本發(fā)明涉及一種激光裝置。

背景技術(shù)：

由于激光裝置內(nèi)部的溫度差或濕度等，有時(shí)在激光裝置的內(nèi)部發(fā)生結(jié)露。當(dāng)發(fā)生結(jié)露時(shí)，可能成為發(fā)生電短路、或者引起部件的污染或腐蝕的原因。

提出了以在激光裝置或其它一般的電子設(shè)備中防止結(jié)露為目的的各種技術(shù)(參照日本特開2001-326410號(hào)公報(bào)、日本特開昭61-079285號(hào)公報(bào)、日本特開2003-060268號(hào)公報(bào)、日本特開2012-024778號(hào)公報(bào)、日本特開平03-252199號(hào)公報(bào))。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

尋求一種能夠可靠地防止結(jié)露的激光裝置。

根據(jù)本申請(qǐng)的第一發(fā)明，提供一種激光裝置，該激光裝置具備激光振蕩器以及向所述激光振蕩器提供驅(qū)動(dòng)電流的電源部，該激光裝置的特征在于，構(gòu)成為從該激光裝置的外部的冷卻水供給裝置供給冷卻水以對(duì)該激光裝置的內(nèi)部的發(fā)熱部件進(jìn)行冷卻，所述激光裝置具備：殼體，其具備將從所述激光裝置的外部向所述激光裝置的內(nèi)部的空氣侵入流量抑制為規(guī)定的值以下的密封度；除濕器，其對(duì)所述激光裝置的內(nèi)部的空氣進(jìn)行除濕；濕度檢測(cè)器，其檢測(cè)所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的濕度；第一溫度檢測(cè)器，其檢測(cè)所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的溫度；第二溫度檢測(cè)器，其檢測(cè)從所述激光裝置的外部供給的冷卻水的溫度；計(jì)算部，其根據(jù)所述濕度檢測(cè)器和所述第一溫度檢測(cè)器的檢測(cè)結(jié)果，來計(jì)算所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)；判定部，其根據(jù)所述第二溫度檢測(cè)器的檢測(cè)結(jié)果以及由所述計(jì)算部計(jì)算出的所述露點(diǎn)，判定是否滿足流入開始條件或者振蕩開始條件，該流入開始條件是開始向所述激光裝置的內(nèi)部流通所述冷卻水的條件，該振蕩開始條件是從所述電源部向所述激光振蕩器提供驅(qū)動(dòng)電流來在所述激光振蕩器中開始激光振蕩的條件；以及控制部，其按照所述判定部的判定結(jié)果，對(duì)設(shè)置于從所述冷卻水供給裝置供給的冷卻水的配管的開閉閥的開閉、或者從所述電源部向所述激光振蕩器的驅(qū)動(dòng)電力的供給進(jìn)行控制，所述控制部構(gòu)成為：在所述判定部將由所述計(jì)算部計(jì)算出的所述露點(diǎn)與由所述第二溫度檢測(cè)器檢測(cè)出的冷卻水溫度進(jìn)行比較后判定為滿足了(露點(diǎn))+(第一規(guī)定溫度差)≤(冷卻水溫度)的關(guān)系以及(激光振蕩時(shí)的冷卻水溫度的下限容許溫度)≤(冷卻水溫度)≤(激光振蕩時(shí)的冷卻水溫度的上限容許溫度)的關(guān)系這兩方的關(guān)系的時(shí)間點(diǎn)，所述控制部打開設(shè)置于所述配管的所述開閉閥來開始向所述激光裝置的內(nèi)部流通冷卻水，之后向所述激光振蕩器提供驅(qū)動(dòng)電流來開始激光振蕩，在激光振蕩中，所述冷卻水供給裝置構(gòu)成為持續(xù)供給被控制為第一規(guī)定溫度范圍內(nèi)的冷卻水，該第一規(guī)定溫度范圍是從所述激光振蕩時(shí)的冷卻水溫度的下限容許溫度到所述激光振蕩時(shí)的冷卻水溫度的上限容許溫度的范圍，并且，所述除濕器構(gòu)成為持續(xù)進(jìn)行除濕以維持(露點(diǎn))+(第一規(guī)定溫度差)≤(冷卻水溫度)的關(guān)系。

根據(jù)本申請(qǐng)的第二發(fā)明，特征在于，所述除濕器具有超過根據(jù)將從所述激光裝置的外部向所述激光裝置的內(nèi)部的空氣侵入流量抑制為規(guī)定的值以下的殼體的密封度以及所述激光裝置的容許環(huán)境條件而假定出的、從所述激光裝置的外部向所述激光裝置的內(nèi)部侵入的每單位時(shí)間的最大水分量的除濕能力。

根據(jù)本申請(qǐng)的第三發(fā)明，特征在于，所述除濕器構(gòu)成為在從所述冷卻水供給裝置向所述激光裝置的內(nèi)部供給冷卻水的期間內(nèi)持續(xù)除濕。

根據(jù)本申請(qǐng)的第四發(fā)明，特征在于，所述除濕器被控制為使所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)進(jìn)入比所述第一規(guī)定溫度范圍低溫的第二規(guī)定溫度范圍內(nèi)，在所述露點(diǎn)進(jìn)入所述第二規(guī)定溫度范圍內(nèi)之后，所述除濕器被控制為使所述露點(diǎn)不脫離所述第二規(guī)定溫度范圍內(nèi)。

根據(jù)本申請(qǐng)的第五發(fā)明，特征在于，所述激光裝置還具備對(duì)所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的溫度進(jìn)行調(diào)整的空氣溫度調(diào)節(jié)器，基于來自所述控制部的指令，通過所述空氣溫度調(diào)節(jié)器進(jìn)行控制，使得由所述第一溫度檢測(cè)器檢測(cè)的所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的溫度進(jìn)入第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)，該第三規(guī)定溫度范圍具有與所述第一規(guī)定溫度范圍的下限溫度大致同溫的下限值、或者比所述第一規(guī)定溫度范圍的下限溫度高溫的下限值，在所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的溫度進(jìn)入所述第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)之后，通過所述空氣溫度調(diào)節(jié)器進(jìn)行控制，使得所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的溫度不脫離所述第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)。

根據(jù)本申請(qǐng)的第六發(fā)明，特征在于，所述除濕器是以下方式的除濕器：將流入到所述除濕器的空氣冷卻到露點(diǎn)溫度以下，使該空氣在所述除濕器內(nèi)的結(jié)露部進(jìn)行結(jié)露，由此進(jìn)行除濕，所述激光裝置還具備對(duì)從所述除濕器流出的空氣進(jìn)行加熱的加熱部，所述加熱部通過所述控制部被控制為：該加熱部以使所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的溫度不低于所述第三規(guī)定溫度范圍的下限溫度的方式進(jìn)行大致最小限度的加熱。

根據(jù)本申請(qǐng)的第七發(fā)明，特征在于，通過所述空氣溫度調(diào)節(jié)器將所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的溫度控制為所述第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)或所述第三規(guī)定溫度范圍的下限溫度以上，所述激光裝置具備檢測(cè)所述激光裝置的外部溫度或所述殼體的溫度的第三溫度檢測(cè)器，所述第三規(guī)定溫度范圍被設(shè)定為隨時(shí)間變化的條件，所述第三規(guī)定溫度范圍的下限溫度被設(shè)定為所述第一規(guī)定溫度范圍的下限溫度與第二規(guī)定溫度差相加而得到的溫度以及由所述第三溫度檢測(cè)器檢測(cè)出的溫度減去第三規(guī)定溫度差而得到的溫度中的較高一方的溫度，所述激光裝置的內(nèi)部的空氣溫度被控制為所述第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)或所述第三規(guī)定溫度范圍的下限溫度以上。

