本發(fā)明涉及一種構成在鋰離子二次電池等電池中使用的隔離物的膜的制造方法以及清洗裝置。

背景技術：

在鋰離子二次電池的內部，正極以及負極被膜狀且多孔質的隔離物分離。在該隔離物的制造工序中，包括用于之后從制造出的膜去除不需要的物質的清洗工序。

專利文獻1公開了用于進行上述清洗工序的清洗裝置。專利文獻1的清洗裝置使膜通過兩個清洗槽而對膜進行清洗。

在先技術文獻

專利文獻1：日本公開專利公報“特開2001-228594號公報(公開日：2001年8月24日)”

在專利文獻1的清洗裝置中，在從膜的搬運路徑的上游側的清洗槽(在此，稱為清洗槽a)搬出后且進入搬運路徑的下游側的清洗槽(在此，稱為清洗槽b)之前，尤其是在膜的上表面附著的液體基本未被去除。因此，在專利文獻1的清洗裝置中，存在清洗槽a中充滿的液體進入清洗槽b的可能性。

清洗槽a以及清洗槽b中充滿膜清洗用的液體，但通常搬運路徑的上游側的清洗槽a中充滿的液體比清洗槽b中充滿的液體臟。因此，若清洗槽a中充滿的液體進入清洗槽b，則會產生清洗槽b中充滿的液體被污染的問題。

技術實現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

本發(fā)明是鑒于上述的課題而完成的，其目的在于提供一種能夠抑制膜的搬運路徑的下游側的清洗槽的清洗液的污染的膜制造方法以及膜清洗裝置。

用于解決課題的方案

本發(fā)明的一個方式的膜制造方法包括：清洗工序，在第一清洗槽中對膜進行清洗；以及搬運工序，使第一輥、第二輥、以及第三輥與從所述第一清洗槽搬出的所述膜接觸，并將所述膜向第二清洗槽搬運，在所述搬運工序中，所述第一輥以及所述第三輥與所述膜的一各面接觸，且在所述第一輥與所述第三輥之間，所述第二輥與所述膜的另一個面接觸，由此從所述膜去除清洗液，使通過所述第二輥而從所述膜去除的所述清洗液返回所述第一清洗槽。

根據上述的結構，在清洗槽之間，通過第一輥以及第二輥去除膜的兩面上附著的清洗液。被第二輥去除的清洗液返回上游的第一清洗槽。因此，能夠減少被帶入下游的第二清洗槽的第一清洗槽的清洗液的量。故而，能夠抑制第二清洗槽的清洗液的污染。

本發(fā)明的一個方式的膜清洗裝置具備：第一清洗槽以及第二清洗槽，其對膜進行清洗；以及第一輥、第二輥、以及第三輥，其與從所述第一清洗槽搬出的所述膜接觸，且將所述膜向所述第二清洗槽搬運，所述第一輥以及所述第三輥與所述膜的一個面接觸，且在所述第一輥與所述第三輥之間，所述第二輥與所述膜的另一個面接觸，由此所述第二輥從所述膜去除清洗液，通過所述第二輥而從所述膜去除的所述清洗液返回所述第一清洗槽。

發(fā)明效果

根據本發(fā)明，能夠抑制膜的搬運路徑的下游側的清洗槽的清洗液的污染。

附圖說明

圖1是示出鋰離子二次電池的剖面結構的示意圖。

圖2是示出圖1所示的鋰離子二次電池的詳細結構的示意圖。

圖3是示出圖1所示的鋰離子二次電池的另一結構的示意圖。

圖4是示出本發(fā)明的一個實施方式的清洗裝置的結構的剖視圖。

圖5是圖4所示的清洗裝置中的第一輥以及第二輥的剖視圖。

圖6是示出在清洗裝置中設置有導流件的情況下的導流件的配置例的剖視圖。

附圖標記說明

6清洗裝置(膜清洗裝置)

12隔離物(膜)

