本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備的爐體排氣裝置。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體熱處理設(shè)備是集成電路制造的重要工藝設(shè)備，適用于集成電路制造過程中各種氧化、退火和薄膜生長(zhǎng)等工藝。當(dāng)設(shè)備在工藝制備過程中，爐體內(nèi)反應(yīng)腔室的工作溫度將由600℃升至1000℃，并通過熱傳導(dǎo)將爐體內(nèi)反應(yīng)腔室的熱量傳遞到爐體外的周圍環(huán)境中，導(dǎo)致爐體周圍環(huán)境的溫度過高，從而容易造成安裝在爐體周圍的電氣元器件過熱而產(chǎn)生故障。

公開號(hào)為CN204315529U的中國專利中涉及到一種爐體熱量排放裝置，其排放裝置主要包括安裝在設(shè)備頂部的排氣罩、水冷部件、風(fēng)道、熱電偶等，可將爐體上方的熱氣冷卻后，再通過排氣罩排出。

但是，上述爐體熱量排放裝置存在以下問題：

1)排放裝置包括排氣罩、水冷部件、風(fēng)道、風(fēng)門、熱電偶等多種部件，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，制作成本較高；

2)SEMI標(biāo)準(zhǔn)中對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備有高度要求，而上述排放裝置需安裝在設(shè)備最頂部，增加了設(shè)備層高，因而難以滿足對(duì)設(shè)備的高度要求；

3)通過將現(xiàn)有設(shè)備的溫度升至最高工藝溫度，且在不通過水冷部件對(duì)爐體上方的熱氣進(jìn)行冷卻的條件下進(jìn)行測(cè)試發(fā)現(xiàn)，爐體頂部的最高溫度值在廠房排氣溫度要求范圍內(nèi)；因此，可以不使用水冷部件對(duì)爐體上方的熱氣進(jìn)行冷卻，并省去用熱電偶進(jìn)行感測(cè)，以降低成本；

4)主機(jī)箱排氣裝置與爐體排放裝置在連接到廠房時(shí)，需經(jīng)過過渡部件把兩者連接到一起，再連接到廠房排氣，過渡件結(jié)構(gòu)復(fù)雜，增加成本。

因此，為了避免上述問題，需要設(shè)計(jì)一種新型半導(dǎo)體設(shè)備爐體排氣裝置，以更有效的方式防止設(shè)備在工藝過程中爐體周圍環(huán)境溫度過高的狀況。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種半導(dǎo)體設(shè)備的爐體排氣裝置，其成本較低、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且使用方便，能夠有效地降低設(shè)備在工藝過程中爐體周圍環(huán)境的溫度。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

一種半導(dǎo)體設(shè)備的爐體排氣裝置，所述爐體罩設(shè)有主機(jī)箱體，包括：

水平導(dǎo)流板，設(shè)于爐體正上方，并與主機(jī)箱體頂部?jī)?nèi)壁固定；

傾斜導(dǎo)流板，相連設(shè)于水平導(dǎo)流板一側(cè)，并向下傾斜連接至主機(jī)箱體側(cè)壁；

第一、第二排氣管道，所述第一排氣管道水平設(shè)于傾斜導(dǎo)流板下方的主機(jī)箱體內(nèi)，其上表面設(shè)有多數(shù)個(gè)進(jìn)氣口，第一排氣管道的兩端封閉，并在其一端通過垂直設(shè)置的第二排氣管道與廠方排氣連接；

在工藝制備過程中，爐體內(nèi)反應(yīng)腔室的熱量通過熱傳導(dǎo)傳遞到爐體與主機(jī)箱體之間的周圍環(huán)境中，在廠方排氣的負(fù)壓作用下，向爐體頂部上升，經(jīng)水平及傾斜導(dǎo)流板的引導(dǎo)，集中進(jìn)入第一排氣管道上的進(jìn)氣口，并沿第一、第二排氣管道排向廠方排氣，使?fàn)t體釋放的熱量得到及時(shí)排放，以降低爐體周圍的環(huán)境溫度。

