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一種太陽電池及其制備方法與流程

文檔序號(hào):11411940閱讀:331來源:國知局
一種太陽電池及其制備方法與流程

本發(fā)明屬于太陽電池技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種太陽電池及其制備方法。



背景技術(shù):

一直以來,制約太陽電池技術(shù)發(fā)展的主要瓶頸是較低的光電轉(zhuǎn)換效率和過高的成本,高效率的太陽電池一直是該領(lǐng)域研究的熱點(diǎn)。相比傳統(tǒng)太陽電池,中間帶電池可以實(shí)現(xiàn)對(duì)太陽光的寬光譜吸收,具有高達(dá)63.1%的理論極限效率,應(yīng)用前景廣泛。中間帶電池的工作原理為:在半導(dǎo)體的禁帶中引入中間能帶,除正常吸收高于帶隙能量的光子,還可通過雙光子激發(fā)過程捕獲低于帶隙能量的光子,拓寬了太陽能光譜的利用范圍,提高光電轉(zhuǎn)換效率。目前,制備中間帶太陽電池主要是采用砷化銦/砷化鎵(InAs/GaAs)量子點(diǎn),InAs為量子點(diǎn)點(diǎn)層材料,GaAs為量子點(diǎn)壘層材料。InAs/GaAs量子點(diǎn)是I類能帶結(jié)構(gòu),InAs的禁帶完全落在GaAs的禁帶內(nèi),在InAs量子點(diǎn)中形成了電子和空穴的束縛能級(jí)。其中,電子能級(jí)位于GaAs禁帶中,作為電池的中間帶;空穴能級(jí)與GaAs價(jià)帶接近,共同作為價(jià)帶。通過雙光子激發(fā)過程,價(jià)帶上的電子會(huì)先躍遷到中間帶然后到導(dǎo)帶,形成光生電子空穴對(duì),在內(nèi)建電場的作用下輸出電池形成光生電流。然而,由于電子和空穴都束縛在InAs量子點(diǎn)層,它們之間的相互作用使激發(fā)到導(dǎo)帶的電子會(huì)通過帶內(nèi)俄歇復(fù)合很快弛豫回中間帶(時(shí)間常數(shù)為皮秒量級(jí)),使得導(dǎo)帶和中間帶的準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)很難分開,開路電壓降低,與傳統(tǒng)太陽電池相比效率未見提高。理論研究表明,如果電子和空穴的波函數(shù)分離,他們之間的相互作用會(huì)減弱,則可以抑制帶內(nèi)俄歇復(fù)合,提高電池效率。在II類能帶結(jié)構(gòu)的量子點(diǎn)中,一種材料的導(dǎo)帶位于另外一種材料的禁帶中,而價(jià)帶頂?shù)陀诹硗庖环N材料的價(jià)帶頂,能帶的交錯(cuò)使電子和空穴分別束縛于兩種材料中,波函數(shù)分離,可實(shí)現(xiàn)對(duì)帶內(nèi)俄歇復(fù)合的抑制。但是電子和空穴波函數(shù)分離又會(huì)降低電子從價(jià)帶到中間帶的躍遷幾率,減少電池對(duì)低能量光子的吸收,同樣無法獲得期望的高轉(zhuǎn)換效率。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

發(fā)明目的:為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題,本發(fā)明提供了一種具有高轉(zhuǎn)換率的太陽電池。

技術(shù)方案:本發(fā)明提供了一種太陽電池,包括下電極、由下至上依次設(shè)置于下電極層上表面的下接觸層、背場層,有源區(qū)層,窗口層,上接觸層,和上電極,其中,所述有源區(qū)層包括多層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層,所述I類量子點(diǎn)層設(shè)置在II類量子阱層上。

進(jìn)一步,所述II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層包括II類量子阱下壘層、II類量子阱阱層、I類量子點(diǎn)下壘層和I類量子點(diǎn)點(diǎn)層,其中,II類量子阱阱層設(shè)置在II類量子阱下壘層的上表面,I類量子點(diǎn)下壘層設(shè)置在II類量子阱阱層的上表面,I類量子點(diǎn)點(diǎn)層設(shè)置在I類量子下壘層的上表面。