15、16清洗槽(第一清洗槽、第二清洗槽)

s耐熱隔離物(膜)

w清洗水(清洗液)

m輥(第一輥)

n輥(第二輥)

a輥(第三輥)

具體實施方式

以下，參照圖1～圖5對用于實施本發(fā)明的方式進行說明。

(鋰離子二次電池)

以鋰離子二次電池為代表的非水電解液二次電池的能量密度高，因此目前作為在個人計算機、便攜式電話、便攜式信息終端等設備、機動車、航空器等移動體中使用的電池而被廣泛使用，或者作為有助于電力的穩(wěn)定供給的固定用電池而被廣泛使用。

圖1是示出鋰離子二次電池1的剖面結構的示意圖。如圖1所示，鋰離子二次電池1具備陰極11、隔離物(膜)12以及陽極13。在鋰離子二次電池1的外部，在陰極11與陽極13之間連接外部設備2。而且，在鋰離子二次電池1充電時電子向方向a移動，在放電時電子向方向b移動。

(隔離物)

隔離物12配置在鋰離子二次電池1的正極即陰極11與其負極即陽極13之間，并被陰極11與陽極13夾持。隔離物12是將陰極11與陽極13之間分離且能夠使它們之間的鋰離子移動的多孔質膜。作為隔離物12的材料，例如包括聚乙烯、聚丙烯等聚烯烴。

圖2是示出圖1所示的鋰離子二次電池1的詳細結構的示意圖，(a)示出通常的結構，(b)示出鋰離子二次電池1升溫后的情形，(c)示出鋰離子二次電池1急劇地升溫后的情形。

如圖2的(a)所示，在隔離物12上設有多個孔p。通常，鋰離子二次電池1的鋰離子3能夠經由孔p而往返。

在此，例如，有時由于鋰離子二次電池1的過充電或外部設備的短路所引起的大電流等而導致鋰離子二次電池1升溫。在該情況下，如圖2的(b)所示，隔離物12熔化或變得柔軟而堵塞孔p。而且隔離物12收縮。由此，鋰離子3的往返停止，因此上述的升溫也停止。

但是，在鋰離子二次電池1急劇地升溫的情況下，隔離物12急劇地收縮。在該情況下，如圖2的(c)所示，隔離物12有時被破壞。然后，鋰離子3從破壞的隔離物12漏出，因此鋰離子3的移動不停止。因此，溫度繼續(xù)上升。

圖3是示出圖1所示的鋰離子二次電池1的另一結構的示意圖，(a)示出通常的結構，(b)示出鋰離子二次電池1急劇地升溫后的情形。

如圖3的(a)所示，隔離物12也可以是具備多孔質膜5和耐熱層4的耐熱隔離物(膜)。耐熱層4層疊在多孔質膜5的陰極11側的單面上。另外，耐熱層4也可以層疊在多孔質膜5的陽極13側的單面上，還可以層疊在多孔質薄膜5的雙面上。而且，在耐熱層4上也設有與孔p同樣的孔。通常，鋰離子3經由孔p和耐熱層4的孔而往返。作為耐熱層4的材料，例如包括全芳香族聚酰胺(芳族聚酰胺樹脂)。

如圖3的(b)所示，即便鋰離子二次電池1急劇地升溫而多孔質膜5熔化或變得柔軟，由于耐熱層4輔助多孔質膜5，因此多孔質膜5的形狀得以維持。因此，多孔質膜5熔化或變得柔軟而止于孔p堵塞的狀態(tài)。由此，由于鋰離子3的往返停止，從而上述的過放電或過充電也停止。這樣，抑制了隔離物12的破壞。

鋰離子二次電池1的隔離物以及耐熱隔離物的制造能夠利用以下的方法來進行。以下，假設多孔質膜5的材料主要包括聚乙烯的情況來進行說明。但是，在多孔質膜5包括其他材料的情況下，也能夠通過同樣的制造工序來制造隔離物12(耐熱隔離物)。

