技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備工作狀態(tài)的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，包括燈塔和燈塔控制單元。燈塔具有指示燈和蜂鳴器，其根據(jù)控制信號(hào)輸出顏色或聲音或顏色和聲音的組合。燈塔控制單元與清洗設(shè)備的機(jī)械手單元、裝卸載硅片單元、化學(xué)藥液傳輸單元、清洗工藝腔室單元、暫存硅片單元、以及所述燈塔相連。燈塔控制單元通過配置文件配置每一單元的不同狀態(tài)及各單元不同狀態(tài)的組合與燈塔的輸出之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系；并發(fā)送指令至各單元、根據(jù)各單元對(duì)指令的執(zhí)行狀態(tài)反饋信息發(fā)送信號(hào)至燈塔使其輸出相應(yīng)的顏色和/或聲音。本發(fā)明使得設(shè)備操作者能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)清洗設(shè)備出現(xiàn)問題并迅速做出響應(yīng)。

技術(shù)研發(fā)人員：郭訓(xùn)容
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
文檔號(hào)碼：201610978418
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.07
技術(shù)公布日：2017.01.11