進(jìn)一步,所述II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層的層數(shù)在30~200之間。這樣能夠吸收足夠的太陽光,同時(shí)能夠保證器件的質(zhì)量。

進(jìn)一步,所述II類量子阱為GaAsSb/GaAs(鎵砷銻/砷化鎵)量子阱。

進(jìn)一步,所述I類量子點(diǎn)為InAs/GaAs(砷化銦/砷化鎵)量子點(diǎn)。

進(jìn)一步,所述有源區(qū)為PN結(jié)結(jié)構(gòu),有源區(qū)包括第一體材料有源區(qū)層、第二體材料有源區(qū)層和多層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層,所述多層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層設(shè)置在第一體材料有源區(qū)層和第二體材料有源區(qū)層之間。

進(jìn)一步,所述有源區(qū)為PN結(jié)結(jié)構(gòu),有源區(qū)包括兩層第一體材料有源區(qū)層、第二體材料有源區(qū)層和多層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層,從下至上依次為第一體材料有源區(qū)層、多層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層、第一體材料有源區(qū)層和第二體材料有源區(qū)層。

進(jìn)一步,所述有源區(qū)為PN結(jié)結(jié)構(gòu),有源區(qū)包括第一體材料有源區(qū)層、兩層第二體材料有源區(qū)層和多層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層,從下至上依次為第一體材料有源區(qū)層、第二體材料有源區(qū)層、多層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層和第二體材料有源區(qū)層。

本發(fā)明還提供了一種制備上述太陽電池的方法,包括以下步驟:

步驟1:提供下接觸層;

步驟2:在下接觸層表面采用分子束外延或金屬有機(jī)物化學(xué)汽相沉積的方法生長背場層;

步驟3:在背場層上表面生長有源區(qū)層,包括第一體材料有源區(qū)層、第二體材料有源區(qū)層和多層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層;

步驟4:在有源區(qū)層上依次生長窗口層和上接觸層;

步驟5:在上接觸層和下接觸層上分別制備上電極和下電極。

進(jìn)一步,所述多層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層的生長方法為:先生長II類量子阱下壘層,II類量子阱阱層生長在II類量子阱下壘層上表面,I類量子下壘層生長在II類量子阱阱層上表面,I類量子點(diǎn)點(diǎn)層生長在I類量子下壘層上表面,按照周期性依次生長成多層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層。

工作原理:本發(fā)明將I類量子點(diǎn)-II類量子阱雜化結(jié)構(gòu)用到太陽電池中,采用I類量子點(diǎn)吸收低于壘層材料帶隙能量高于量子點(diǎn)基態(tài)能量的光子,產(chǎn)生光生載流子,電子在束縛態(tài)能級(jí)即中間帶,空穴在價(jià)帶。由于鎵砷銻(GaAsSb)量子阱價(jià)帶能量低于砷化銦(InAs)量子點(diǎn)價(jià)帶能量,空穴進(jìn)入到II類量子阱中,中間帶上的電子則再次吸收低能量光子躍遷到導(dǎo)帶。通過雙光子激發(fā)過程產(chǎn)生的電子-空穴對(duì)在內(nèi)建電場的作用下輸出電池形成光生電流。本發(fā)明提供的太陽電池中光生空穴不局域在I類量子點(diǎn)中而是進(jìn)入到II類量子阱,電子和空穴相互作用減弱,抑制帶內(nèi)俄歇復(fù)合,提高開路電壓,有效提高了轉(zhuǎn)換效率。

有益效果:與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明有效提高了太陽電池的轉(zhuǎn)換效率;同時(shí)制備方法簡單方便,制備出的太陽電池的轉(zhuǎn)換率高。

附圖說明

圖1為本發(fā)明提供的太陽電池的簡略結(jié)構(gòu)圖;

圖2為實(shí)施例1中有源區(qū)層的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖3為實(shí)施例2中有源區(qū)層的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖4為實(shí)施例3中有源區(qū)層的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖5為本發(fā)明中采用的單層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖6為采用本發(fā)明提供的制備方法制備出的太陽電池的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做更進(jìn)一步的解釋。

實(shí)施例1:

如圖1所示,本發(fā)明提供的太陽電池,包括下電極1、由下至上依次設(shè)置于下電極層1上表面的下接觸層2、背場層3,有源區(qū)層4,窗口層5,上接觸層6,上電極層7。如圖2所示,其中,有源區(qū)層4包括第一體材料有源層41,從下至上依次設(shè)置于第一體材料有源層41上表面的多層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層42和第二體材料有源層43。多層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層42設(shè)置在第一體材料有源層41和第二體材料有源層43之間。其中,下接觸層2為P型砷化鎵(下文簡稱P-GaAs)接觸層,背場層3為P型鋁銦磷(下文簡稱P-AlInP)或P型鋁鎵砷(下文簡稱P-AlGaAs)或P型鎵銦磷(下文簡稱P-GaInP)背場層,窗口層5為N型鋁銦磷(下文簡稱N-AlInP)或N型鋁鎵砷(下文簡稱N-AlGaAs)或N型鎵銦磷(下文簡稱N-GaInP)窗口層,上接觸層6為N型砷化鎵(下文簡稱N-GaAs)上接觸層;第一體材料有源層41為P-GaAs層;第二體材料有源層43為N-GaAs層;I類量子點(diǎn)為InAs/GaAs量子點(diǎn),非故意摻雜;II類量子阱為GaAsSb/GaAs量子阱,非故意摻雜。

實(shí)施例2:

如圖1所示,本發(fā)明提供的太陽電池,包括下電極1、由下至上依次設(shè)置于下電極層1上表面的下接觸層2、背場層3,有源區(qū)層4,窗口層5,上接觸層6,上電極層7。如圖3所示,其中,有源區(qū)層4包括第一體材料有源層41,從下至上依次設(shè)置于第一體材料有源層41上表面的多層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層42、第一體材料有源層41和第二體材料有源層43。這樣多層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層42設(shè)置在兩層第一體材料有源層41之間。其中,下接觸層2為N-GaAs接觸層,背場層3為N-AlInP或N-AlGaAs或N-GaInP背場層,窗口層5為P-AlInP或P-AlGaAs或P-GaInP窗口層,上接觸層6為P-GaAs上接觸層;第一體材料有源層41為N-GaAs層;第二體材料有源層43為P-GaAs層;I類量子點(diǎn)為InAs/GaAs量子點(diǎn),N型摻雜;II類量子阱為GaAsSb/GaAs量子阱,N型摻雜。

實(shí)施例3:

如圖1所示,本發(fā)明提供的太陽電池,包括下電極1、由下至上依次設(shè)置于下電極層1上表面的下接觸層2、背場層3,有源區(qū)層4,窗口層5,上接觸層6,上電極層7。如圖4所示,其中,有源區(qū)層4包括第一體材料有源層41,從下至上依次設(shè)置于第一體材料有源層41上表面的第二體材料有源層43、多層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層42和第二體材料有源層43。這樣多層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層42設(shè)置在兩層第二體材料有源層43之間。其中,下接觸層2為P-GaAs下接觸層,背場層3為P-AlInP或P-AlGaAs或P-GaInP背場層,窗口層5為N-AlInP或N-AlGaAs或N-GaInP窗口層,上接觸層6為N-GaAs上接觸層;第一體材料有源層41為P-GaAs層;第二體材料有源層43為N-GaAs層;I類量子點(diǎn)為N型摻雜InAs/GaAs量子點(diǎn);II類量子阱為N型摻雜GaAsSb/GaAs量子阱。

其中,如圖5所示,在實(shí)施例1~3中的單層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層中包括II類量子阱下壘層421、II類量子阱阱層422、I類量子點(diǎn)下壘層423和I類量子點(diǎn)點(diǎn)層424,其中,II類量子阱阱層422設(shè)置在類量子阱下壘層421的上表面,I類量子點(diǎn)下壘層423設(shè)置在II類量子阱阱層422的上表面,I類量子點(diǎn)點(diǎn)層424設(shè)置在I類量子點(diǎn)下壘層423的上表面,然后按照周期性依次生成多層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層42。II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層采用的層數(shù)越多,對(duì)低能量光子的吸收作用越明顯,但過多的量子阱/量子點(diǎn)疊層會(huì)引入大的應(yīng)力,影響器件質(zhì)量,所以II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層的層數(shù)在30層~200層之間。其中,I類量子點(diǎn)為InAs/GaAs量子點(diǎn),I類量子點(diǎn)下壘層423材料為GaAs,I類量子點(diǎn)下壘層423的厚度為5-15nm,I類量子點(diǎn)點(diǎn)層424材料為InAs,I類量子點(diǎn)點(diǎn)層424中量子點(diǎn)面密度大于1×1010cm-2。II類量子阱點(diǎn)GaAsSb/GaAs量子阱,II類量子阱下壘層421的材料為GaAs,II類量子阱下壘層421的厚度為30-100nm,II類量子阱阱層422的材料為GaAsSb,II類量子阱阱層422的厚度1-10nm,Sb組份大于14%小于30%。