能夠舉出在向熱塑性樹脂添加無機填充劑或增塑劑而進行膜成形之后，利用適當?shù)娜軇⒃摕o機填充劑以及該增塑劑清洗去除的方法。例如，在多孔質膜5是由包含超高分子量聚乙烯的聚乙烯樹脂形成的聚烯烴隔離物的情況下，能夠通過以下所示的方法進行制造。

該方法包括：(1)將超高分子量聚乙烯與無機填充劑(例如碳酸鈣、二氧化硅)或增塑劑(例如低分子量聚烯烴、液體石蠟)混煉而獲得聚乙烯樹脂組合物的混煉工序；(2)使用聚乙烯樹脂組合物來成形膜的軋制工序；(3)從通過工序(2)獲得的膜中去除無機填充劑或增塑劑的去除工序；以及(4)使通過工序(3)獲得的膜延伸而獲得多孔質膜5的延伸工序。需要說明的是，也可以在所述工序(2)與(3)之間進行所述工序(4)。

通過去除工序，在膜中設置多個微孔。通過延伸工序延伸后的膜的微孔成為上述的孔p。由此，得到具有規(guī)定的厚度和透氣度的聚乙烯微多孔膜、即多孔質膜5(不具有耐熱層的隔離物12)。

需要說明的是，在混煉工序中，也可以對100重量份的超高分子量聚乙烯、5～200重量份的重量平均分子量在1萬以下的低分子量聚烯烴以及100～400重量份的無機填充劑進行混煉。

之后，在涂敷工序中，在多孔質膜5的表面形成耐熱層4。例如，在多孔質膜5上涂覆(涂布工序)芳族聚酰胺/nmp(n-甲基吡咯烷酮)溶液(涂敷液)，通過使其凝固(凝固工序)而形成作為芳族聚酰胺耐熱層的耐熱層4。耐熱層4可以僅設置在多孔質膜5的單面上，也可以設置在雙面上。

另外，在涂敷工序中，也可以在多孔質膜5的表面涂布(涂布工序)聚偏氟乙烯二甲基乙酰胺溶液(涂敷液)，并使其凝固(凝固工序)，由此在多孔質膜5的表面形成粘接層。粘接層可以僅設置在多孔質膜5的單面上，也可以設置在雙面上。

在本說明書中，將具有與電極的粘接性或聚烯烴的熔點以上的耐熱性等功能的層稱為功能層。

對于將涂覆液涂覆于多孔質膜5上的方法而言，只要是能夠均勻地濕涂的方法即可，沒有特別的限制，可以采用以往公知的方法。例如，可以采用毛細管涂覆法、狹縫模涂法、噴涂法、浸涂法、輥涂法、絲網印刷法、柔性印刷法、棒涂法、凹版印刷式涂法、模涂法等。耐熱層4的厚度能夠通過涂敷濕膜的厚度、涂敷液中的固體成分濃度來控制。

需要說明的是，作為在涂敷時固定或搬運多孔質膜5的支承體，能夠使用樹脂制的膜、金屬制的傳送帶、卷筒等。

如上述那樣，能夠制造在多孔質膜5上層疊有耐熱層4的隔離物12(耐熱隔離物)。制造出的隔離物卷繞于圓筒形狀的芯體。需要說明的是，通過以上的制造方法制造的對象并不限于耐熱隔離物。該制造方法也可以不包括涂敷工序。在該情況下，制造的對象是不具有耐熱層的隔離物。

(清洗工序)

以下，參照圖4以及圖5對本實施方式的膜制造方法以及清洗裝置6進行說明。

在以下的實施方式中，對長條且多孔質的電池用隔離物即耐熱隔離物的清洗方法(膜制造方法)進行說明。耐熱隔離物的耐熱層通過在多孔質膜上涂覆芳族聚酰胺/nmp(n-甲基吡咯烷酮)溶液(涂敷液)而形成。此時，作為溶劑的nmp(去除對象物質)也浸滲于多孔質膜的孔。

