同，即所述第一斷線溝道601與所述源/漏過孔602的蝕刻速率相同，這樣可以完全蝕刻完所述層間絕緣層600及柵極絕緣層500且剛好蝕刻到所述阻隔層和緩沖層300的頂部停止，不會損傷阻隔層和緩沖層300及下方的柔性襯底100。

請參閱圖7，本發(fā)明第一方案第二實(shí)施例提供一種柔性背板的制作方法。所述第二實(shí)施例提供的柔性背板的制作方法與所述第一實(shí)施例提供的柔性背板的制作方法相似，兩者的區(qū)別在于步驟1041。所述步驟1041為：在所述鈍化層700上通過涂布光阻，曝光、顯影及蝕刻形成部分像素陽極過孔702的同時還形成了第二組斷線溝道。所述第二組斷線溝道包括多條第二斷線溝道701，且每條第二斷線溝道701均貫穿所述鈍化層700，所述多條第二斷線溝道702均未與所述部分像素陽極過孔702連通。形成部分像素陽極過孔702的時間與形成第二組斷線溝道701的時間相同。

需要說明的是，所述第二斷線溝道701與所述部分像素陽極過孔702同時形成，且形成部分像素陽極過孔702的時間與形成第二斷線溝道702的時間相同，即所述第二斷線溝道701與所述部分像素陽極過孔702的蝕刻速率相同，這樣可以完全蝕刻完所述鈍化層700且剛好蝕刻到所述層間絕緣層600的頂部停止，不會損傷層間絕緣層600及下方各層。

在本實(shí)施例中，所述第一斷線溝道601中的與相應(yīng)的第二斷線溝道701連通。在其他實(shí)施例中，所述第一斷線溝道601中的與相應(yīng)的第二斷線溝道701也可以交錯。

在本實(shí)施例中，所述第一及第二斷線溝道601及701在所述基板上的投影均為長形。在其他實(shí)施例中，所述第一及第二斷線溝道601及701在所述基板上的投影也可以根據(jù)需要為其他形狀，如圓形。

在本實(shí)施例中，所述柔性背板的制作方法制作的柔性背板不僅在第一無機(jī)層具有第一斷線溝道601，還在所述第二無機(jī)層具有第二斷線溝道701。因此，在所述柔性背板的過程中，不但所述第一無機(jī)層的應(yīng)力在所述每一條第一斷線溝道601處釋放，所述第二無機(jī)層的應(yīng)力還在每一條第二斷線溝道701處釋放，更加降低了所述柔性背板的各個層之間由于應(yīng)力差引起的膜層脫落。另外，所述柔性背板的彎曲主要發(fā)生在第一及第二斷線溝道601及701處，大大降低了裂紋產(chǎn)生和拓展的風(fēng)險，更加提高了柔性效果和使用壽命。

請參閱圖8，本發(fā)明第二方案第一實(shí)施例提供一種柔性背板的制作方法，包括如下步驟：

S201：在柔性背板的板體上依次形成柔性襯底100、阻隔層200和緩沖層300、有源層400、柵極絕緣層500、層間絕緣層600及鈍化層700。其中，所述柵極絕緣層400及層間絕緣層500為第一無機(jī)層，所述鈍化層700為第二無機(jī)層。

需要說明的是，所述板體可以為透明的玻璃板體。所述柔性襯底100、所述阻隔層200和緩沖層300、所述有源層400、所述柵極絕緣層500及所述層間絕緣層600依次層疊設(shè)置于所述板體上。所述阻隔層200和緩沖層300可以是SiOx，SiNx等單層或多層無機(jī)絕緣材料的疊層結(jié)構(gòu)，可以通過化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積、旋涂法等方法在所述柔性襯底100上沉積所述阻隔層200和緩沖層300。所述柵極絕緣層500及層間絕緣層600通常使用氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等材料。

步驟202：在所述鈍化層700上通過涂布光阻，曝光、顯影及蝕刻同時形成部分陽極過孔702及第二組斷線溝道。所述第二組斷線溝道包括多條第二斷線溝道701，且每條第二斷線溝道701均貫穿所述鈍化層700，所述多條第二斷線溝道701均未與部分像素陽極過孔702連通；形成部分像素陽極過孔702的時間與形成第二斷線溝道701的時間相同。

需要說明的是，所述第二斷線溝道701與所述部分像素陽極過孔702同時形成，且形成部分像素陽極過孔702的時間與形成第二斷線溝道702的時間相同，即所述第二斷線溝道701與所述部分像素陽極過孔702的蝕刻速率相同，這樣可以完全蝕刻完所述鈍化層700且剛好蝕刻到所述層間絕緣層600的頂部停止，不會損傷層間絕緣層600及下方各層。

步驟203：在形成有部分像素陽極過702及第二斷線溝道701的鈍化層700上形成有機(jī)發(fā)光層和封裝層，從而形成柔性背板(參閱圖9)。

需要說明的是，所述有機(jī)發(fā)光層和封裝層包括有機(jī)平坦層800及像素定義層900。所述像素陽極過孔702存在于所述鈍化層700及所述有機(jī)平坦層800，故存在于所述鈍化層700內(nèi)像素陽極過孔702為部分像素陽極過孔。