根據(jù)本申請(qǐng)的第八發(fā)明，特征在于，通過所述加熱部將所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的溫度控制為所述第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)或所述第三規(guī)定溫度范圍的下限溫度以上，所述激光裝置具備檢測(cè)所述激光裝置的外部溫度或所述殼體的溫度的第三溫度檢測(cè)器，所述第三規(guī)定溫度范圍被設(shè)定為隨時(shí)間變化的條件，所述第三規(guī)定溫度范圍的下限溫度被設(shè)定為所述第一規(guī)定溫度范圍的下限溫度與第二規(guī)定溫度差相加而得到的溫度以及由所述第三溫度檢測(cè)器檢測(cè)出的溫度減去第三規(guī)定溫度差而得到的溫度中的較高一方的溫度，所述激光裝置的內(nèi)部的空氣溫度被控制為所述第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)或所述第三規(guī)定溫度范圍的下限溫度以上。

根據(jù)本申請(qǐng)的第九發(fā)明，特征在于，具有以下功能：除了對(duì)所述激光裝置發(fā)出完全停止指令的情況以外，即使在未對(duì)所述激光裝置發(fā)出啟動(dòng)指令的期間內(nèi)，也通過所述濕度檢測(cè)器、所述第一溫度檢測(cè)器、所述計(jì)算部、所述判定部以及所述控制部來始終地或者以規(guī)定的時(shí)間為間隔地監(jiān)視所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的濕度和溫度，當(dāng)所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)與所述第一規(guī)定溫度差相加而得到的溫度變得高于由所述第一溫度檢測(cè)器檢測(cè)出的所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的溫度時(shí)，所述除濕器自動(dòng)開始運(yùn)轉(zhuǎn)來進(jìn)行除濕。

根據(jù)本申請(qǐng)的第十發(fā)明，特征在于，所述激光裝置還具備第四溫度檢測(cè)器，該第四溫度檢測(cè)器檢測(cè)相對(duì)于所述發(fā)熱部件位于大致相同的位置或上游側(cè)的所述冷卻水配管的配管內(nèi)的冷卻水的溫度、或者與相對(duì)于所述發(fā)熱部件位于大致相同的位置或上游側(cè)的所述冷卻水配管熱接觸的構(gòu)件的溫度，所述激光裝置具有以下功能：除了對(duì)所述激光裝置發(fā)出完全停止指令的情況以外，即使在未對(duì)所述激光裝置發(fā)出啟動(dòng)指令的期間內(nèi)，當(dāng)所述空氣的露點(diǎn)與所述第一規(guī)定溫度差相加而得到的溫度變得高于由所述第四溫度檢測(cè)器檢測(cè)出的溫度以及由所述第一溫度檢測(cè)器檢測(cè)出的所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的溫度中的至少任一個(gè)時(shí)，所述除濕器也自動(dòng)開始運(yùn)轉(zhuǎn)來進(jìn)行除濕。

附圖說明

通過參照附圖所示的本發(fā)明的例示性的實(shí)施例所涉及的詳細(xì)說明，本發(fā)明的這些以及其它目的、特征及優(yōu)點(diǎn)會(huì)變得更明確。

圖1是表示第一實(shí)施例所涉及的激光裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖2是第一實(shí)施例所涉及的激光裝置的控制的時(shí)序圖。

圖3A是第一實(shí)施例所涉及的激光裝置的控制的流程圖。

圖3B是第一實(shí)施例所涉及的激光裝置的控制的流程圖。

圖4是第二實(shí)施例所涉及的激光裝置的控制的時(shí)序圖。

圖5A是第二實(shí)施例所涉及的激光裝置的控制的流程圖。

圖5B是第二實(shí)施例所涉及的激光裝置的控制的流程圖。

圖6是表示第三實(shí)施例所涉及的激光裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖7是第三實(shí)施例所涉及的激光裝置的控制的時(shí)序圖。

圖8A是第三實(shí)施例所涉及的激光裝置的控制的流程圖。

圖8B是第三實(shí)施例所涉及的激光裝置的控制的流程圖。

圖8C是第三實(shí)施例所涉及的激光裝置的控制的流程圖。

圖9是表示第四實(shí)施例所涉及的激光裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖10是第四實(shí)施例所涉及的激光裝置的控制的時(shí)序圖。

圖11是表示第五實(shí)施例所涉及的激光裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖12是第五實(shí)施例所涉及的激光裝置的控制的時(shí)序圖。

圖13是第五實(shí)施例所涉及的激光裝置的控制的時(shí)序圖。

圖14是第五實(shí)施例所涉及的激光裝置的控制的時(shí)序圖。

圖15A是第五實(shí)施例所涉及的激光裝置的控制的流程圖。

圖15B是第五實(shí)施例所涉及的激光裝置的控制的流程圖。

圖15C是第五實(shí)施例所涉及的激光裝置的控制的流程圖。

圖16是第六實(shí)施例所涉及的激光裝置的控制的流程圖。

圖17是表示第七實(shí)施例所涉及的激光裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖18是第七實(shí)施例所涉及的激光裝置的控制的流程圖。

具體實(shí)施方式

下面，參照附圖來說明本發(fā)明的實(shí)施例。對(duì)相同或?qū)?yīng)的結(jié)構(gòu)要素使用相同的參照標(biāo)記。

參照?qǐng)D1～圖3B來說明第一實(shí)施例所涉及的激光裝置1。圖1是表示激光裝置1的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖2是控制的時(shí)序圖，圖3A和圖3B是控制的流程圖。

在第一實(shí)施例中，如圖1所示，激光裝置1具備激光振蕩器2、電源部3、殼體5、除濕器6、濕度檢測(cè)器7、第一溫度檢測(cè)器8、第二溫度檢測(cè)器9、計(jì)算部10、判定部11以及控制部12。在激光裝置1的外部設(shè)置有冷卻水供給裝置4。冷卻水供給裝置4供給冷卻水以對(duì)激光裝置1的內(nèi)部的發(fā)熱部件進(jìn)行冷卻。

激光振蕩器2是具有任意的公知結(jié)構(gòu)的激光振蕩器。激光振蕩器2經(jīng)由光學(xué)系統(tǒng)18輸出激光19。電源部3向激光振蕩器2提供驅(qū)動(dòng)電流。

殼體5是具備將從激光裝置1的外部向激光裝置1的內(nèi)部的空氣侵入流量抑制為規(guī)定的值以下所需的密封度的殼體。除濕器6對(duì)激光裝置1的內(nèi)部的空氣進(jìn)行除濕。濕度檢測(cè)器7檢測(cè)激光裝置1的內(nèi)部的空氣的濕度。

第一溫度檢測(cè)器8檢測(cè)激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度。第二溫度檢測(cè)器9檢測(cè)從激光裝置1的外部供給的冷卻水的溫度。

計(jì)算部10根據(jù)濕度檢測(cè)器7和第一溫度檢測(cè)器8的檢測(cè)結(jié)果來計(jì)算激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)。

判定部11根據(jù)第二溫度檢測(cè)器9的檢測(cè)結(jié)果和由計(jì)算部10計(jì)算出的露點(diǎn)來判定是否滿足流入開始條件或者振蕩開始條件，該流入開始條件是開始向激光裝置1的內(nèi)部流通冷卻水的條件，該振蕩開始條件是從電源部3向激光振蕩器2提供驅(qū)動(dòng)電流來在激光振蕩器2中開始激光振蕩的條件。

控制部12按照判定部11的判定結(jié)果，對(duì)設(shè)置于從冷卻水供給裝置4供給的冷卻水的配管的開閉閥的開閉、或者從電源部3向激光振蕩器2的驅(qū)動(dòng)電力的供給進(jìn)行控制。