孔中殘留有nmp的耐熱隔離物的透氣度比孔中未殘留有nmp的耐熱隔離物的透氣度低。透氣度越低，越阻礙利用耐熱隔離物的鋰離子二次電池的鋰離子的移動，因此鋰離子二次電池的輸出降低。因此，優(yōu)選能夠清洗為在耐熱隔離物的孔中不殘留有nmp。

圖4是示出本實施方式的清洗裝置6的結構的剖視圖。如圖4所示，清洗裝置6(膜清洗裝置)具備清洗槽15～19。清洗槽15～19分別由清洗水w(清洗液)充滿。另外，清洗裝置6還具備搬運耐熱隔離物s且能夠旋轉的多個輥。在上述的輥中，輥a～n是對由清洗槽15清洗的耐熱隔離物s進行搬運的輥。

從清洗工序的上游工序(例如，涂敷工序)搬運來的耐熱隔離物s經由輥a～n而在清洗槽15中充滿的清洗水w中(以下稱為“水中”)通過。輥a～n(搬運輥)規(guī)定清洗槽15中的耐熱隔離物s的搬運路徑。在清洗槽17以及18中，也通過與清洗槽15中的輥相同的輥a～n對耐熱隔離物s進行搬運。在清洗槽16以及19中，除了省略了輥n這一點，通過與清洗槽15中的輥相同的輥a～m對耐熱隔離物s進行搬運。

清洗裝置6還具備驅動輥r和輔助輥p、q。驅動輥r是被電動機等的動力驅動而旋轉的輥。驅動輥r以驅動輥r的表面的速度與耐熱隔離物s的搬運速度相同的方式而被驅動。驅動輥r在清洗槽之間對耐熱隔離物s施加搬運方向(md：machinedirection)的力。輔助輥p、q規(guī)定驅動輥r與耐熱隔離物s接觸的表面的范圍(所謂的“抱角”)。抱角是指在輥的外周供膜接觸的圓弧相對于輥的軸的角度?？梢詫⒃擈寗虞乺與輔助輥p、q配置在清洗水w中，但優(yōu)選如圖4所示那樣配置在清洗槽之間從而不需要實施防水處理。

如以上那樣，驅動輥r在清洗槽15的輥a的位置與清洗槽19的輥m的位置之間對耐熱隔離物s施加用于搬運的力。在此，清洗槽15的輥a是即將將耐熱隔離物s向清洗槽15搬入之前的輥。清洗槽19的輥m是剛剛將耐熱隔離物s從清洗槽19搬出之后的輥。

而且，上述的驅動輥r的力優(yōu)選在清洗槽16的輥1與清洗槽17的輥b之間施加于耐熱隔離物s。例如，優(yōu)選將驅動輥r以及輔助輥p、q配置在搬運路徑中的、從上游側的清洗槽16(從水中)搬出耐熱隔離物s之后且向下游側的清洗槽17(向水中)搬入耐熱隔離物s之前的位置。

本實施方式的清洗方法包括將耐熱隔離物s沿其長度方向搬運的工序、和使搬運中的耐熱隔離物s依次通過清洗槽15～19內充滿的清洗水w中從而進行清洗的工序。這樣，耐熱隔離物s從上游的清洗槽向下游的清洗槽被依次搬運。在此，若無特別說明，“上游”以及“下游”是指隔離物的搬運方向上的上游以及下游。

在清洗槽15～19中的清洗完成之后，耐熱隔離物s向清洗工序的下游工序(例如干燥工序)被搬運。

通過使耐熱隔離物s在清洗水w中通過，從而nmp從耐熱隔離物s的孔向水中擴散。在此，清洗水w的nmp濃度越低，nmp的擴散量越大。

耐熱隔離物s依次在清洗槽15～19中被清洗，因此在下游的清洗槽中，清洗水w的nmp濃度比上游的清洗槽低。即，nmp的擴散階段性地進行，因此能夠可靠地去除堵塞于孔中的nmp。