在本實(shí)施例中，所述柔性背板的制作方法制成的柔性背板的所述第二無機(jī)層具有第二斷線溝道701。因此，在所述柔性背板的過程中，所述第二無機(jī)層的應(yīng)力在每一條第二斷線溝道701處釋放，降低了所述柔性背板的各個層之間由于應(yīng)力差引起的膜層脫落。另外，所述柔性背板的彎曲主要發(fā)生在第二斷線溝道701處，降低了裂紋產(chǎn)生和拓展的風(fēng)險，提高了柔性效果和使用壽命。

其中，所述第二斷線溝道701與所述部分像素陽極過孔702同時形成，且形成部分像素陽極過孔702的時間與形成第二斷線溝道702的時間相同，即所述第二斷線溝道701與所述部分像素陽極過孔702的蝕刻速率相同，這樣可以完全蝕刻完所述鈍化層700且剛好蝕刻到所述層間絕緣層600的頂部停止，不會損傷層間絕緣層600及下方各層。

請參閱圖10，本發(fā)明第二方案的第二實(shí)施例提供一種柔性背板的制作方法。所述第二實(shí)施例提供的柔性背板的制作方法與所述第一實(shí)施例提供的柔性背板的制作方法相似，兩者的區(qū)別在于：在形成鈍化層之前還包括如下步驟：

步驟2011：在所述層間絕緣600上涂布光阻，通過曝光、顯影及蝕刻同時形成源/漏過孔602及第一組斷線溝道；所述第一組斷線溝道包括多條第一斷線溝道601，且每條第一斷線溝道601均貫穿所述層間絕緣層500及柵極絕緣層600，所述多條第一斷線溝道601均未與源/漏過孔602連通。形成源/漏過孔602的時間與形成第一斷線溝道601的時間相同。

需要說明的是，所述第一斷線溝道601與所述源/漏過孔602同時形成，且形成源/漏過孔602的時間與形成第一斷線溝道601的時間相同，即所述第一斷線溝道601與所述源/漏過孔602的蝕刻速率相同，這樣可以完全蝕刻完所述層間絕緣層600及柵極絕緣層500且剛好蝕刻到所述阻隔層和緩沖層300的頂部停止，不會損傷阻隔層和緩沖層300及下方的柔性襯底100。

步驟S2012：在具有第一組斷線溝道和源/漏過孔的層間絕緣層上形成鈍化層700；其中，所述鈍化層700為第二無機(jī)層。

在本實(shí)施例中，所述柔性背板的制作方法制作的柔性背板不僅在第二無機(jī)層具有第二斷線溝道701，還在所述第一無機(jī)層具有第一斷線溝道601。因此，在所述柔性背板的過程中，不但所述第二無機(jī)層的應(yīng)力在所述每一條第二斷線溝道701處釋放，所述第一無機(jī)層的應(yīng)力還在每一條第一斷線溝道601處釋放，更加降低了所述柔性背板的各個層之間由于應(yīng)力差引起的膜層脫落。另外，所述柔性背板的彎曲主要發(fā)生在第一及第二斷線溝道601及701處，大大降低了裂紋產(chǎn)生和拓展的風(fēng)險，更加提高了柔性效果和使用壽命。

請參閱圖6，本發(fā)明第三方案實(shí)施例提供一種柔性背板7。所述柔性背板7包括依次層疊設(shè)置的柔性襯底100、阻隔層200和緩沖層300、有源層400、柵極絕緣層500、層間絕緣層600、鈍化層700及有機(jī)發(fā)光層和封裝層。所述柵極絕緣層500及層間絕緣層600為第一無機(jī)層。所述鈍化層700為第二無機(jī)層，其中，所述第一及第二無機(jī)層中至少一個具有一組斷線溝道，該組斷線溝道包括多條斷線溝道，且每條斷線溝道均貫穿相應(yīng)的無機(jī)層，所述多條斷線溝道均未與相應(yīng)無機(jī)層的金屬過孔連通。其中，形成金屬過孔的時間與形成該組斷線溝道的時間相同。

需要說明的是，所述柔性背板還包括板體(未示出)。所述板體可以為透明的玻璃板體。所述柔性襯底100、所述阻隔層200和緩沖層300、所述有源層400、所述柵極絕緣層500及所述層間絕緣層600依次層疊設(shè)置于所述板體上。其中，所述阻隔200層和緩沖層300的材料可以是柔性高分子材料、無機(jī)材料如SiO_x，SiN_x等，可以通過物理氣相沉積、旋涂法等方法在所述柔性襯底100上沉積所述阻隔層200和緩沖層300。所述柵極絕緣層500及層間絕緣層600通常使用氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等材料。