在本說明書中，“除濕器”包括如冷卻器(Cooler)等那樣一般被稱為與“除濕器”不同的名稱的設(shè)備，包括具有除濕功能的所有設(shè)備。記載于圖1的除濕器6的附近的空心箭頭例示了向除濕器6流入的空氣的流動(dòng)方向以及從除濕器6流出的空氣的流動(dòng)方向。然而，空氣的流動(dòng)方向不限定于圖示的方向。另外，在圖1中，以粗的虛線來表示冷卻水配管16，以箭頭來例示冷卻水的流動(dòng)方向。

在第一實(shí)施例中，如圖2的時(shí)序圖所示，控制部12構(gòu)成為：在判定部11將由計(jì)算部10計(jì)算出的露點(diǎn)與由第二溫度檢測(cè)器9檢測(cè)出的冷卻水溫度進(jìn)行比較后判定為滿足了(露點(diǎn))+(第一規(guī)定溫度差)≤(冷卻水溫度)的關(guān)系以及(激光振蕩時(shí)的冷卻水溫度的下限容許溫度)≤(冷卻水溫度)≤(激光振蕩時(shí)的冷卻水溫度的上限容許溫度)的關(guān)系這兩方的關(guān)系的時(shí)間點(diǎn)，打開設(shè)置于冷卻水配管16的開閉閥來開始向激光裝置1的內(nèi)部流通冷卻水，之后向激光振蕩器2提供驅(qū)動(dòng)電流來開始激光振蕩。

在激光振蕩中，冷卻水供給裝置4構(gòu)成為持續(xù)供給被控制為第一規(guī)定溫度范圍內(nèi)的冷卻水，該第一規(guī)定溫度范圍是從激光振蕩時(shí)的冷卻水溫度的下限容許溫度到激光振蕩時(shí)的冷卻水溫度的上限容許溫度的范圍。除濕器6構(gòu)成為持續(xù)進(jìn)行除濕以維持(露點(diǎn))+(第一規(guī)定溫度差)≤(冷卻水溫度)的關(guān)系。

激光裝置1構(gòu)成為：在激光振蕩開始后，只要未檢測(cè)出能夠判定為冷卻水供給裝置4或除濕器6發(fā)生故障的現(xiàn)象，就不使激光振蕩停止，以實(shí)現(xiàn)防止激光裝置1的內(nèi)部的結(jié)露、預(yù)防激光裝置1的內(nèi)部的結(jié)露的目的。

在具有圖1所示的結(jié)構(gòu)的激光裝置1中，打開開閉閥來開始向激光裝置1的內(nèi)部流通冷卻水是指從開閉閥1(13)打開的狀態(tài)起將關(guān)閉著的開閉閥2(14)和開閉閥3(15)打開后關(guān)閉開閉閥1。相反地，關(guān)閉開閉閥來使冷卻水不流入激光裝置內(nèi)是指打開開閉閥1(13)并關(guān)閉開閉閥2(14)和開閉閥3(15)。

雖然沒有示出與控制部12連接的接線，但是開閉閥1(13)、開閉閥2(14)以及開閉閥3(15)是能夠響應(yīng)于來自控制部12的指令來進(jìn)行開閉的閥、例如電磁閥。即使處于開閉閥2(14)和開閉閥3(15)未打開的狀態(tài)，在冷卻水流動(dòng)的部分也存在結(jié)露的可能性。因而，期望的是，激光裝置1的內(nèi)部的收納有激光振蕩器2等的主體空間與冷卻水流動(dòng)的部分之間通過隔離壁17等而彼此分離。

此外，在由于激光裝置1的環(huán)境溫度為低溫等理由而冷卻水溫度低于激光振蕩時(shí)的冷卻水溫度的下限容許溫度的情況下，根據(jù)冷卻水供給裝置4的規(guī)格，有時(shí)直到冷卻水溫度達(dá)到激光振蕩時(shí)的冷卻水溫度的下限容許溫度為止需要時(shí)間。在這種情況下，為了縮短激光振蕩之前的待機(jī)時(shí)間，也可以如圖1所示那樣設(shè)置冷卻水加熱單元27，根據(jù)來自控制部12的指令，通過冷卻水加熱單元27對(duì)冷卻水進(jìn)行加熱。

反之，在激光裝置1的外部溫度即激光裝置1的環(huán)境溫度變高時(shí)，為了抑制激光裝置1的內(nèi)部的空氣溫度的上升，也可以在激光裝置1的內(nèi)部設(shè)置散熱器風(fēng)扇單元，但在圖1中并未記載。散熱器風(fēng)扇單元向在從圖1的冷卻水配管16分支出的分支管的表面形成的散熱片之間流通利用風(fēng)扇供給的激光裝置1的內(nèi)部的空氣來進(jìn)行除熱。

關(guān)于封閉空間的露點(diǎn)，只要不進(jìn)行除濕或從外部進(jìn)行加濕，那么即使空氣的溫度改變，封閉空間的露點(diǎn)也不會(huì)發(fā)生變化。因此，一旦(露點(diǎn))+(第一規(guī)定溫度差)≤(冷卻水溫度)的關(guān)系成立，則只要除濕器6具有超過根據(jù)將從激光裝置1的外部向激光裝置1的內(nèi)部的空氣侵入流量抑制為規(guī)定的值以下的殼體5的密封度以及激光裝置1的容許環(huán)境條件而假定出的、從激光裝置1的外部向激光裝置1的內(nèi)部侵入的每單位時(shí)間的最大水分量的除濕能力，就能夠使(露點(diǎn))+(第一規(guī)定溫度差)≤(冷卻水溫度)的關(guān)系持續(xù)成立。

在一個(gè)實(shí)施例中，除濕器6也可以構(gòu)成為在從冷卻水供給裝置4向激光裝置1的內(nèi)部供給冷卻水的期間內(nèi)持續(xù)進(jìn)行除濕。在該情況下，(露點(diǎn))+(第一規(guī)定溫度差)≤(冷卻水溫度)的關(guān)系持續(xù)成立，因此不發(fā)生結(jié)露。即使露點(diǎn)過度下降也沒有特別的問題，因此不需要反饋露點(diǎn)來控制除濕器6的運(yùn)轉(zhuǎn)。

因而，根據(jù)第一實(shí)施例，在激光裝置1的內(nèi)部不再發(fā)生結(jié)露，因此不再需要為了防止結(jié)露、預(yù)防結(jié)露而停止冷卻水供給、激光振蕩。通過使除濕器6連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，能夠可靠地防止結(jié)露，并且在使用壓縮機(jī)的除濕器的情況下，還具有能夠防止因開啟關(guān)閉而導(dǎo)致的壓縮機(jī)的劣化這樣的優(yōu)點(diǎn)。

除濕器6也可以是使用珀?duì)柼?yīng)元件的電子冷卻式除濕器。特別是，在第一實(shí)施例中，除濕器6進(jìn)行連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)或者接近于連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的運(yùn)轉(zhuǎn)，因此通過設(shè)為使用無可動(dòng)部且而消耗少的珀?duì)柼?yīng)元件的除濕器，能夠降低除濕器6的故障概率。此外，前述的第一規(guī)定溫度差是正的溫度差，例如能夠設(shè)定為5℃左右。