如圖4所示，也可以使清洗水w從隔離物搬運方向上的下游的清洗槽19直至上游的清洗槽15沿方向d流動。為此，例如，可以使清洗槽15～19之間的障壁隨著從隔離物搬運方向上的下游朝向上游而變低。此時，本實施方式的清洗方法還具備如下工序：向下游的清洗槽供給清洗水w，并且將下游的清洗槽內的清洗水w向上游的清洗槽供給，由此更新各清洗槽內的清洗液。部分清洗水w從上游的清洗槽15排出。由此，能夠有效利用清洗水w，并且使隔離物搬運方向上的下游的清洗槽的清洗水w的nmp濃度比上游的清洗槽的清洗水w的nmp濃度低。

通過使nmp的擴散階段性地進行，與僅由一個清洗槽進行清洗的情況相比能夠更有效地去除nmp。因此，能夠縮短清洗中的耐熱隔離物s的搬運距離。故而，能夠在抑制折疊、破壞的同時對機械強度比無孔膜低的耐熱隔離物s進行清洗。

耐熱隔離物s的寬度越寬生產性越高。故而，耐熱隔離物s的寬度(與md垂直的方向的長度)多大至接近清洗槽15～19的寬度。另外，清洗槽15～19的寬度按照耐熱隔離物s的寬度而設計。

若耐熱隔離物s的寬度變寬而使得耐熱隔離物s的端部與清洗槽15～19之間的間隙變窄，則清洗槽15～19中充滿的清洗水w成為分割為耐熱隔離物s的一面?zhèn)?清洗槽的中心側)與另一面?zhèn)?清洗槽的兩端(圖4中左右端)側)的狀態(tài)。

在清洗槽15～19進行的清洗中，大多通過清洗槽間的溢流而供給、排出清洗水w。此時，存在雖然分割至耐熱隔離物s的一面?zhèn)鹊那逑此畐被供給、排出，但分割至耐熱隔離物s的另一面?zhèn)鹊那逑此畐滯留的情況。

于是，本實施方式的清洗方法也可以包括如下的工序：在清洗槽15～19中的至少一個清洗槽中，使清洗水w循環(huán)從而促進耐熱隔離物s的一面?zhèn)扰c另一面?zhèn)戎g的清洗水w的更替。此時，清洗裝置6可以在清洗槽15～19中的至少一個清洗槽中還具備具有清洗水w的供給、排出口的循環(huán)裝置。由此，能夠使一個清洗槽內的清洗水w的nmp濃度進一步均勻化，能夠促進nmp的高效的去除。

清洗水w不限于水，只要是能夠從耐熱隔離物s去除nmp的清洗液即可。另外，清洗水w也可以包含表面活性劑等清洗劑、酸(例如鹽酸)或堿。而且，清洗水w的溫度優(yōu)選為120℃以下。在該溫度下，耐熱隔離物s熱收縮的可能性減小。另外，清洗水w的溫度更優(yōu)選為20℃以上且100℃以下。

以上的耐熱隔離物s的清洗方法也能夠應用于不具有耐熱層的隔離物(例如聚烯烴隔離物)的清洗方法。

上述隔離物例如通過將對超高分子量聚乙烯等高分子量聚烯烴與無機填充劑或增塑劑進行混煉而獲得的聚烯烴樹脂組合物成形為膜狀并進行延伸而形成。而且，通過將無機填充劑或增塑劑(去除對象物質)沖洗掉，從而形成隔離物的孔。

上述去除對象物質未被沖洗掉而殘留在孔中的隔離物的透氣度比在孔中未殘留有上述去除對象物質的隔離物的透氣度低。透氣度越低，利用隔離物的鋰離子二次電池的鋰離子的移動越受到阻礙，因此鋰離子二次電池的輸出降低。因此，優(yōu)選能夠清洗為隔離物的孔中不殘留有上述去除對象物質。

