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高Q值低損耗超高頻高溫超導濾波器的制作方法

文檔序號:12275974閱讀:425來源:國知局
高Q值低損耗超高頻高溫超導濾波器的制作方法與工藝
本發(fā)明涉及超導濾波器
技術(shù)領(lǐng)域
,更具體地說,特別涉及一種高Q值低損耗超高頻高溫超導濾波器。
背景技術(shù)
:高溫超導薄膜具有極低的微波表面電阻,因此利用高溫超導材料制作的微帶線濾波器具有插入損耗低,帶邊陡峭度高、帶外抑制好等特點,已經(jīng)廣泛應(yīng)用在天文觀測、移動通訊、衛(wèi)星通信、目標監(jiān)測等領(lǐng)域。但是,隨著科學技術(shù)的發(fā)展,利用微波通信的電子元件不斷增加,頻譜資源日益緊張,工作頻率不斷向更高頻段擴展,超高頻段的超導濾波器研究受到關(guān)注。目前,高溫超導濾波器的研究和應(yīng)用主要集中于3GHz以下的頻段,針對更高頻率的高溫超導濾波器研究應(yīng)用較少。隨著微波系統(tǒng)在各個應(yīng)用領(lǐng)域的迅猛發(fā)展,頻譜資源日益緊張,工作頻段不斷的往更高頻率擴展,對濾波器的性能要求也越來越苛刻。因此,在更高的頻段研制具有極低帶內(nèi)損耗、高帶邊陡峭度和高帶外抑制的濾波器成為迫切需求。技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供一種高Q值低損耗超高頻高溫超導濾波器,導體電路結(jié)構(gòu)簡單,充分利用高溫超導材料的低損耗特點,是一種具有低插損的超導濾波器。一種高Q值低損耗超高頻高溫超導濾波器,其特征在于:該超導濾波器為十字型,中部寬于兩端,超導濾波器的基底為MgO基片,所述基片厚度為0.5mm;該超導濾波器封裝于金屬屏蔽盒內(nèi)微波濾波器的插入損耗取決于很多不同的因素,可以用如下公式表示:(1),其中,表示中心頻率處的插損,是濾波器的相對帶寬,為諧振器的無載Q值,是指諧振器節(jié)數(shù),為低通原型電路的元件值。根據(jù)廣泛采用的濾波器基本設(shè)計理論,相對帶寬和節(jié)數(shù)由濾波器的基本參數(shù)要求所決定,當濾兩者確定時,濾波器插損與諧振器的無載Q值成反比。因此,無載Q值是影響濾波器插損的關(guān)鍵。要充分利用高溫超導材料的低損耗特點,設(shè)計具有低插損的超導濾波器,必須首先設(shè)計出具有高無載Q值的諧振器結(jié)構(gòu)。而微帶線諧振器的損耗主要來源于導體損耗、介質(zhì)損耗以及電磁波輻射損耗,對應(yīng)的品質(zhì)因素分別用、和表示,諧振器無載Q值可表示為:(2),在超高頻超導濾波器的設(shè)計中,由于微波表面電阻的快速上升和輻射損耗的加劇,給諧振器結(jié)構(gòu)的設(shè)計帶來了很大限制。由式(2)可知,微帶線諧振器的無載Q值由、和共同決定。通過理論公式分析結(jié)合軟件仿真的方法,研究了影響導體損耗、介質(zhì)損耗以及輻射損耗的參數(shù)。其中,輻射損耗對應(yīng)的主要取決于濾波器所在的金屬封裝盒。只要金屬盒封閉,就能得到足夠高的。而介質(zhì)損耗對應(yīng)的與基片厚度之間的關(guān)系如圖1所示,呈線性關(guān)系,基片越厚,越高。故本發(fā)明選取較厚的0.5mm的MgO基片作為超導濾波器的基底。對于超高頻段的諧振器,導體電路結(jié)構(gòu)簡單,而且需要很大的線寬來盡量減小導體損耗,所以在優(yōu)化線寬的基礎(chǔ)上難以通過諧振器線條的螺旋等布局來優(yōu)化。主要通過諧振器結(jié)構(gòu)的精細化設(shè)計,盡量減小導體表面電流密度。諧振器結(jié)構(gòu)如圖2所示,以一個微帶線寬0.6mm的矩形諧振器變化而來,五種諧振器的基頻諧振均保持在16GHz附近。采用相同的損耗參數(shù)設(shè)置,仿真得到的無載Q值如表1所示。表1諧振器結(jié)構(gòu)無載Q值(a)5890(b)6480(c)4660(d)4260(e)3830對于超高頻段的半波長諧振器,結(jié)構(gòu)的細微變化都會影響無載Q值。圖2(b)諧振器相對于圖2(a)的無載Q值有所增大,主要是由于半波長諧振器的中部電流密度大,兩端電流密度小,諧振器中部的寬度對無載Q值影響顯著。其它諧振器的無載Q值均減小,主要是由于存在彎折等結(jié)構(gòu),導致電流密度增大。結(jié)合以上分析,為了保證較高的無載Q值,超導濾波器可設(shè)計為寬線條十字型,中部寬于兩端。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明設(shè)計為寬線條十字型,中部寬于兩端,采用較厚的基片,封裝于金屬屏蔽盒內(nèi),降低了超高頻濾波器的損耗、提高了諧振器Q值。附圖說明為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1是諧振器Qd與基片厚度的關(guān)系曲線。圖2是諧振器五種結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本發(fā)明所述濾波器電路示意圖。圖4是本發(fā)明所述仿真響應(yīng)曲線。圖5是本發(fā)明所述封裝好的超導濾波器俯視圖。具體實施方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實施例進行詳細闡述,以使本發(fā)明的優(yōu)點和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解,從而對本發(fā)明的保護范圍做出更為清楚明確的界定。實施例本發(fā)明提供一個高Q值、低損耗的超高頻超導濾波器。濾波器設(shè)計指標為:中心頻率16GHz,等波紋帶寬1GHz(相對帶寬6.25%),采用7節(jié)切比雪夫原型設(shè)計,耦合系數(shù)和外部Q值計算得到:(3)濾波器最終的電路圖如圖3所示?;叽鐬?0mm×4.0mm,厚度為0.5mm,結(jié)構(gòu)非常緊湊。雙面鍍有YBCO超導薄膜的MgO基片上,通過光刻和Ar離子刻蝕的方法制備濾波器電路。然后將制作完成的濾波器封裝在金屬質(zhì)屏蔽盒內(nèi),輸入\輸出饋線用銀膠進行連接。封裝好的7節(jié)Ku波段超導濾波器俯視圖如圖5所示。經(jīng)過Sonnet仿真軟件仿真的頻率響應(yīng)曲線如圖4所示。從仿真結(jié)果來看,濾波器的回波損耗低于-20dB,通帶內(nèi)非常平坦。并且通帶左側(cè)還有一個傳輸零點,這是由于諧振器之間的非相鄰耦合引起的,顯著提高了濾波器的帶邊陡峭度。測試表明,在超高頻高溫條件下,本發(fā)明仍具有高Q值、低損耗的優(yōu)點。雖然結(jié)合附圖描述了本發(fā)明的實施方式,但是專利所有者可以在所附權(quán)利要求的范圍之內(nèi)做出各種變形或修改,只要不超過本發(fā)明的權(quán)利要求所描述的保護范圍,都應(yīng)當在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。當前第1頁1 2 3 
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