在第一實(shí)施例中，按照?qǐng)D3A和圖3B所示的流程圖，利用計(jì)算部10來計(jì)算激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)，控制部12基于判定部11的判定結(jié)果來進(jìn)行各種控制。在圖3A和圖3B中，“T_w”是冷卻水溫度，“T_w1”是激光振蕩時(shí)的冷卻水溫度的上限容許溫度、即第一規(guī)定溫度范圍的上限溫度，“T_w2”是激光振蕩時(shí)的冷卻水溫度的下限容許溫度、即第一規(guī)定溫度范圍的下限溫度。另外，“T_d”表示激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)，“ΔT₁”表示第一規(guī)定溫度差。此外，冷卻水供給裝置4在流程圖中被稱為冷卻機(jī)(Chiller)。

(步驟S101～S104)

當(dāng)對(duì)激光裝置1發(fā)出啟動(dòng)指令時(shí)，首先開始除濕器6和冷卻機(jī)4的運(yùn)轉(zhuǎn)。為了縮短直到能夠開始激光振蕩為止的待機(jī)時(shí)間，也可以在激光裝置1的使用預(yù)定時(shí)間之前，按照設(shè)定的時(shí)間安排自動(dòng)或手動(dòng)地開始冷卻機(jī)4和除濕器6中的至少任一方的運(yùn)轉(zhuǎn)。在該情況下，若在發(fā)出啟動(dòng)指令的時(shí)間點(diǎn)除濕器6或冷卻機(jī)4已處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，則也可以省略除濕器6或冷卻機(jī)4的運(yùn)轉(zhuǎn)開始工序。

(步驟S105～S107)

當(dāng)激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)T_d與第一規(guī)定溫度差ΔT₁相加而得到的溫度低于冷卻水溫度T_w、且冷卻水溫度T_w進(jìn)入表示從激光振蕩時(shí)的冷卻水溫度的下限容許溫度T_w2到激光振蕩時(shí)的冷卻水溫度的上限容許溫度T_w1的溫度范圍的第一規(guī)定溫度范圍的范圍內(nèi)時(shí)，打開來自冷卻機(jī)4的配管的開閉閥來開始冷卻水的供給，接著開始激光振蕩。

(步驟S108～S116)

一旦激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)T_d與第一規(guī)定溫度差ΔT₁相加而得到的溫度變得低于冷卻水溫度T_w、且冷卻水溫度T_w進(jìn)入第一規(guī)定溫度范圍內(nèi)之后，在冷卻水溫度T_w脫離第一規(guī)定溫度范圍內(nèi)的情況下，判定為冷卻機(jī)4發(fā)生故障。另外，在激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)T_d與第一規(guī)定溫度差ΔT₁相加而得到的溫度變得高于冷卻水溫度T_w的情況下，判定為除濕器6發(fā)生故障。在判定為冷卻機(jī)4或除濕器6發(fā)生了故障的情況下，停止激光振蕩并關(guān)閉開閉閥來使冷卻水不流入到激光裝置1的內(nèi)部的由隔離壁17包圍的區(qū)域以外，將冷卻機(jī)4或除濕器6的故障顯示到顯示部21中。

然而，如前所述，除了冷卻機(jī)4或除濕器6發(fā)生了故障的情況以外，只要冷卻機(jī)4具備相對(duì)于激光裝置1的內(nèi)部的發(fā)熱量以及激光裝置1的設(shè)置容許溫度范圍的規(guī)格來說充分的冷卻水的溫度調(diào)節(jié)能力，就能夠防止結(jié)露的發(fā)生。具體地說，只要相對(duì)于冷卻機(jī)4的冷卻水溫度調(diào)節(jié)精度規(guī)格來適當(dāng)?shù)卦O(shè)定第一規(guī)定溫度范圍、且除濕器6具備根據(jù)激光裝置1的殼體5的密封度而假定的相對(duì)于向激光裝置1的內(nèi)部侵入的每單位時(shí)間的水分量來說足夠的除濕能力，在冷卻水溫度T_w進(jìn)入第一規(guī)定溫度范圍內(nèi)、激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)T_d與第一規(guī)定溫度差ΔT₁相加而得到的溫度變得低于冷卻水溫度T_w之后，冷卻水溫度T_w就不再會(huì)脫離第一規(guī)定溫度范圍內(nèi)。另外，激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)T_d與第一規(guī)定溫度差ΔT₁相加而得到的溫度也不會(huì)變得高于冷卻水溫度T_w，因此只要不發(fā)出激光振蕩的停止指令，就能持續(xù)進(jìn)行激光振蕩。由此，能夠可靠地防止被冷卻水冷卻的部件發(fā)生結(jié)露。

(步驟S117～S125)

在完全停止激光裝置1的情況下，只要依次進(jìn)行激光振蕩停止、開閉閥的關(guān)閉、冷卻水供給的停止、冷卻機(jī)4的運(yùn)轉(zhuǎn)停止以及除濕器6的運(yùn)轉(zhuǎn)停止即可。為了縮短在接下來啟動(dòng)激光裝置1時(shí)直到進(jìn)行激光振蕩為止的待機(jī)時(shí)間、或者防止在未進(jìn)行激光振蕩的期間內(nèi)激光裝置1的內(nèi)部的部件發(fā)生結(jié)露，也可以持續(xù)進(jìn)行冷卻機(jī)4和除濕器6中的至少一方的運(yùn)轉(zhuǎn)，并切換為等待重啟指令的狀態(tài)。此外，在持續(xù)進(jìn)行冷卻機(jī)4的單獨(dú)運(yùn)轉(zhuǎn)的情況下，需要關(guān)閉開閉閥來使冷卻水不流入到激光裝置1的內(nèi)部。

在第一實(shí)施例中，也可以代替根據(jù)濕度檢測(cè)器7和第一溫度檢測(cè)器8的檢測(cè)結(jié)果來計(jì)算激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)的計(jì)算部10，而具備記錄有能夠根據(jù)濕度和溫度來推導(dǎo)露點(diǎn)的數(shù)據(jù)表的記錄部。在該情況下，能夠根據(jù)濕度檢測(cè)器7和第一溫度檢測(cè)器8的檢測(cè)結(jié)果，參照數(shù)據(jù)表求出激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)。

參照?qǐng)D4、圖5A以及圖5B來說明第二實(shí)施例所涉及的激光裝置1。圖4是控制的時(shí)序圖，圖5A和圖5B是控制的流程圖。如圖4、圖5A以及圖5B所示，在本實(shí)施例中，除濕器6被控制為使激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)進(jìn)入比第一規(guī)定溫度范圍低溫的第二規(guī)定溫度范圍內(nèi)，并且，一旦露點(diǎn)進(jìn)入第二規(guī)定溫度范圍內(nèi)之后，除濕器6被控制為使露點(diǎn)不脫離第二規(guī)定溫度范圍內(nèi)。

通過不進(jìn)行超過需要的除濕，能夠節(jié)約除濕器6所產(chǎn)生的電力消耗，另外，如果利用逆變器控制等以不對(duì)除濕器6造成負(fù)荷的方法進(jìn)行控制，則存在能夠縮短除濕器6的驅(qū)動(dòng)時(shí)間、能夠抑制除濕器6的消耗這樣的優(yōu)點(diǎn)。

在圖4中，也可以將第一規(guī)定溫度范圍的下限溫度減去第二規(guī)定溫度范圍的上限溫度而得到的值設(shè)定成與第一規(guī)定溫度差大致相等或大于第一規(guī)定溫度差。通過這樣設(shè)定，即使在冷卻水溫度下降到第一規(guī)定溫度范圍的下限溫度附近、激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)上升到第二規(guī)定溫度范圍的上限溫度附近的情況下，也能夠可靠地防止結(jié)露。

