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一種實現均勻光斑的高功率半導體激光系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:12475446閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種實現均勻光斑的高功率半導體激光系統(tǒng),包括半導體激光器疊陣,其特征在于:在所述半導體激光器疊陣的出光方向上傾斜設置有第一平板透鏡組件和/或第二平板透鏡組件,平板透鏡組件的厚度和傾角的設置使得:經過第一平板透鏡組件后的光束在慢軸方向上發(fā)生位移,滿足相關巴條整體的出光在慢軸方向上的排布存在錯位;經過第二平板透鏡組件后的光束在快軸方向上發(fā)生位移,滿足相關巴條整體的出光在快軸方向上更加緊湊。

2.根據權利要求1所述的實現均勻光斑的高功率半導體激光系統(tǒng),其特征在于:所述第一組平板透鏡組件對應于半導體激光器疊陣的部分巴條,所述部分巴條經過第一平板透鏡組件后的光束與其他巴條的出光在慢軸方向上的排布形成錯位。

3.根據權利要求2所述的實現均勻光斑的高功率半導體激光系統(tǒng),其特征在于:所述第一平板透鏡組件為一體件,該一體件對應于連續(xù)的若干個巴條;或者,所述第一平板透鏡組件由多個平板透鏡組成,分別一一對應于連續(xù)或者相間隔的多個巴條。

4.根據權利要求3所述的實現均勻光斑的高功率半導體激光系統(tǒng),其特征在于:所述第一平板透鏡組件由多個平板透鏡組成,對于整個半導體激光器疊陣,每隔一個巴條對應一個平板透鏡。

5.根據權利要求1所述的實現均勻光斑的高功率半導體激光系統(tǒng),其特征在于:所述第一平板透鏡組件對應于半導體激光器疊陣的全部巴條,所述第一平板透鏡組件包括規(guī)格不同的多個平板透鏡,使得全部巴條經過相應的平板透鏡后的光束均在慢軸方向上發(fā)生位移,但位移矢量存在不同。

6.根據權利要求5所述的實現均勻光斑的高功率半導體激光系統(tǒng),其特征在于:所述規(guī)格不同的多個平板透鏡,是指部分平板透鏡的傾斜方向相反,使得經過第一平板透鏡組件后的一部分光束在慢軸方向上發(fā)生正向位移,另一部分光束在慢軸方向上發(fā)生反向位移。

7.根據權利要求1至6任一所述的實現均勻光斑的高功率半導體激光系統(tǒng),其特征在于:所述第二平板透鏡組件對應于半導體激光器疊陣的全部巴條或者部分巴條;第二平板透鏡組件由多個平板透鏡組成,每一平板透鏡對應一個巴條。

8.根據權利要求7所述的實現均勻光斑的高功率半導體激光系統(tǒng),其特征在于:第二平板透鏡組件的各個平板透鏡依次遞增或遞減改變傾角和/或厚度,使經過第二平板透鏡組件后的光束向快軸方向的某一端偏移。

9.一種實現均勻光斑的高功率半導體激光系統(tǒng),包括半導體激光器疊陣,其特征在于:所述半導體激光器疊陣中的巴條存在錯位排列,使得部分巴條的發(fā)光點位置在疊陣堆疊方向上對應于其他巴條上各發(fā)光點之間的非發(fā)光區(qū)域。

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