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一種雙向ESD防護(hù)二極管的DFN封裝結(jié)構(gòu)及制造方法與流程

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一種雙向ESD防護(hù)二極管的DFN封裝結(jié)構(gòu)及制造方法與制造工藝

本發(fā)明屬于一種DFN封裝的制造,適用于雙向ESD防護(hù)二極管芯片的DFN封裝。



背景技術(shù):

半導(dǎo)體電路集成度不斷提高,ESD防護(hù)二極管的封裝尺寸也隨之變小,從原來(lái)的SOD523、SOD723到SOD923,再到DFN1006、DFN0603、 DFN0201,乃至將來(lái)的CSP封裝,封裝尺寸不斷在縮小,但是對(duì)ESD防護(hù)二極管的性能要求卻越來(lái)越高,抗浪涌能力,低電容,低電壓等等參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)不斷提升,怎么樣在更小的芯片上實(shí)現(xiàn)更強(qiáng)大的功能逐漸成為難題,由于最開(kāi)始的ESD防護(hù)二極管是用在SOD523,SOD723封裝上的,發(fā)展到后來(lái),DFN封裝仍然延續(xù)了SOD封裝的工藝,即背面銀膠連接,正面打金屬線連接,目的是不改變最開(kāi)始芯片的設(shè)計(jì)。隨著封裝尺寸變的越來(lái)越小,當(dāng)?shù)竭_(dá)DFN0603封裝時(shí),打線工藝已經(jīng)占去了1/4的封裝體高度空間,產(chǎn)生很多工藝上的難題,芯片厚度需要做到小于100微米,芯片尺寸也要做到小于200微米×200微米,芯片的成品率下降,封裝的成品率同時(shí)也在下降,本發(fā)明的封裝結(jié)構(gòu),兩個(gè)芯片電極可以都是從正面引出,兩個(gè)電極都通過(guò)銀膠和框架連接,拋棄了正面打線工藝,芯片厚度只需做到200微米,而且省去了背面金屬化,此結(jié)構(gòu)提升了芯片成品率,提升了封裝成品率,減少了芯片制造工藝,最重要的是芯片尺寸可以是原來(lái)的1.5-2倍,為超低電容產(chǎn)品、更強(qiáng)抗浪涌能力產(chǎn)品提供更大的芯片設(shè)計(jì)空間。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

1、一種雙向ESD防護(hù)二極管的DFN封裝結(jié)構(gòu),其結(jié)構(gòu)包括:DFN框架上(105)連接銀膠(104),銀膠連接芯片電極(103),兩個(gè)芯片電極都是從芯片(102)正面引出,芯片厚度小于200微米。

2、一種雙向ESD防護(hù)二極管的DFN封裝的制造方法,其方法包括:

A、將晶圓芯片通過(guò)劃片切割成單個(gè)芯片,然后通過(guò)倒片使芯片正面與藍(lán)膜粘接;

B、使用點(diǎn)膠機(jī)和固晶機(jī),將芯片與框架通過(guò)銀膠連接,然后固化銀膠;

C、使用塑封機(jī)將載有芯片的框架塑封;

D、將塑封后裸露在外部的框架表面通過(guò)電鍍,鍍上銀或者金;

E、將整個(gè)電鍍好的塑封模塊切割成單個(gè)的DFN封裝體。

附圖說(shuō)明

圖1是雙向ESD防護(hù)二極管的DFN封裝的截面圖。

編號(hào)說(shuō)明

101:DFN封裝體;

102:雙向ESD防護(hù)二極管芯片,厚度小于200微米;

103:芯片電極,金屬,一般情況下是鋁或者銀,不局限于鋁和銀;

104:銀膠,導(dǎo)電的膠狀物,內(nèi)含有銀粉成分,高溫固化;

105:框架,金屬,一般情況下是銅,不局限于銅。

具體實(shí)施方式

1.芯片劃片及倒片,芯片背面貼藍(lán)膜,用劃片機(jī)將整個(gè)的晶圓芯片,切割成單個(gè)芯片,切割完成后,用倒片機(jī),將藍(lán)膜上的芯片倒到另外一張藍(lán)膜上,此時(shí)芯片的正面與藍(lán)膜接觸。

2.芯片與框架連接,用點(diǎn)膠機(jī)將銀膠點(diǎn)到框架上,固晶機(jī)將單個(gè)芯片從藍(lán)膜上取下,放在銀膠上,芯片電極和銀膠連接,進(jìn)入固化爐固化。

3.塑封,將載有芯片的框架,放入塑封機(jī)進(jìn)行塑封。

4.電鍍,將漏在外部的框架電鍍,一般鍍銀或者金。

5.塑封切割,將整個(gè)塑封模塊切割成單個(gè)的DFN封裝體。

6.測(cè)試包裝。

通過(guò)上述實(shí)施例闡述了本發(fā)明,同時(shí)也可以采用其它實(shí)施例實(shí)現(xiàn)本發(fā)明,本發(fā)明不局限于上述具體實(shí)施例,因此本發(fā)明由所附權(quán)利要求范圍限定。

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