在圖5A和圖5B中，“T_w”是冷卻水溫度，“T_w1”是激光振蕩時(shí)的冷卻水溫度的上限容許溫度、即第一規(guī)定溫度范圍的上限溫度，“T_w2”是激光振蕩時(shí)的冷卻水溫度的下限容許溫度、即第一規(guī)定溫度范圍的下限溫度。“T_d”是激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)，“T_d1”是第二規(guī)定溫度范圍的上限溫度，“T_d2”是第二規(guī)定溫度范圍的下限溫度，“ΔT₁”表示第一規(guī)定溫度差。

圖5A和圖5B的流程圖與對(duì)應(yīng)于第一實(shí)施例的圖3A和圖3B的流程圖的不同之處在于追加了以下流程：一旦激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)T_d進(jìn)入第二規(guī)定溫度范圍內(nèi)之后，當(dāng)脫離第二規(guī)定溫度范圍內(nèi)時(shí)，判定為除濕器6發(fā)生故障(步驟S217～S218)，停止激光振蕩，將除濕器6的故障顯示到顯示部21中。

參照?qǐng)D6～圖8C來說明第三實(shí)施例所涉及的激光裝置1。圖6是表示激光裝置1的結(jié)構(gòu)的示意圖，圖7是控制的時(shí)序圖，圖8A～圖8C是控制的流程圖。

如圖6所示，第三實(shí)施例所涉及的激光裝置1還具備對(duì)激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度進(jìn)行調(diào)整的空氣溫度調(diào)節(jié)器20。而且，如圖7所示，響應(yīng)于來自控制部12的指令，通過空氣溫度調(diào)節(jié)器20對(duì)激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度進(jìn)行控制以使該溫度進(jìn)入第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)。而且，一旦激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度進(jìn)入第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)之后，對(duì)激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度進(jìn)行控制以使該溫度不脫離第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)。

在一個(gè)實(shí)施例中，第三規(guī)定溫度范圍的下限溫度被設(shè)定為與第一規(guī)定溫度范圍的下限溫度大致同溫或高于第一規(guī)定溫度范圍的下限溫度。在圖7所示的實(shí)施例中，第三規(guī)定溫度范圍的下限溫度被設(shè)定為高于第一規(guī)定溫度范圍的下限溫度。在該情況下，分別獨(dú)立地控制激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)和激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度，由此能夠可靠地防止激光裝置1的內(nèi)部的空氣的濕度過度上升。

一般來說，除濕能力高的除濕器多數(shù)情況下伴有空氣的冷卻作用，但是通過設(shè)置空氣溫度調(diào)節(jié)器20，能夠防止激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度過度下降而激光裝置1的內(nèi)部的濕度上升、或者能夠防止在激光裝置1的殼體5的外壁發(fā)生結(jié)露。另外，在環(huán)境溫度發(fā)生了變化的情況下，也能夠在維持除濕功能的同時(shí)防止激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度大幅變化，從而能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的激光裝置1的內(nèi)部環(huán)境。

在本說明書中，“空氣溫度調(diào)節(jié)器”一般來說包括具有在對(duì)流入空氣進(jìn)行加熱或除熱之后使空氣流出的功能的所有設(shè)備，即使該設(shè)備不被稱為空氣溫度調(diào)節(jié)器這個(gè)名稱。

在圖6中，記載于空氣溫度調(diào)節(jié)器20的附近的空心箭頭例示了向空氣溫度調(diào)節(jié)器20流入的空氣的流動(dòng)方向和從空氣溫度調(diào)節(jié)器20流出的空氣的流動(dòng)方向，記載于除濕器6的附近的空心箭頭例示了向除濕器6流入的空氣的流動(dòng)方向和從除濕器6流出的空氣的流動(dòng)方向，但是并不表示將空氣的流動(dòng)方向限定于圖6的情況。

在圖8A～圖8C中，“T_w”是冷卻水溫度，“T_w1”是激光振蕩時(shí)的冷卻水溫度的上限容許溫度、即第一規(guī)定溫度范圍的上限溫度，“T_w2”是激光振蕩時(shí)的冷卻水溫度的下限容許溫度、即第一規(guī)定溫度范圍的下限溫度。“T_d”是激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)，“T_d1”是第二規(guī)定溫度范圍的上限溫度，“T_d2”是第二規(guī)定溫度范圍的下限溫度。“T_a”是激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度，“T_a1”是第三規(guī)定溫度范圍的上限溫度，“T_a2”是第三規(guī)定溫度范圍的下限溫度，“ΔT₁”表示第一規(guī)定溫度差。

第三實(shí)施例的圖8A～圖8C的流程圖與對(duì)應(yīng)于第二實(shí)施例的圖5A和圖5B的流程圖的不同之處在于追加了以下流程：檢查空氣溫度調(diào)節(jié)器20是否處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，如果未處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)則開始運(yùn)轉(zhuǎn)(步驟S305～S306)，并且，一旦激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度進(jìn)入第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)之后，當(dāng)脫離第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)時(shí)，判定為空氣溫度調(diào)節(jié)器發(fā)生故障，停止激光振蕩，將空氣溫度調(diào)節(jié)器20的故障顯示到顯示部21中(步驟S321～S325)。

但是，即使激光裝置1的內(nèi)部的空氣溫度T_a脫離第三規(guī)定溫度范圍，只要冷卻水溫度T_w和激光裝置1的內(nèi)部的露點(diǎn)T_d被控制為規(guī)定溫度范圍內(nèi)，就不會(huì)立即成為嚴(yán)重的狀態(tài)，因此也可以僅止于在顯示部21中顯示警告，而不立即使激光振蕩停止。

同樣地，在冷卻水溫度T_w脫離第一規(guī)定溫度范圍、或激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)T_d脫離第二規(guī)定溫度范圍的情況下也是，也可以設(shè)定為以下的控制條件：如果脫離的程度比預(yù)先決定的范圍輕微，則不立即使激光振蕩停止，而是顯示警告消息，不進(jìn)行冷卻水的供給停止或激光振蕩停止。

另外，參照?qǐng)D8A～圖8C，停止激光振蕩的流程(步驟S327～S336)也變更了一部分。在完全停止激光裝置1的情況下，只要依次進(jìn)行激光振蕩停止、開閉閥的關(guān)閉、冷卻水的供給停止、冷卻機(jī)4的運(yùn)轉(zhuǎn)停止、空氣溫度調(diào)節(jié)器20的停止、以及除濕器6的運(yùn)轉(zhuǎn)停止即可。

為了縮短在啟動(dòng)激光裝置1時(shí)直到進(jìn)行激光振蕩為止的待機(jī)時(shí)間、或者防止在未進(jìn)行激光振蕩的期間內(nèi)激光裝置1的內(nèi)部的部件的結(jié)露，也可以持續(xù)進(jìn)行冷卻機(jī)4、空氣溫度調(diào)節(jié)器20以及除濕器6的運(yùn)轉(zhuǎn)、或者持續(xù)進(jìn)行空氣溫度調(diào)節(jié)器20和除濕器6的運(yùn)轉(zhuǎn)、或者僅持續(xù)進(jìn)行除濕器6的運(yùn)轉(zhuǎn)、或者關(guān)閉開閉閥來僅持續(xù)進(jìn)行冷卻機(jī)4的運(yùn)轉(zhuǎn)，并切換為等待重啟指令的狀態(tài)。

參照?qǐng)D9和圖10來說明第四實(shí)施例所涉及的激光裝置1。圖9是表示激光裝置1的結(jié)構(gòu)的示意圖，圖10是控制的時(shí)序圖。

