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表面?zhèn)鞲芯庋b結(jié)構(gòu)及其制作方法與流程

文檔序號(hào):12274920閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種表面?zhèn)鞲芯庋b結(jié)構(gòu),包括一表面?zhèn)鞲芯?,該表面?zhèn)鞲芯哂邢鄬?duì)的第一表面和第二表面,所述第一表面包含有感測(cè)元件及位于該感測(cè)元件周?chē)亩鄠€(gè)焊墊,該表面?zhèn)鞲芯瑑?nèi)有金屬互連結(jié)構(gòu),所述金屬互連結(jié)構(gòu)從所述第二表面延伸至所述第一表面的焊墊表面,且所述金屬互連結(jié)構(gòu)與所述第二表面設(shè)置的金屬線路相連接,該金屬線路上制作有導(dǎo)電體,其特征在于,在設(shè)置有金屬線路的第二表面及所述表面?zhèn)鞲芯乃闹軅?cè)面包裹保護(hù)層,該保護(hù)層厚度低于所述導(dǎo)電體高度,并暴露出所述導(dǎo)電體;該表面?zhèn)鞲芯牡谝槐砻婕爸苓叺谋Wo(hù)層上貼合一功能蓋板,至少該表面?zhèn)鞲芯谝槐砻媾c所述功能蓋板之間有粘結(jié)膠。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面?zhèn)鞲芯庋b結(jié)構(gòu),其特征在于,所述表面?zhèn)鞲芯瑸橹讣y識(shí)別芯片。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面?zhèn)鞲芯庋b結(jié)構(gòu),其特征在于,所述功能蓋板粘結(jié)面設(shè)有一著色層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面?zhèn)鞲芯庋b結(jié)構(gòu),其特征在于,所述功能蓋板為玻璃、藍(lán)寶石、氮化鋁或者陶瓷材料。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述表面?zhèn)鞲芯庋b結(jié)構(gòu),其特征在于,所述保護(hù)層為模塑料。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的表面?zhèn)鞲芯庋b結(jié)構(gòu),其特征在于,包裹所述表面?zhèn)鞲芯瑐?cè)面的保護(hù)層厚度不小于5微米。

7.一種表面?zhèn)鞲芯庋b結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,包括以下步驟:

A.提供一具有若干表面?zhèn)鞲芯木A,具有相對(duì)的第一表面和第二表面,通過(guò)晶圓級(jí)封裝,在各表面?zhèn)鞲芯系诙砻嬷谱鹘饘倩ミB結(jié)構(gòu)、金屬線路和導(dǎo)電體,并將晶片晶圓切割成單顆表面?zhèn)鞲芯?,完成預(yù)封裝;

B.提供一功能蓋板晶圓,該功能蓋片晶圓的厚度達(dá)到預(yù)設(shè)值或在該功能蓋板晶圓的背面臨時(shí)鍵合一載板;

C.用粘結(jié)膠將若干預(yù)封裝的表面?zhèn)鞲芯谝槐砻娉抡辰Y(jié)至功能蓋板晶圓上,相鄰表面?zhèn)鞲芯g預(yù)設(shè)一定距離;

D.塑封功能蓋板晶圓正面,使模塑料包裹表面?zhèn)鞲芯牡诙砻婕八闹軅?cè)面,并暴露出導(dǎo)電體;

E.將晶片晶圓及功能蓋板晶圓切割成單顆封裝芯片,形成表面?zhèn)鞲芯庋b結(jié)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的表面?zhèn)鞲芯庋b結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,步驟B和步驟C之間還有在功能蓋板粘結(jié)面鋪設(shè)一著色層的步驟。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的表面?zhèn)鞲芯庋b結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,步驟C粘結(jié)的方式為,將粘結(jié)膠涂至功能蓋板晶圓正面,將預(yù)封裝的表面?zhèn)鞲芯N至功能蓋板晶圓正面;或者在預(yù)封裝的表面?zhèn)鞲芯牡谝槐砻嫱可险辰Y(jié)膠,再放置在功能蓋板晶圓正面。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的表面?zhèn)鞲芯庋b結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,步驟E中,晶圓切割步驟為切割到載板臨時(shí)鍵合膠的附近,使相鄰芯片分離,或先解臨時(shí)鍵合去除載板后再切割晶圓形成單顆封裝芯片,或者切割晶圓與載板形成帶載板的單顆封裝芯片。

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