優(yōu)選地，還包括排氣壓力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述排氣壓力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)有排氣壓力調(diào)節(jié)板，所述排氣壓力調(diào)節(jié)板設(shè)于第一排氣管道的上表面上，所述排氣壓力調(diào)節(jié)板上設(shè)有與第一排氣管道進(jìn)氣口數(shù)量及位置對(duì)應(yīng)的通風(fēng)孔，用于通過改變通風(fēng)孔與進(jìn)氣口之間的相對(duì)位置，調(diào)節(jié)進(jìn)氣口的實(shí)際大小，以調(diào)節(jié)爐體排氣裝置的排氣壓力。

優(yōu)選地，所述第一排氣管道沿爐體的切線方向設(shè)置。

優(yōu)選地，所述水平導(dǎo)流板及傾斜導(dǎo)流板設(shè)有導(dǎo)流槽。

優(yōu)選地，所述導(dǎo)流槽為朝向進(jìn)氣口的多數(shù)個(gè)平行凹槽。

優(yōu)選地，所述水平導(dǎo)流板的下表面設(shè)有保溫套。

優(yōu)選地，所述排氣壓力調(diào)節(jié)板通過調(diào)節(jié)螺釘與第一排氣管道的上表面連接，以在第一排氣管道的長(zhǎng)度方向調(diào)節(jié)所述排氣壓力調(diào)節(jié)板的相對(duì)位置。

優(yōu)選地，還包括壓力檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其包括連接第二排氣管道的壓力檢測(cè)管以及連接壓力檢測(cè)管的壓力表。

優(yōu)選地，所述壓力表設(shè)于控制柜的操作面板上。

優(yōu)選地，所述第一排氣管道的上表面為平面。

從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1、爐體排氣裝置整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，操作方便；

2、導(dǎo)流板既有對(duì)氣體流動(dòng)的導(dǎo)向作用，也可以替代用作防護(hù)板，節(jié)約材料；

3、爐體排氣裝置安裝在設(shè)備內(nèi)部，使設(shè)備整體高度滿足設(shè)備SEMI高度要求；

4、爐體頂部與導(dǎo)流板之間設(shè)有保溫套進(jìn)行隔熱，可避免設(shè)備頂部處的廠房環(huán)境溫度過高；

5、排氣壓力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)通過排氣壓力調(diào)節(jié)板在第一排氣管道上移動(dòng)，可以調(diào)整排氣壓力，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便；

6、壓力檢測(cè)機(jī)構(gòu)可以檢測(cè)排氣壓力，當(dāng)排氣壓力高于與或低于設(shè)定壓力時(shí)，可以產(chǎn)生報(bào)警。

附圖說明

圖1是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種半導(dǎo)體設(shè)備的爐體排氣裝置的安裝位置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種半導(dǎo)體設(shè)備的爐體排氣裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種排氣壓力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、主機(jī)箱體；2、爐體；3、爐體排氣裝置；4、水平導(dǎo)流板；4’、傾斜導(dǎo)流板；5、保溫套；6、方形排氣管道；7、圓形排氣管道；8、壓力檢測(cè)機(jī)構(gòu)；9、排氣壓力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；10、排氣壓力調(diào)節(jié)板；11、調(diào)節(jié)螺釘；12、腰形安裝孔；13、進(jìn)氣口；14、通風(fēng)孔。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。

需要說明的是，在下述的具體實(shí)施方式中，在詳述本發(fā)明的實(shí)施方式時(shí)，為了清楚地表示本發(fā)明的結(jié)構(gòu)以便于說明，特對(duì)附圖中的結(jié)構(gòu)不依照一般比例繪圖，并進(jìn)行了局部放大、變形及簡(jiǎn)化處理，因此，應(yīng)避免以此作為對(duì)本發(fā)明的限定來加以理解。