在第四實(shí)施例中，除濕器6是以下方式的除濕器：將流入到除濕器6的空氣冷卻到露點(diǎn)溫度以下，使該空氣在除濕器6內(nèi)的結(jié)露部進(jìn)行結(jié)露，由此進(jìn)行除濕。如圖9所示，激光裝置1還具備對(duì)從除濕器6流出的空氣進(jìn)行加熱的加熱單元22。在圖9中，空心箭頭示意性地表示向除濕器6流入的空氣的流動(dòng)方向以及經(jīng)由除濕器6和加熱單元22流出的空氣的流動(dòng)方向。期望的是，空氣的流動(dòng)順序是按除濕器6、加熱單元22的順序，但是流動(dòng)的方向無需是向上的方向。

在除濕器6是進(jìn)行除濕時(shí)的流入空氣的冷卻量多的類型的除濕器的情況下，只要以不使激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度變得低于第三規(guī)定溫度范圍的下限溫度的方式控制加熱單元22來進(jìn)行大致最小限度的加熱即可。由此，能夠與對(duì)應(yīng)于第三實(shí)施例的圖7的時(shí)序圖同樣地進(jìn)行控制。即，能夠在將激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)控制為第二規(guī)定溫度范圍內(nèi)的同時(shí)，將激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度控制為第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)。

另一方面，如果除濕器6是除濕效率高、流入空氣的冷卻量比較少的方式的除濕器，則即使在通過除濕器6將激光裝置1的內(nèi)部的露點(diǎn)控制為第二規(guī)定溫度范圍內(nèi)、且加熱單元22未進(jìn)行加熱的狀態(tài)下，也有可能會(huì)成為以下狀態(tài)：激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度變得高于第三規(guī)定溫度范圍的上限溫度、或者開始變得高于第三規(guī)定溫度范圍的上限溫度。

例如，在激光裝置1的內(nèi)部的發(fā)熱量增加時(shí)、或者激光裝置1的外部的溫度上升時(shí)，可能會(huì)成為這種狀態(tài)。在這種情況下，若想要進(jìn)行與第三實(shí)施例接近的控制，則還存在以下的選項(xiàng)：仍將激光裝置1的內(nèi)部的露點(diǎn)控制為第二規(guī)定溫度范圍內(nèi)，并且容許激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度高于第三規(guī)定溫度范圍的上限溫度的狀態(tài)。

然而，也可以是，僅針對(duì)這種狀態(tài)的期間，如圖10的時(shí)序圖中以空心箭頭示出的期間那樣，將激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度控制為第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)，并且即使激光裝置1的內(nèi)部的露點(diǎn)變得低于第二規(guī)定溫度范圍的下限溫度，也以提高除濕器6的輸出后的狀態(tài)進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)。

在第四實(shí)施例中，不像第三實(shí)施例那樣具備空氣溫度調(diào)節(jié)器就能夠具有與第三實(shí)施例大致同樣的功能。因而，能夠在可靠地防止激光裝置1的內(nèi)部的空氣的濕度上升以及被冷卻水冷卻的低溫部件的結(jié)露的同時(shí)，使激光裝置1小型化和低成本化。

此外，在第四實(shí)施例中，除濕器6與加熱單元22無需是相分離的構(gòu)造，也可以是以一體化的構(gòu)造且能夠單獨(dú)地控制空氣的溫度和濕度的空氣調(diào)節(jié)器。

參照?qǐng)D11～圖15C來說明第五實(shí)施例所涉及的激光裝置1。圖11是表示激光裝置1的結(jié)構(gòu)的示意圖，圖12～圖14是控制的時(shí)序圖，圖15A～圖15C是控制的流程圖。

在第五實(shí)施例所涉及的激光裝置1中，如圖11所示，激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度通過空氣溫度調(diào)節(jié)器20或加熱單元被控制為第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)或第三規(guī)定溫度范圍的下限溫度以上。另外，激光裝置1還具備檢測(cè)激光裝置1的外部溫度或殼體5的溫度的第三溫度檢測(cè)器23。

參照?qǐng)D12和圖13的時(shí)序圖，第三規(guī)定溫度范圍被設(shè)定成隨時(shí)間而發(fā)生變化。第三規(guī)定溫度范圍的下限溫度被設(shè)定為第一規(guī)定溫度范圍的下限溫度與第二規(guī)定溫度差相加而得到的溫度以及由第三溫度檢測(cè)器23檢測(cè)出的外部空氣溫度減去第三規(guī)定溫度差而得到的溫度中的較高一方的溫度。激光裝置1的內(nèi)部的空氣溫度被控制為第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)或第三規(guī)定溫度范圍的下限溫度以上。

圖12是由第三溫度檢測(cè)器23檢測(cè)出的外部空氣溫度減去第三規(guī)定溫度差而得到的溫度始終比第一規(guī)定溫度范圍的下限溫度與第二規(guī)定溫度差相加而得到的溫度高的情況下的時(shí)序圖。圖13是在時(shí)間t₁至t₂的期間第一規(guī)定溫度范圍的下限溫度與第二規(guī)定溫度差相加而得到的溫度比由第三溫度檢測(cè)器檢測(cè)出的外部空氣溫度減去第三規(guī)定溫度差而得到的溫度高的情況下的時(shí)序圖。

此外，在由于激光裝置1的內(nèi)部的部件的耐熱特性等的關(guān)系而需要避免激光裝置1的內(nèi)部的空氣溫度過度上升的情況下，也可以如圖14的時(shí)序圖所示那樣追加如下的設(shè)定條件：將第三規(guī)定溫度范圍的上限溫度設(shè)定為不高于某個(gè)溫度。此外，關(guān)于第二規(guī)定溫度差，無需限定為正的溫度差，但通常設(shè)定為0℃～5℃左右。另外，第三規(guī)定溫度差通常是正的溫度差，例如為5℃～10℃左右。

或者，關(guān)于第三規(guī)定溫度差，為了防止在激光裝置1的外壁發(fā)生過度的結(jié)露，激光裝置1也可以還具備檢測(cè)激光裝置1的外部的濕度的濕度檢測(cè)器，但在圖11中未記載。也可以是，計(jì)算部10根據(jù)激光裝置1的外部的濕度以及由第三溫度檢測(cè)器檢測(cè)出的激光裝置1的外部的溫度來計(jì)算激光裝置1的外部的露點(diǎn)，如第三規(guī)定溫度差≈(激光裝置的外部的溫度)-(激光裝置的外部的露點(diǎn))的關(guān)系式所給出的那樣，將第三規(guī)定溫度差設(shè)定為根據(jù)激光裝置1的外部環(huán)境而變動(dòng)的值。

根據(jù)第五實(shí)施例，使激光裝置1的內(nèi)部的空氣溫度追隨激光裝置1的外部空氣溫度而變化，因此能夠防止激光裝置1的殼體5的外壁溫度過度下降而在激光裝置1的外壁發(fā)生過度的結(jié)露。另外，以不使激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度低于第一規(guī)定溫度范圍的方式進(jìn)行控制，因此也能夠防止激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度過度下降而濕度過度上升、或者發(fā)生結(jié)露。

此外，在將第三溫度檢測(cè)器23設(shè)置于對(duì)殼體5的溫度進(jìn)行檢測(cè)的位置處的情況下，期望的是，設(shè)為利用隔熱材料26包圍第三溫度檢測(cè)器23等的隔熱構(gòu)造，使得熱難以從激光裝置1的內(nèi)部的空氣或者第三溫度檢測(cè)器23的設(shè)置場(chǎng)所以外的激光裝置1的殼體5的部分傳導(dǎo)到該設(shè)置位置處，以能夠盡可能地檢測(cè)出與激光裝置1的外部的空氣溫度接近的溫度。

