本發(fā)明屬于器件封裝技術(shù)領(lǐng)域，具體地講，涉及一種有機半導(dǎo)體器件的封裝方法。

背景技術(shù)：

近年來，有機發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)成為國內(nèi)外非常熱門的新興平面顯示器產(chǎn)品，這是因為OLED顯示器具有自發(fā)光、廣視角(達175°以上)、短反應(yīng)時間(1μs)、高發(fā)光效率、廣色域、低工作電壓(3～10V)、薄厚度(可小于1mm)、可制作大尺寸與可撓曲的面板及制程簡單等特性，而且它還具有低成本的潛力。

針對柔性O(shè)LED顯示器，目前制約其發(fā)展的一大瓶頸就在柔性O(shè)LED顯示器的封裝上。眾所周知，制作OELD的材料對水分和氧氣十分敏感，如果不能有效的阻隔外界的水分和氧氣對制作OELD的材料的傷害，就無法實現(xiàn)長壽命的OLED器件。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠有效阻隔外界的水分和氧氣的有機半導(dǎo)體器件的封裝方法。

根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供了一種有機半導(dǎo)體器件的封裝方法，其包括步驟：在柔性襯底上制作形成有機半導(dǎo)體器件；在柔性襯底上制作形成分別位于有機半導(dǎo)體器件兩側(cè)且與有機半導(dǎo)體器件保持預(yù)定間隔的光阻塊；在光阻塊、有機半導(dǎo)體器件及柔性襯底上沉積無機層；將光阻塊及其上的無機層去除；在有機半導(dǎo)體器件和柔性襯底上的無機層上沉積有機層。

可選地，所述封裝方法還包括步驟：在有機層上交替制作無機層和有機層；在最后一層有機層上沉積無機層。

可選地，制作所述光阻塊的方法包括步驟：在柔性襯底和有機半導(dǎo)體器件上涂布一層光阻層；利用預(yù)定的光照掩膜版對光阻層進行曝光；其中所述光罩掩膜版包括遮光部及分別位于所述遮光部兩側(cè)的透光部，所述遮光部與所述有機半導(dǎo)體器件相對，所述遮光部的兩側(cè)分別超出所述有機半導(dǎo)體器件的兩側(cè)；對經(jīng)曝光后的光阻層進行顯影，以將與所述遮光部相對的光阻層去除，從而形成所述光阻塊。

可選地，利用等離子體增強化學(xué)氣相沉積法、脈沖激光沉積法或者濺射沉積法沉積所述無機層。

可選地，所述無機層包含Al₂O₃、TiO₂、SiN_x、SiCN_x、SiO_x、ZrO₂中的至少一種。

可選地，利用噴墨印刷成型法、等離子體增強化學(xué)氣相沉積法或者夾縫式擠壓型涂布法制作所述有機層。

可選地，所述有機層包含丙烯酸脂、六甲基二硅醚、聚丙烯酸酯、聚碳酸脂和聚苯乙烯中的至少一種。

可選地，將光阻塊及其上的無機層去除的具體方法為：利用有機溶劑浸泡預(yù)定時間，以使光阻塊從柔性襯底上脫離。

本發(fā)明的有益效果：在本發(fā)明的有機半導(dǎo)體器件的封裝方法中，形成了無機/有機結(jié)構(gòu)的柔性O(shè)LED薄膜封裝結(jié)構(gòu)，這種封裝結(jié)構(gòu)不但將傳統(tǒng)薄膜封裝工藝中無機層沉積需要使用的沉積光罩省去，還有效地提高了OLED器件的水分和氧氣的阻隔性，從而延長OLED器件的壽命。

附圖說明

通過結(jié)合附圖進行的以下描述，本發(fā)明的實施例的上述和其它方面、特點和優(yōu)點將變得更加清楚，附圖中：

圖1A至圖1G是根據(jù)本發(fā)明的實施例的有機半導(dǎo)體器件的封裝方法的封裝流程圖；

圖2A至圖2C是根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的有機半導(dǎo)體器件的封裝方法的封裝流程圖。

具體實施方式

以下，將參照附圖來詳細描述本發(fā)明的實施例。然而，可以以許多不同的形式來實施本發(fā)明，并且本發(fā)明不應(yīng)該被解釋為限制于這里闡述的具體實施例。相反，提供這些實施例是為了解釋本發(fā)明的原理及其實際應(yīng)用，從而使本領(lǐng)域的其他技術(shù)人員能夠理解本發(fā)明的各種實施例和適合于特定預(yù)期應(yīng)用的各種修改。

在附圖中，為了清楚器件，夸大了層和區(qū)域的厚度。相同的標號在整個說明書和附圖中表示相同的元器件。

圖1A至圖1G是根據(jù)本發(fā)明的實施例的有機半導(dǎo)體器件的封裝方法的封裝流程圖。

參照圖1A，在柔性襯底110上制作形成有機半導(dǎo)體器件120。這里，柔性襯底110可以采用聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)等柔性材料制成。有機半導(dǎo)體器件120可例如是OLED器件，但本發(fā)明并不限制于此。

參照圖1B，在柔性襯底110和有機半導(dǎo)體器件120上涂布一層光阻層130。具體地，利用勻膠機旋涂儀(spin-coater)在柔性襯底110和有機半導(dǎo)體器件120上涂覆一層含氟的聚合物光阻，在溫度為80℃下干燥10min，以形成光阻層130。

