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一種基于體布拉格光柵的窄線寬半導體激光器的制作方法

文檔序號:12276433閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種基于體布拉格光柵的窄線寬半導體激光器,其特征在于,包括半導體光放大器芯片(1)、體布拉格光柵(4),所述半導體光放大器芯片(1)、體布拉格光柵(4)形成諧振腔,其中,所述體布拉格光柵(4)作為窄線寬半導體激光器的外腔選頻元件,所述半導體光放大器芯片(1)提供增益,且所述體布拉格光柵(4)為高衍射效率、窄帶寬的布拉格光柵以使激光器輸出窄線寬激光。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種基于體布拉格光柵的窄線寬半導體激光器,其特征在于,還包括用于補償溫度變化導致諧振腔長偏移的相位補償片(3),所述相位補償片(3)位于半導體光放大器芯片(1)與體布拉格光柵(4)光路之間。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種基于體布拉格光柵的窄線寬半導體激光器,其特征在于,所述半導體光放大器芯片(1)后端面鍍有高反膜作為激光器諧振腔的后腔鏡,所述半導體光放大器芯片(1)前端面鍍有增透膜,所述體布拉格光柵(4)作為激光器諧振腔的前腔鏡,所述半導體光放大器芯片(1)前端面輸出光信號經(jīng)過相位補償片(3)后進入體布拉格光柵(4),一部分衍射光經(jīng)濾波后反射回半導體光放大器芯片(1)形成激光諧振,另一部分光作為激光輸出。

4.根據(jù)權利要求3所述的一種基于體布拉格光柵的窄線寬半導體激光器,其特征在于,還包括輸出準直透鏡(2)、光隔離器(5),所述半導體光放大器芯片(1)、輸出準直透鏡(2)、相位補償片(3)、體布拉格光柵(4)、光隔離器(5)依次排列,所述半導體光放大器芯片(1)前端面輸出光信號經(jīng)過輸出準直透鏡(2)準直以及相位補償片(3)后,進入體布拉格光柵(4),一部分衍射光經(jīng)濾波后反射回半導體光放大器芯片(1)形成激光諧振,另一部分光通過光隔離器(5)作為激光輸出。

5.根據(jù)權利要求4所述的一種基于體布拉格光柵的窄線寬半導體激光器,其特征在于,所述體布拉格光柵(4)的衍射效率不低于50%,帶寬不高于0.1nm。

6.根據(jù)權利要求2所述的一種基于體布拉格光柵的窄線寬半導體激光器,其特征在于,所述體布拉格光柵(4)作為激光器諧振腔的后腔鏡,所述半導體光放大器芯片(1)后端面鍍有增透膜,所述半導體光放大器芯片(1)前端面鍍有部分反射膜作為激光器諧振腔的前腔鏡,所述體布拉格光柵(4)的衍射光經(jīng)相位補償片(3)后進入所述半導體光放大器芯片(1),經(jīng)所述半導體光放大器芯片(1)前端面將一部分光反射回體布拉格光柵(4),另一部分光從所述半導體光放大器芯片(1)前端面輸出。

7.根據(jù)權利要求6所述的一種基于體布拉格光柵的窄線寬半導體激光器,其特征在于,還包括輸出準直透鏡(2)、光隔離器(5)及外腔準直器透鏡(6),所述體布拉格光柵(4)、相位補償片(3)、外腔準直器透鏡(6)、半導體光放大器芯片(1)、輸出準直透鏡(2)、光隔離器(5)依次排列,其中,所述體布拉格光柵(4)、相位補償片(3)、外腔準直器透鏡(6)、半導體光放大器芯片(1)構成外腔部分,所述輸出準直透鏡(2)、光隔離器(5)構成耦合輸出部分,所述體布拉格光柵(4)的衍射光經(jīng)相位補償片(3)、外腔準直器透鏡(6)后進入所述半導體光放大器芯片(1),經(jīng)所述半導體光放大器芯片(1)前端面將一部分光反射回體布拉格光柵(4),另一部分光從所述半導體光放大器芯片(1)前端面出射后經(jīng)過輸出準直透鏡(2)、光隔離器(5)輸出激光。

8.根據(jù)權利要求7所述的一種基于體布拉格光柵的窄線寬半導體激光器,其特征在于,所述體布拉格光柵(4)的衍射效率不低于95%,帶寬不高于0.1nm。

9.根據(jù)權利要求2所述的一種基于體布拉格光柵的窄線寬半導體激光器,其特征在于,所述相位補償片(3)是正溫度系數(shù)或者負溫度系數(shù)的透光材料;

如果激光諧振腔是隨環(huán)境溫度的升高而縮短,則選用正溫度系數(shù)的相位補償片(3),如果激光諧振腔隨環(huán)境溫度的升高而增長,則選用負溫度系數(shù)的相位補償片(3)。

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