用于對含有無機填充劑的隔離物進行清洗的清洗液只要是能夠從隔離物去除無機填充劑的清洗液即可。優(yōu)選為含有酸或堿的水溶液。

用于對含有增塑劑的隔離物進行清洗的清洗液只要是能夠從隔離物去除增塑劑的清洗液即可。優(yōu)選為二氯甲烷等有機溶劑。

綜上，成形為膜狀的聚烯烴樹脂組合物(膜)的清洗方法包括將隔離物的中間產品即長條的膜沿其長度方向搬運的工序、和使搬運中的該膜在上述的清洗槽15～19內充滿的清洗液中依次通過從而進行清洗的工序。

這樣，在圖4中，可以將耐熱隔離物s設為作為隔離物的中間產品的膜。另外，也可以將清洗水w設為含有酸或堿的水溶液。

而且可以解釋為，聚烯烴隔離物的制造方法包括：成形長條且多孔質的隔離物的中間產品即以聚烯烴為主要成分的長條的膜的成形工序、和在該成形工序之后執(zhí)行的上述的膜清洗方法所包括的各工序。

利用了作為層疊隔離物的耐熱隔離物s的清洗方法的耐熱隔離物s的制造方法也包含于本發(fā)明。在此，耐熱隔離物s為包含圖3所示的多孔質膜5(基材)、和層疊于多孔質膜5的耐熱層4(功能層)的層疊隔離物。而且可以解釋為，該制造方法包括：成形長條且多孔質的耐熱隔離物s的成形工序、和在所述成形工序之后執(zhí)行的上述的隔離物清洗方法的各工序。

“成形工序”包括：為了層疊耐熱層4而將包含構成耐熱層4的芳族聚酰胺樹脂(物質)的nmp(液狀物質)涂覆于多孔質膜5的涂覆工序、和在該涂覆工序之后使芳族聚酰胺樹脂凝固的凝固工序。

“各工序”是指將耐熱隔離物s沿其長度方向搬運的工序、和使搬運中的耐熱隔離物s在清洗槽15～19內充滿的清洗水w中依次通過從而進行清洗的工序。

根據以上內容，能夠制造nmp少且抑制了折疊、破壞的層疊隔離物。需要說明的是，耐熱層也可以是上述的粘接層。

(m字狀路徑)

以下，對清洗裝置6所具備的輥m、輥n、以及輥a進行更詳細的說明。在此，對在清洗槽15與清洗槽16之間配置的輥m、輥n、以及輥a進行說明。其中，對于在清洗槽17與清洗槽19之間配置的輥m、輥n、以及輥a也是同樣的。

圖5是圖4所示的清洗裝置6中的一組輥m、輥n、以及輥a的剖視圖。輥m(第一輥)、輥n(第二輥)以及輥a(第三輥)的組設置在搬運路徑上的上游側的清洗槽15(第一清洗槽)與下游側的清洗槽16(第二清洗槽)之間。輥n配置在輥m與輥a之間。在俯視觀察時，輥m以及輥n位于清洗槽15的范圍內，輥a位于清洗槽16的范圍內。輥m、n、a可以是由動力驅動而旋轉的驅動輥，也可以是通過與耐熱隔離物s之間的摩擦力而旋轉的從動輥。在此，各輥m、n、a的表面的速度與耐熱隔離物s的搬運速度相同。

從清洗槽15(從水中)搬出的耐熱隔離物s依次與輥m、輥n、以及輥a接觸，并向清洗槽16(向水中)搬入。輥m、輥n、以及輥a在清洗槽之間搬運耐熱隔離物s(搬運工序)。