參照圖1C，利用預(yù)定的光照掩膜版200對光阻層130進行曝光。這里，光照掩膜版200包括遮光部210及分別位于遮光部210兩側(cè)的透光部220，其中該遮光部210與有機半導(dǎo)體器件120相對，并且遮光部210的兩側(cè)分別超出有機半導(dǎo)體器件120的兩側(cè)。也就是說，有機半導(dǎo)體器件120在遮光部210中的投影完全位于遮光部210以內(nèi)。

參照圖1D，對經(jīng)曝光后的光阻層130進行顯影，以將與遮光部210相對的光阻層130去除，從而形成光阻塊130a。

通過以上圖1B至圖1D的方法步驟，完成了在柔性襯底110上制作形成分別位于有機半導(dǎo)體器件120兩側(cè)且與有機半導(dǎo)體器件120保持預(yù)定間隔的光阻塊130a。

參照圖1E，在光阻塊130a、有機半導(dǎo)體器件120及柔性襯底110上沉積無機層140。具體地，利用等離子體增強化學(xué)氣相沉積法(PECVD)、脈沖激光沉積法(PLD)或者濺射沉積法(Sputter)沉積一層覆蓋在光阻塊130a、有機半導(dǎo)體器件120及柔性襯底110上的無機層140。在本實施例中，無機層140可以采用Al₂O₃、TiO₂、SiN_x、SiCN_x、SiO_x、ZrO₂中的至少一種制成，但本發(fā)明并不限制于此，例如無機層140還可以利用其它具有高防水分和氧氣效果的無機材料制成。

參照圖1F，將光阻塊130a及其上的無機層140去除。具體地，在有機溶劑中侵泡1～30min，這時光阻塊130a會從柔性襯底110上脫離，而其他部件(諸如有機半導(dǎo)體器件120及其上的無機層140、柔性襯底110上的無機層140等)會保留，從而將光阻塊130a及其上的無機層140去除。

參照圖1G，在有機半導(dǎo)體器件120上的無機層140上沉積有機層150。具體地，利用噴墨印刷成型法(IJP)、等離子體增強化學(xué)氣相沉積法(PECVD)或者夾縫式擠壓型涂布法(Slot Coating)制作有機層150。在本實施例中，有機層150可以采用丙烯酸脂、六甲基二硅醚、聚丙烯酸酯、聚碳酸脂和聚苯乙烯中的至少一種制作，但本發(fā)明并不限制于此，例如有機層150還可以采用具有緩沖器件在彎曲、折疊時的應(yīng)力以及避免顆粒污染物覆蓋的有機材料制成。

綜上所述，根據(jù)本發(fā)明的實施例的有機半導(dǎo)體器件的封裝方法，其形成無機/有機結(jié)構(gòu)的柔性O(shè)LED薄膜封裝結(jié)構(gòu)，這種封裝結(jié)構(gòu)不但將傳統(tǒng)薄膜封裝工藝中無機層沉積需要使用的沉積光罩省去，還有效地提高了OLED器件的水分和氧氣的阻隔性，從而延長OLED器件的壽命。

圖2A至圖2C是根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的有機半導(dǎo)體器件的封裝方法的封裝流程圖。

在進行完圖1A至圖1G所示的有機半導(dǎo)體器件的封裝方法之后，還包括圖2A至圖2C的封裝方法。

參照圖2A，在有機層150上沉積無機層140a。具體地，利用等離子體增強化學(xué)氣相沉積法(PECVD)、脈沖激光沉積法(PLD)或者濺射沉積法(Sputter)沉積一層覆蓋在有機層150上的無機層140a。在本實施例中，無機層140a可以采用Al₂O₃、TiO₂、SiN_x、SiCN_x、SiO_x、ZrO₂中的至少一種制成，但本發(fā)明并不限制于此，例如無機層140a還可以利用其它具有高防水分和氧氣效果的無機材料制成。

參照圖2B，在無機層140a上沉積有機層150a。具體地，利用噴墨印刷成型法(IJP)、等離子體增強化學(xué)氣相沉積法(PECVD)或者夾縫式擠壓型涂布法(Slot Coating)制作有機層150a。在本實施例中，有機層150a可以采用丙烯酸脂、六甲基二硅醚、聚丙烯酸酯、聚碳酸脂和聚苯乙烯中的至少一種制作，但本發(fā)明并不限制于此，例如有機層150a還可以采用具有緩沖器件在彎曲、折疊時的應(yīng)力以及避免顆粒污染物覆蓋的有機材料制成。

參照圖2C，在有機層150a上沉積無機層140b。具體地，利用等離子體增強化學(xué)氣相沉積法(PECVD)、脈沖激光沉積法(PLD)或者濺射沉積法(Sputter)沉積一層覆蓋在有機層150a上的無機層140b。在本實施例中，無機層140b可以采用Al₂O₃、TiO₂、SiN_x、SiCN_x、SiO_x、ZrO₂中的至少一種制成，但本發(fā)明并不限制于此，例如無機層140b還可以利用其它具有高防水分和氧氣效果的無機材料制成。

需要說明的是，在進行圖2C所示的步驟之前，可以根據(jù)實際需求重復(fù)圖2A和圖2B所示的步驟，從而在有機層150上交替制作無機層和有機層。

雖然已經(jīng)參照特定實施例示出并描述了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員將理解：在不脫離由權(quán)利要求及其等同物限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可在此進行形式和細節(jié)上的各種變化。