技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種單臂三自由度的晶圓傳輸機(jī)械手及使用方法，包括旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，徑向運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，垂直運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)和支架；旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)包括連接在升降架上的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電機(jī)，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)第一傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)主臂旋轉(zhuǎn)，主臂頂端穿出所述的上支架與徑向運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)相連接進(jìn)而驅(qū)動(dòng)徑向運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)旋轉(zhuǎn)；徑向運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)包括一連接在徑向支架上的徑向驅(qū)動(dòng)電機(jī)，徑向驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)第二傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)沿兩徑向?qū)к壔瑒?dòng)的機(jī)械手爪，機(jī)械手爪表面設(shè)置有用于吸附晶圓的真空吸附裝置；垂直運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)包括連接在所述垂直電機(jī)支架上的垂直驅(qū)動(dòng)電機(jī)，垂直驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)第三傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)沿兩線性導(dǎo)向軸上下移動(dòng)的升降架，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)和徑向運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)上下移動(dòng)。

技術(shù)研發(fā)人員：閆鵬;張志名
受保護(hù)的技術(shù)使用者：山東大學(xué)
文檔號(hào)碼：201610919448
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.21
技術(shù)公布日：2017.02.15