在圖15A～圖15C中，“T_w”是冷卻水溫度，“T_w1”是激光振蕩時(shí)的冷卻水溫度的上限容許溫度、即第一規(guī)定溫度范圍的上限溫度，“T_w2”是激光振蕩時(shí)的冷卻水溫度的下限容許溫度、即第一規(guī)定溫度范圍的下限溫度。另外，“T_d”是激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)，“T_d1”是第二規(guī)定溫度范圍的上限溫度，“T_d2”是第二規(guī)定溫度范圍的下限溫度?！癟_a”是激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度，“T_a1”是第三規(guī)定溫度范圍的上限溫度，“T_a2”是第三規(guī)定溫度范圍的下限溫度?！唉₁”是第一規(guī)定溫度差，“ΔT₂”是第二規(guī)定溫度差，“ΔT₃”是第三規(guī)定溫度差，“T_o”表示由第三溫度檢測(cè)器檢測(cè)出的激光裝置1的外部空氣溫度。

第五實(shí)施例的圖15A～圖15C的流程圖與對(duì)應(yīng)于第三實(shí)施例的圖8A～圖8C的流程圖的不同之處在于追加了步驟S421～S423和步驟S425～S427。

(步驟S421～S423)

判定第一規(guī)定溫度范圍的下限溫度T_w2與第二規(guī)定溫度差ΔT₂相加而得到的溫度與由第三溫度檢測(cè)器23檢測(cè)出的外部空氣溫度T_o減去第三規(guī)定溫度差ΔT₃而得到的溫度之間的大小，在第一規(guī)定溫度范圍的下限溫度T_w2與第二規(guī)定溫度差ΔT₂相加而得到的溫度小的情況下，將第三規(guī)定溫度范圍的下限溫度T_a2設(shè)定為外部空氣溫度T_o減去第三規(guī)定溫度差ΔT₃而得到的溫度。

在第一規(guī)定溫度范圍的下限溫度T_w2與第二規(guī)定溫度差ΔT₂相加而得到的溫度大的情況下，將第三規(guī)定溫度范圍的下限溫度T_a2設(shè)定為第一規(guī)定溫度范圍的下限溫度T_w2與第二規(guī)定溫度差ΔT₂相加而得到的溫度。

這樣，根據(jù)步驟S421中的判定結(jié)果來變更第三規(guī)定溫度范圍的設(shè)定。然后，一旦激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度進(jìn)入所設(shè)定的第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)之后，在脫離了第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)的情況下，判定為空氣溫度調(diào)節(jié)器20發(fā)生故障。

參照?qǐng)D16的流程圖來說明第六實(shí)施例。在圖16中，“T_d”表示激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)，“T_a”表示激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度，“ΔT₁”表示第一規(guī)定溫度差。在圖3A和圖3B、圖5A和圖5B、圖8A～圖8C以及圖15A～圖15C所記載的控制的流程圖中，在發(fā)出激光振蕩停止指令之后對(duì)除濕器6也發(fā)出運(yùn)轉(zhuǎn)停止指令的情況下，停止除濕器6。然而，在本實(shí)施例的情況下，如圖16所示，除了為了進(jìn)行移動(dòng)而對(duì)激光裝置1等發(fā)出完全停止指令的情況以外，即使在未對(duì)激光裝置1發(fā)出啟動(dòng)指令的期間內(nèi)，濕度檢測(cè)器7、第一溫度檢測(cè)器8、計(jì)算部10、判定部11以及控制部12也被維持為動(dòng)作狀態(tài)。

而且，也可以是，始終地或者以規(guī)定的時(shí)間為間隔地監(jiān)視激光裝置1的內(nèi)部的空氣的濕度和溫度，當(dāng)激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)T_d與第一規(guī)定溫度差ΔT₁相加而得到的溫度變得高于由第一溫度檢測(cè)器8檢測(cè)出的激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度T_a時(shí)，除濕器6自動(dòng)開始運(yùn)轉(zhuǎn)來進(jìn)行除濕。

開始了運(yùn)轉(zhuǎn)的除濕器6也可以以如下方式進(jìn)行控制：將除濕器6的運(yùn)轉(zhuǎn)開始后的激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)＝(由第一溫度檢測(cè)器8檢測(cè)出的激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度)-(第一規(guī)定溫度差ΔT₁)作為第二規(guī)定溫度范圍的上限溫度，來將露點(diǎn)控制為第二規(guī)定溫度范圍內(nèi)。

然而，也可以如圖16所示的那樣，當(dāng)探測(cè)出激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)T_d與第一規(guī)定溫度差ΔT₁相加而得到的溫度高于由第一溫度檢測(cè)器8檢測(cè)出的激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度T_a的狀態(tài)時(shí)，在持續(xù)所設(shè)定的時(shí)間地進(jìn)行了連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)之后，再次進(jìn)行判定，如果激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)T_d與第一規(guī)定溫度差ΔT₁相加而得到的溫度低于由第一溫度檢測(cè)器8檢測(cè)出的激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度T_a，則停止除濕器6的運(yùn)轉(zhuǎn)。

根據(jù)第六實(shí)施例，具有以下效果：即使在未啟動(dòng)激光裝置1時(shí)，也能夠防止激光裝置1的內(nèi)部的結(jié)露。

參照?qǐng)D17和圖18來說明第七實(shí)施例所涉及的激光裝置1。圖17是表示激光裝置1的結(jié)構(gòu)的示意圖，圖18是控制的流程圖。

如圖17所示，第七實(shí)施例所涉及的激光裝置1還具備第四溫度檢測(cè)器24，該第四溫度檢測(cè)器24檢測(cè)相對(duì)于激光裝置1的內(nèi)部的發(fā)熱部件位于大致相同的位置或上游側(cè)的冷卻水配管的配管內(nèi)的冷卻水的溫度、或者與相對(duì)于發(fā)熱部件位于大致相同的位置或上游側(cè)的冷卻水配管熱接觸的構(gòu)件的溫度。

如圖18所示，除了為了進(jìn)行移動(dòng)等而對(duì)激光裝置1發(fā)出完全停止指令的情況以外，即使在未對(duì)激光裝置1發(fā)出啟動(dòng)指令的期間內(nèi)，如果空氣的露點(diǎn)與第一規(guī)定溫度差相加而得到的溫度高于由第四溫度檢測(cè)器24檢測(cè)出的溫度以及由第一溫度檢測(cè)器8檢測(cè)出的激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度中的至少任一個(gè)溫度，則除濕器6也自動(dòng)開始運(yùn)轉(zhuǎn)來進(jìn)行除濕。

在圖18中，“T_d”是激光裝置1的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)，“T_a”是激光裝置1的內(nèi)部的空氣的溫度，“ΔT₁”是第一規(guī)定溫度差，“T₄”表示由第四溫度檢測(cè)器24檢測(cè)出的溫度。參照?qǐng)D18，在第七實(shí)施例中，使開始了運(yùn)轉(zhuǎn)的除濕器6的運(yùn)轉(zhuǎn)停止的條件與參照?qǐng)D16說明的第六實(shí)施例相同。

在激光裝置1的外部的空氣的溫度急劇上升的情況下，水由于比熱大而溫度上升慢，從而存在以下可能性：即使激光裝置1的內(nèi)部的冷卻水配管內(nèi)沒有水流過，搭載有發(fā)熱部件的水冷板等與滯留水接觸的部分也由于滯留的水而在激光裝置1的內(nèi)部成為最低溫。將第四溫度檢測(cè)器24設(shè)置于假定在溫度上升時(shí)成為最低溫的位置處，在空氣的露點(diǎn)T_d與第一規(guī)定溫度ΔT₁相加而得到的溫度高于由第四溫度檢測(cè)器24檢測(cè)出的溫度T₄的情況下也使除濕器6運(yùn)轉(zhuǎn)，由此，在未啟動(dòng)激光裝置1時(shí)，即使在激光裝置1的外部的空氣溫度突然上升的情況下，也能夠更可靠地防止激光裝置1的內(nèi)部的結(jié)露。

