技術(shù)總結(jié)
一種陣列基板及其制備方法以及顯示裝置,該制備方法包括:提供襯底基板;在所述襯底基板上形成第一電極;在所述第一電極上形成第一絕緣層,并且在所述第一絕緣層中形成第一過孔;在所述第一絕緣層上形成有源層,所述有源層通過所述第一過孔與所述第一電極電連接;在所述有源層上形成柵絕緣層;在所述柵絕緣層上形成柵極,所述柵極與所述有源層在垂直于所述襯底基板的方向上至少部分重疊;在所述柵極和所述柵絕緣層上形成第二絕緣層,并且在所述第二絕緣層和所述柵絕緣層中形成第二過孔;在所述第二絕緣層上形成像素電極,所述像素電極通過所述第二過孔與所述有源層電連接。該制備方法可以提高有源層的品質(zhì),降低接觸電阻。
技術(shù)研發(fā)人員:李峰;史大為;王鳳國;劉弘;武新國;王子峰;馬波;郭志軒;李元博
受保護(hù)的技術(shù)使用者:京東方科技集團(tuán)股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司
文檔號碼:201611091449
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.01
技術(shù)公布日:2017.03.22