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一種用于LED的GaN外延結(jié)構(gòu)以及制備方法與流程

文檔序號:12370530閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種用于LED的GaN外延結(jié)構(gòu),包括依次層疊的成核層、未摻雜GaN層、n型GaN層、多量子阱結(jié)構(gòu)、p型電子阻擋層及p型GaN空穴活化層,其特征在于:還包括n應(yīng)力釋放層和p應(yīng)力釋放層,所述n應(yīng)力釋放層是由In組分含量遞增漸變的InGaN/GaN超晶格層形成,所述p應(yīng)力釋放層是由In組分含量遞增漸變的InN/GaN超晶格層形成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所示的用于LED的GaN外延結(jié)構(gòu),其特征在于:未摻雜GaN層包括rough縱向生長層與u-GaN橫向生長層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所示的用于LED的GaN外延結(jié)構(gòu),其特征在于:所述n型GaN層包括低摻雜Si濃度的n-GaN層,Si摻雜的AlGaN層以及高摻雜Si濃度的n-GaN層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所示的用于LED的GaN外延結(jié)構(gòu),其特征在于:p型電子阻擋層是由Al組分含量遞增漸變的p型AlGaN/GaN超晶格層形成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所示的用于LED的GaN外延結(jié)構(gòu),其特征在于:所述p型GaN空穴活化層為InGaN。

6.一種用于LED的GaN外延結(jié)構(gòu)的制備方法,包括如下步驟:處理襯底,然后依次生長成核層、未摻雜GaN層、n型GaN層、多量子阱結(jié)構(gòu)、p型電子阻擋層及p型GaN空穴活化層,其特征在于:n型GaN層和多量子阱結(jié)構(gòu)之間生長n應(yīng)力釋放層,多量子阱結(jié)構(gòu)和p型電子阻擋層之間生長p應(yīng)力釋放層,n應(yīng)力釋放層即InGaN/GaN超晶格層,p應(yīng)力釋放層即InN/GaN超晶格層,n應(yīng)力釋放層與p應(yīng)力釋放層生長時均是先生長一個超晶格勢阱,再生長一個超晶格勢壘,形成一個超晶格周期,然后周期重復(fù)性生長超晶格,相鄰生長周期中In組分含量遞增漸變。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所示的用于LED的GaN外延結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于:未摻雜GaN層先縱向生長rough縱向生長層,后升溫橫向生長u-GaN橫向生長層。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所示的用于LED的GaN外延結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于:n型GaN層先生長低摻雜Si濃度的n-GaN層,再生長Si摻雜的AlGaN層,最后生長高摻雜Si濃度的n-GaN層。

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