作為第四溫度檢測(cè)器24的具體設(shè)置場(chǎng)所，如圖17所記載的那樣，可以是在作為發(fā)熱源的激光振蕩器2的上游側(cè)且接近激光振蕩器2的冷卻水配管處?；蛘撸谒臏囟葯z測(cè)器24也可以設(shè)置于對(duì)激光振蕩器2進(jìn)行冷卻的部分，或者也可以構(gòu)成為：在將激光二極管模塊作為激光光源或激勵(lì)光源的激光裝置中，利用第四溫度檢測(cè)器24檢測(cè)安裝有激光二極管模塊的水冷板的溫度。

當(dāng)利用第四溫度檢測(cè)器24檢測(cè)水冷板的溫度時(shí)，具有以下優(yōu)點(diǎn)：在開始激光振蕩之前使冷卻水流動(dòng)，能夠確認(rèn)水冷板實(shí)際是否被冷卻到規(guī)定溫度，另外，在激光振蕩中也能夠確認(rèn)冷卻板的溫度是否被冷卻到規(guī)定的溫度。

為了檢測(cè)雖然冷卻水溫度正常但是冷卻水的流量相比于所需流量不足、從而水冷板未被冷卻到規(guī)定溫度這樣的故障模式，也可以如圖17所記載的那樣，在冷卻水配管的下游側(cè)設(shè)置流量檢測(cè)器25，在冷卻水流量未進(jìn)入規(guī)定流量范圍內(nèi)的情況下，在顯示部中進(jìn)行冷卻水流量不足或冷卻機(jī)故障的顯示。

此外，也可以針對(duì)一個(gè)激光裝置將冷卻水供給裝置和除濕器中的至少任一方設(shè)置多個(gè)。在該情況下，即使一個(gè)冷卻水供給裝置或除濕器發(fā)生故障，也能夠?qū)⒗鋮s水溫度和激光裝置的內(nèi)部的空氣的露點(diǎn)分別控制為第一規(guī)定溫度范圍內(nèi)、第二規(guī)定溫度范圍內(nèi)。根據(jù)前述的實(shí)施例，只要冷卻水供給裝置或除濕器不發(fā)生故障，就不再需要為了防止結(jié)露而停止激光振蕩。

另外，如果是提供有多個(gè)冷卻水供給裝置和除濕器的激光裝置，則即使一個(gè)冷卻水供給裝置或除濕器發(fā)生故障，也不再需要停止激光振蕩，從而能夠降低不得不停止激光振蕩的狀況的發(fā)生概率。

以上，說明了本發(fā)明的各種實(shí)施例，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該認(rèn)識(shí)到，根據(jù)其它實(shí)施例也能夠?qū)崿F(xiàn)本發(fā)明想要實(shí)現(xiàn)的作用效果。特別是，能夠不脫離本發(fā)明的范圍地刪除或替換前述的實(shí)施例的結(jié)構(gòu)要素，或者能夠進(jìn)一步附加公知的手段。另外，通過將在本說明書中明示或暗示地公開的多個(gè)實(shí)施例的特征任意地組合也能夠?qū)嵤┍景l(fā)明，這對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來說是顯而易見的。

根據(jù)第一發(fā)明所涉及的激光裝置，關(guān)于封閉空間的露點(diǎn)，只要不進(jìn)行除濕或從外部進(jìn)行加濕，則即使空氣的溫度改變，封閉空間的露點(diǎn)也不會(huì)變化，因此，一旦(露點(diǎn))+(第一規(guī)定溫度差)≤(冷卻水溫度)的關(guān)系成立而冷卻水溫度被控制為第一規(guī)定溫度范圍內(nèi)，如果除濕器的除濕能力超過可能從殼體的間隙侵入的水分，則只要不因殼體內(nèi)的空氣溫度降低等理由而停止除濕器，該關(guān)系就會(huì)持續(xù)成立，不會(huì)發(fā)生結(jié)露。由于不再發(fā)生結(jié)露，因此不再需要為了防止結(jié)露、預(yù)防結(jié)露而停止冷卻水供給、激光振蕩。

根據(jù)第二發(fā)明所涉及的激光裝置，(露點(diǎn))+(第一規(guī)定溫度差)≤(冷卻水溫度)的關(guān)系一旦成立，冷卻水溫度就被控制為第一規(guī)定溫度范圍內(nèi)，因此，如果除濕器的除濕能力超過可能從殼體的間隙侵入的水分，那么只要不因殼體內(nèi)的空氣溫度降低等理由而停止除濕器，該關(guān)系就會(huì)持續(xù)成立，不會(huì)發(fā)生結(jié)露。

根據(jù)第三發(fā)明所涉及的激光裝置，能夠可靠地防止結(jié)露，并且在使用壓縮機(jī)的除濕器的情況下，能夠防止因開啟關(guān)閉而導(dǎo)致的壓縮機(jī)的劣化。

根據(jù)第四發(fā)明所涉及的激光裝置，能夠節(jié)約除濕器所產(chǎn)生的電力消耗。另外，如果利用逆變器控制等以不對(duì)除濕器造成負(fù)荷的方法進(jìn)行控制，則能夠縮短除濕器的驅(qū)動(dòng)時(shí)間、抑制消耗。

根據(jù)第五發(fā)明所涉及的激光裝置，一般來說，除濕能力高的除濕器伴有對(duì)空氣的冷卻作用，但是通過設(shè)置空氣溫度調(diào)節(jié)器20能夠防止空氣溫度過于下降而激光裝置內(nèi)的濕度上升，另外，在環(huán)境溫度上升的情況下，能夠在維持除濕功能的同時(shí)防止激光裝置內(nèi)的空氣的溫度上升。

根據(jù)第六發(fā)明所涉及的激光裝置，不用將除濕器和空氣溫度調(diào)節(jié)器相分別地設(shè)置就能夠可靠地防止結(jié)露，能夠使激光裝置的小型化、低成本化。

根據(jù)第七或第八發(fā)明所涉及的激光裝置，能夠防止激光裝置殼體的外壁溫度過度下降而在激光裝置的外壁發(fā)生過度的結(jié)露，并且還能夠防止激光裝置內(nèi)的濕度過度上升或發(fā)生結(jié)露。

根據(jù)第九發(fā)明所涉及的激光裝置，除了為了進(jìn)行激光裝置的移動(dòng)等而需要將激光裝置完全停止的情況以外，還監(jiān)視激光裝置內(nèi)的空氣的露點(diǎn)和溫度，以使露點(diǎn)與第一規(guī)定溫度差相加而得到的溫度不變得高于激光裝置內(nèi)的空氣溫度的方式使除濕器運(yùn)轉(zhuǎn)，由此即使在未啟動(dòng)激光裝置時(shí)也能夠防止激光裝置內(nèi)的結(jié)露。

根據(jù)第十發(fā)明所涉及的激光裝置，將第四溫度檢測(cè)器設(shè)置于假定在與激光裝置外部的空氣溫度的上升等相伴的激光裝置內(nèi)的空氣的溫度上升時(shí)成為最低溫的場(chǎng)所，在空氣的露點(diǎn)與所述第一規(guī)定溫度相加而得到的溫度變得高于由第四溫度檢測(cè)器檢測(cè)出的溫度的情況下也運(yùn)轉(zhuǎn)除濕器，由此即使處于在未啟動(dòng)激光裝置時(shí)激光裝置外部的空氣溫度突然上升而露點(diǎn)高的空氣侵入的情況下，也能夠更加可靠地防止激光裝置內(nèi)的結(jié)露。