在以下本發(fā)明的具體實(shí)施方式中，請(qǐng)參閱圖1，圖1是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種半導(dǎo)體設(shè)備的爐體排氣裝置的安裝位置結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，在半導(dǎo)體設(shè)備的爐體2外罩設(shè)有主機(jī)箱體1，主機(jī)箱體將爐體封閉起來。本發(fā)明的爐體排氣裝置3安裝在半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)，即安裝在爐體2與主機(jī)箱體1之間的爐體周圍環(huán)境中。這樣不會(huì)增加設(shè)備層高，可使得設(shè)備的整體高度滿足設(shè)備SEMI的高度要求。

請(qǐng)參閱圖2，圖2是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種半導(dǎo)體設(shè)備的爐體排氣裝置結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，本發(fā)明的一種半導(dǎo)體設(shè)備的爐體排氣裝置，主要包括：導(dǎo)流板4和4’、排氣管道6和7、排氣壓力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)9和壓力檢測(cè)機(jī)構(gòu)8。

請(qǐng)參閱圖2。導(dǎo)流板包括相連設(shè)置的水平導(dǎo)流板4和傾斜導(dǎo)流板4’。水平導(dǎo)流板4位于爐體2的正上方，可通過主機(jī)箱體1(圖略)頂部?jī)?nèi)壁處的支架，將水平導(dǎo)流板安裝在主機(jī)箱體的頂部?jī)?nèi)壁，并加以固定。傾斜導(dǎo)流板4’位于水平導(dǎo)流板4的一側(cè)，傾斜導(dǎo)流板4’的圖示左側(cè)部與水平導(dǎo)流板4的右側(cè)部連接安裝在一起，傾斜導(dǎo)流板4’的圖示右側(cè)部向下方作傾斜狀態(tài)，并延伸至與主機(jī)箱體1的側(cè)壁連接。傾斜導(dǎo)流板4’可吊裝在主機(jī)箱體1的頂部?jī)?nèi)壁上。

導(dǎo)流板可占據(jù)主機(jī)箱體的整個(gè)頂部?jī)?nèi)壁，從而，導(dǎo)流板既有對(duì)氣體流動(dòng)的導(dǎo)向作用，也可以替代主機(jī)箱體的頂部用作防護(hù)板，節(jié)約了材料的使用。

排氣管道包括方形排氣管道(即第一排氣管道)6和圓形排氣管道(即第二排氣管道)7，可由鈑金件焊接而成。方形排氣管道6水平安裝在傾斜導(dǎo)流板4’下方的主機(jī)箱體內(nèi)，例如，所述方形排氣管道6可沿爐體2的切線方向設(shè)置。方形排氣管道6的兩端為封閉端；方形排氣管道6位于傾斜導(dǎo)流板4’下方的主機(jī)箱體1內(nèi)，且圖示的外端靠近主機(jī)箱體前側(cè)壁設(shè)置。在方形排氣管道6靠近主機(jī)箱體前側(cè)壁的部分垂直連通安裝有圓形排氣管道7，圓形排氣管道7可焊接在方形排氣管道6頂面的前端處；圓形排氣管道7與廠方排氣系統(tǒng)相連接，廠方排氣可通過風(fēng)機(jī)提供負(fù)壓。

在方形排氣管道6的水平上表面、對(duì)應(yīng)傾斜導(dǎo)流板4’的位置加工有多數(shù)個(gè)進(jìn)氣口。在工藝制備過程中，爐體內(nèi)反應(yīng)腔室的熱量通過熱傳導(dǎo)傳遞到爐體2與主機(jī)箱體1之間的周圍環(huán)境中。在廠方排氣的負(fù)壓作用下，熱氣向爐體2頂部上升，經(jīng)水平導(dǎo)流板4及傾斜導(dǎo)流板4’的引導(dǎo)，將集中進(jìn)入方形排氣管道上的進(jìn)氣口，并沿方形排氣管道6、圓形排氣管道7排向廠方排氣，使?fàn)t體釋放的熱量得到及時(shí)排放，從而可以迅速降低爐體周圍的環(huán)境溫度，成功地避免爐體周圍的電氣設(shè)備和元器件過熱而產(chǎn)生的故障。