在本實(shí)施例中，所述第一無機(jī)層具有該組斷線溝道。則該組斷線溝道為包括多條第一斷線溝道601的第一組斷線溝道，所述金屬過孔為源/漏過孔602。即為所述多條第一斷線溝道601均未與所述源/漏過孔602連通；形成源/漏過孔602的時間與形成第一組斷線溝道的時間相同。

需要說明的是，所述第一斷線溝道601與所述源/漏過孔602同時形成，且形成源/漏過孔602的時間與形成第一組斷線溝道的時間相同，即所述第一斷線溝道601與所述源/漏過孔602的蝕刻速率相同，這樣可以完全蝕刻完所述層間絕緣層600及柵極絕緣層500且剛好蝕刻到所述阻隔層和緩沖層300的頂部停止，不會損傷阻隔層和緩沖層300及下方的柔性襯底100。

在本實(shí)施例中，所述柔性背板7的所述第一無機(jī)層具有第一斷線溝道601。因此，所述第一無機(jī)層的應(yīng)力在每一條第一斷線溝道601處釋放，降低了所述柔性背板7的各個層之間由于應(yīng)力差引起的膜層脫落。另外，所述柔性背板7的彎曲主要發(fā)生在第一斷線溝道601處，降低了裂紋產(chǎn)生和拓展的風(fēng)險，提高了柔性效果和使用壽命。

進(jìn)一步地，所述第二無機(jī)層也具有斷線溝道。即為所述第二無機(jī)層具有第二組斷線溝道。

具體地，所述第二組斷線溝道包括多條第二斷線溝道701。所述金屬過孔為部分像素陽極過孔702。所述多條第二斷線溝道702均未與所述部分像素陽極過孔702連通。形成部分像素陽極過孔702的時間與形成第二組斷線溝道701的時間相同。

需要說明的是，所述第二斷線溝道701與所述部分像素陽極過孔702同時形成，且形成部分像素陽極過孔702的時間與形成第二斷線溝道702的時間相同，即所述第二斷線溝道701與所述部分像素陽極過孔702的蝕刻速率相同，這樣可以完全蝕刻完所述鈍化層700且剛好蝕刻到所述層間絕緣層600的頂部停止，不會損傷層間絕緣層600及下方各層。

在本實(shí)施例中，所述柔性背板7不僅在第一無機(jī)層具有第一斷線溝道601，還在所述第二無機(jī)層具有第二斷線溝道701。因此，不但所述第一無機(jī)層的應(yīng)力在所述每一條第一斷線溝道601處釋放，所述第二無機(jī)層的應(yīng)力還在每一條第二斷線溝道701處釋放，更加降低了所述柔性背板的各個層之間由于應(yīng)力差引起的膜層脫落。另外，所述柔性背板7的彎曲主要發(fā)生在第一及第二斷線溝道601及701處，大大降低了裂紋產(chǎn)生和拓展的風(fēng)險，更加提高了柔性效果和使用壽命。

請參閱圖9，在其他實(shí)施例中，也可以只有所述第二無機(jī)層具有該組斷線溝道。則該組斷線溝道為包括多條第二斷線溝道701的第二組斷線溝道，所述金屬過孔為部分像素陽極過孔702。即為所述多條第二斷線溝道702均未與所述部分像素陽極過孔702連通。形成部分像素陽極過孔702的時間與形成第二組斷線溝道701的時間相同。

需要說明的是，所述第二斷線溝道701與所述部分像素陽極過孔702同時形成，且形成部分像素陽極過孔702的時間與形成第二斷線溝道702的時間相同，即所述第二斷線溝道701與所述部分像素陽極過孔702的蝕刻速率相同，這樣可以完全蝕刻完所述鈍化層700且剛好蝕刻到所述層間絕緣層600的頂部停止，不會損傷層間絕緣層600及下方各層。

在本實(shí)施例中，每一斷線溝道在所述柔性背板7上的投影為長形。在其他實(shí)施例中，每一斷線溝道在所述柔性背板7上的投影可以根據(jù)實(shí)際需要為其他形狀，如圓形等。

本發(fā)明第三方案實(shí)施例提供一種柔性顯示裝置。所述柔性顯示裝置包括上述第二方案提供的柔性背板。

所述柔性顯示裝置的柔性背板可以在第一或/和第二無機(jī)層具有相應(yīng)的斷線溝道。因此，第一或/和第二無機(jī)層的應(yīng)力在相應(yīng)的斷線溝道處釋放，降低了所述柔性背板的各個層之間由于應(yīng)力差引起的膜層脫落。另外，所述柔性背板的彎曲主要發(fā)生在相應(yīng)的斷線溝道處，降低了裂紋產(chǎn)生和拓展的風(fēng)險，更加提高了柔性效果和使用壽命。

在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個實(shí)施例或示例中。在本說明書中，對上述術(shù)語的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或特點(diǎn)可以在任何的一個或多個實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。

以上所述的實(shí)施方式，并不構(gòu)成對該技術(shù)方案保護(hù)范圍的限定。任何在上述實(shí)施方式的精神和原則之內(nèi)所作的修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在該技術(shù)方案的保護(hù)范圍之內(nèi)。