本發(fā)明提供的太陽電池的制備方法,包括以下步驟:

步驟1:提供一GaAs下接觸層2;其中GaAs下接觸層2可為P型或N型。

步驟2:在GaA下接觸層2表面采用分子束外延或金屬有機(jī)物化學(xué)汽相沉積的方法依次生長背場層3、第一體材料有源區(qū)層41。其中,如果下接觸層2為P型,則背場層材料為P-AlInP、P-AlGaAs、P-GaInP任一種,第一體材料有源區(qū)層41材料為P-GaAs;如果下接觸層2為N型,步驟2中背場層材料為N-AlInP、N-AlGaAs、N-GaInP任一種,第一體材料有源區(qū)層41材料為N-GaAs。

步驟3:在第一體材料有源區(qū)層41表面生長多層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)42。

先生長II類量子阱下壘層421,II類量子阱阱層422生長在II類量子阱下壘層421上表面,I類量子下壘層423生長在II類量子阱阱層422上表面,I類量子點(diǎn)點(diǎn)層424生長在I類量子下壘層423上表面,按照周期性依次生長成多層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)層。I類量子點(diǎn)為InAs/GaAs量子點(diǎn),采用層狀加島狀生長模式,自組織成點(diǎn)。生長采用分子束外延或金屬有機(jī)物化學(xué)汽相沉積的方法。InAs沉積量1.5-3ML,每個(gè)量子點(diǎn)橫向尺寸30-80nm,縱向尺寸6-15nm。II類量子阱為GaAsSb/GaAs量子阱。生長采用分子束外延或金屬有機(jī)物化學(xué)汽相沉積的方法。量子阱下壘層厚度為30-100nm,阱層厚度為1-10nm,Sb組份大于14%小于30%。

步驟4:在多層II類量子阱/I類量子點(diǎn)疊層結(jié)構(gòu)42上依次生長第二體材料有源區(qū)層43,窗口層5,上接觸層6。如果下接觸層2為P型,第二體材料有源區(qū)層43材料為N-GaAs,窗口層材料為N-GaAs。如果下接觸層2為N型,步驟4中第二體材料有源區(qū)層43材料為P-GaAs,窗口層材料為P-GaAs。

步驟5:制備上電極和下電極:

在上接觸層6的上表面用沉積上電極7,在下接觸層2下表面沉積下電極1。N型電極采用合金AuGe/Ni/Au,P型電極采用合金Ti/Pt/Au或Pb/Zn/Pb/Au,然后退火使AuGe/Ni/Au合金與N型GaAs接觸層、Ti/Pt/Au或Pb/Zn/Pb/Au與P-GaAs接觸層形成歐姆接觸,退火溫度范圍為400℃至550℃,退火時(shí)間范圍為1分鐘至5分鐘。上電極7、下電極1制作完成之后,以上電極7作為掩膜腐蝕上電極7區(qū)域以外的上接觸層6,腐蝕液為氨水、雙氧水和水的混合溶液,腐蝕時(shí)間范圍為1分鐘至3分鐘。制成的太陽電池如圖6所示。

本發(fā)明通過加人II類量子阱,使電子空穴波函數(shù)分開,采用II類能帶結(jié)構(gòu),帶內(nèi)俄歇復(fù)合的時(shí)間可提高三個(gè)數(shù)量級(jí),增加到納秒(ns)量級(jí),有益于導(dǎo)帶中間帶分離,維持開路電壓不下降,有效提高了電池效率。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明保護(hù)的范圍之內(nèi)。

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