請(qǐng)繼續(xù)參閱圖2。在方形排氣管道上還設(shè)置有排氣壓力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)9。

請(qǐng)參閱圖3，圖3是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種排氣壓力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，所述排氣壓力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)9設(shè)有排氣壓力調(diào)節(jié)板10，所述排氣壓力調(diào)節(jié)板10安裝在方形排氣管道6的上表面上。所述方形排氣管道6的上表面上加工有多數(shù)個(gè)進(jìn)氣口13，例如圖示的兩行長(zhǎng)條形進(jìn)氣口，長(zhǎng)條形進(jìn)氣口的方向與熱氣流的導(dǎo)入方向一致，以利于其流入；所述排氣壓力調(diào)節(jié)板10上設(shè)有與方形排氣管道進(jìn)氣口數(shù)量及位置對(duì)應(yīng)的兩行長(zhǎng)條形通風(fēng)孔14。

請(qǐng)繼續(xù)參閱圖3。所述排氣壓力調(diào)節(jié)板10可通過調(diào)節(jié)螺釘11與方形排氣管道6的上表面連接，并可通過排氣壓力調(diào)節(jié)板上的腰形安裝孔12來調(diào)節(jié)排氣壓力調(diào)節(jié)板10在方形排氣管道6長(zhǎng)度方向上的相對(duì)位置，從而可以使得通風(fēng)孔14與進(jìn)氣口13處于對(duì)準(zhǔn)或偏移一定量的多種變化狀態(tài)。

當(dāng)爐體排氣裝置使用時(shí)，通過改變通風(fēng)孔與進(jìn)氣口之間的相對(duì)位置，即可調(diào)節(jié)進(jìn)氣口的實(shí)際大小，從而可以調(diào)節(jié)爐體排氣裝置的排氣壓力，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便的特點(diǎn)。

進(jìn)一步地，可在所述水平導(dǎo)流板4及傾斜導(dǎo)流板4’的內(nèi)側(cè)表面加工導(dǎo)流槽。例如，可在所述水平導(dǎo)流板及傾斜導(dǎo)流板的內(nèi)側(cè)表面加工出朝向進(jìn)氣口13方向的多數(shù)個(gè)平行凹槽，以起到更好的定向?qū)Я髯饔谩?/p>

如圖2所示，還可以在所述水平導(dǎo)流板4(和傾斜導(dǎo)流板4’)的下表面粘貼保溫套5。廠房對(duì)設(shè)備周圍環(huán)境溫度有要求，為了防止?fàn)t體周圍熱量通過導(dǎo)流板散發(fā)到廠房環(huán)境中而使廠房環(huán)境溫度過高，所以可使用保溫套安裝在導(dǎo)流板上進(jìn)行隔熱。

請(qǐng)繼續(xù)參閱圖2。壓力檢測(cè)機(jī)構(gòu)8包括連接第二排氣管道7的壓力檢測(cè)管以及連接壓力檢測(cè)管的壓力表(圖示為一段壓力檢測(cè)管，壓力表未示出)?？蓪⑺鰤毫Ρ戆惭b在控制柜的操作面板上，以方便檢測(cè)。壓力檢測(cè)機(jī)構(gòu)8用于檢測(cè)排氣壓力，其壓力值可在壓力表上顯示；如果壓力不在設(shè)定壓力范圍內(nèi)，壓力表會(huì)產(chǎn)生高壓或低壓報(bào)警信號(hào)。

本發(fā)明的上述排氣裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，調(diào)節(jié)靈活方便，能夠減小設(shè)備整體占用的空間，同時(shí)降低設(shè)備制造成本。

以上所述的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明的專利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本發(fā)明的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。