輥m、a與耐熱隔離物s的一個面sm接觸。在輥m以及輥a之間，輥n與耐熱隔離物s的另一個面sn接觸。輥m、a支承耐熱隔離物s的一側(下側)，且輥n從耐熱隔離物s的另一側(上側)按壓耐熱隔離物s。以輥n為邊界，耐熱隔離物s的搬運方向從下降變?yōu)樯仙?。在從輥m的軸向觀察時，耐熱隔離物s通過m字狀的搬運路徑。通過與輥m接觸，附著在耐熱隔離物s的面sm側的清洗水w從耐熱隔離物s被去除。另外，通過與輥n接觸，附著在耐熱隔離物s的面sn側的清洗水w從耐熱隔離物s被去除。從清洗槽15搬出的耐熱隔離物s上附著的清洗水w的污染程度(同等的去除對象物的濃度)與清洗槽15中充滿的清洗水w同等。

通過輥m從面sm去除的清洗水w返回上游的清洗槽15。同樣，通過輥n從面sn去除的清洗水w返回上游的清洗槽15。例如，清洗水w在耐熱隔離物s的上側的面sn上沿著輥n而在耐熱隔離物s的寬度方向上移動，并從耐熱隔離物s的端部散落。

在俯視觀察時，若輥m、n處于清洗槽15的范圍內，則從輥m、n掉落的清洗水w會返回清洗槽15?；蛘?，若至少輥m、n的下端處于清洗槽15的范圍內，則從輥m、n掉落的清洗水w會返回清洗槽15?；蛘撸部梢栽趍、n的下側設置導流件，使去除的清洗水w通過導流件而返回清洗槽15。

由此，從清洗槽15搬出的耐熱隔離物s的兩面上附著的水分從耐熱隔離物s被去除，并掉落至清洗槽15。由此，能夠減少該清洗槽15中充滿的清洗水w(比清洗槽16～19中充滿的清洗水w臟)被帶入比清洗槽15靠下游側的清洗槽16～19的量。從而，能夠防止清洗槽16～19中充滿的清洗水w的污染(去除對象物濃度的上升)。另外，通過將耐熱隔離物s的表面上附著的去除對象物濃度高的液體在清洗槽間從耐熱隔離物s的表面去除，從而在下游的清洗槽中，能夠更有效地使去除對象物從耐熱隔離物s擴散。

圖6是示出在清洗裝置中設置導流件的情況下的導流件的配置例的剖視圖。如圖6所示，也可以在清洗槽15與清洗槽16之間設置導流件20。在此，在俯視觀察時，輥n、a的最下點包含于導流件20的范圍。在輥m、輥n、或輥a的下側設置導流件的情況下，該輥不需要位于清洗槽15的范圍內。在此，輥n位于清洗槽15與清洗槽16的中間。從輥m掉落的清洗水w直接返回清洗槽15。從輥n、a掉落的清洗水被導流件20承接，并通過導流件20而返回清洗槽15。

需要說明的是，在從橫剖方向(td：transversedirection)觀察時，三個輥m、n、a的旋轉軸的位置優(yōu)選呈直線狀排列。換言之，三個輥m、n、a的旋轉軸優(yōu)選位于一個平面上。另外，輥n的抱角優(yōu)選小于180度。抱角是指在輥上供耐熱隔離物s接觸的圓弧相對于輥的軸的角度。即，輥的前后的耐熱隔離物s的搬運方向與該輥的抱角的量相應地改變。

(輥的旋轉)

輥n的表面np的速度也可以與耐熱隔離物s的搬運速度不同。即，輥n的表面np(曲面)與耐熱隔離物s發(fā)生滑動。在該情況下，輥n可以是被驅動而以規(guī)定的速度旋轉的驅動輥，也可以是從動輥。在輥n的表面np與耐熱隔離物s發(fā)生滑動的情況下，輥n的表面np(與耐熱隔離物s接觸的部分)優(yōu)選由樹脂形成。若輥n的表面np為樹脂，則能夠減小與耐熱隔離物s之間的摩擦力，抑制耐熱隔離物s的磨損以及斷裂。

在輥n為從動輥的情況下，通過一定程度地增大輥n與其軸之間的摩擦力，能夠構成為輥n的表面np被耐熱隔離物s拖動。

在輥n為驅動輥的情況下，輥n的表面np旋轉移動的方向與耐熱隔離物s的搬運方向可以相同也可以不同。在輥n的表面np所旋轉移動的方向與耐熱隔離物s的搬運方向不同的情況下，能夠通過輥n與耐熱隔離物s之間的滑動而更有效地從耐熱隔離物s的表面sn去除清洗水w。

另外，輥n也可以固定而不旋轉。另外，輥n的表面可以由金屬形成。

輥m、a也可以采用與輥n同樣的結構。

(輥的表面形狀)

另外，輥n的表面np也可以設有凹凸形狀。例如，作為凹凸形狀，可以在輥n的表面np形成有螺旋狀的槽、曲線狀的槽、或者直線狀的槽。輥n的表面np的槽優(yōu)選在耐熱隔離物s的寬度方向上超出耐熱隔離物s的端部而延伸。由此，在輥n與耐熱隔離物s之間被去除的清洗水通過槽中而向比耐熱隔離物s靠寬度方向的外側排出。螺旋狀的槽優(yōu)選與耐熱隔離物s對置的部位形成在隨時間經過而向耐熱隔離物s的寬度方向上的外側偏移的朝向。另外，直線狀的槽也可以形成為與輥n的軸平行。

同樣地，也可以在輥m、a的表面形成凹凸形狀(槽)。也可以在輥a的下側設置導流件，以使輥a所去除的清洗水w返回清洗槽15。

需要說明的是，在清洗裝置6中，也可以代替耐熱隔離物s而進行不具有功能層的隔離物、或者不具有孔的塑料膜等各種膜的清洗。

〔備注事項〕

另外，上述第二輥的表面的速度也可以與上述膜的搬運速度不同。

根據上述的結構，第二輥與膜發(fā)生滑動。故而，能夠更有效地去除膜上附著的清洗液。

另外，也可以驅動上述第二輥旋轉。

根據上述的結構，通過使第二輥的表面的速度為膜的搬運速度以上，從而能夠沿搬運方向拉伸膜。在液體中通過的膜由于液體的粘性而受到阻力。通過在清洗槽間驅動第二輥，能夠使第二輥的上游側的膜的張力減少，從而防止膜的斷裂。另外，通過使第二輥的表面的速度小于膜的搬運速度，能夠更有效地去除膜上附著的清洗液。

另外，也可以在上述第二輥的表面設有凹凸形狀。

根據上述的結構，能夠通過凹凸形狀將從膜去除的清洗液高效地向膜的外側排出。

另外，也可以在上述第二輥的上述表面設有螺旋狀、曲線狀、或者直線狀的槽。

根據上述的結構，能夠將從膜去除的清洗液通過槽而排出。

另外，上述第二輥的上述槽可以在上述膜的寬度方向上超出上述膜的端部而延伸。

根據上述的結構，能夠將從膜去除的清洗液通過槽而向膜的寬度方向上的外側排出。

另外，相對于上述膜進行滑動的上述第二輥的上述表面也可以由樹脂形成。

根據上述的結構，能夠防止膜的磨損或斷裂。

另外，也可以采用上述第二輥的表面的速度與上述膜的搬運速度不同的結構。

另外，上述第二輥也可以采用被驅動而旋轉的結構。

另外，也可以采用在上述第二輥的表面設有凹凸形狀的結構。

另外，也可以采用在上述第二輥的上述表面設有螺旋狀或者直線狀的槽的結構。

另外，上述第二輥的上述槽也可以采用在上述膜的寬度方向上超出上述膜的端部而延伸的結構。

另外，相對于上述膜進行滑動的上述第二輥的上述表面也可以采用由樹脂形成的結構。

本發(fā)明并不限定于上述的各實施方式，能夠在技術方案所示的范圍內進行各種變更，關于對不同實施方式中分別公開的技術手段進行適當組合而得到的實施方式也包含于本發(fā)明的技術范圍內。