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復(fù)合襯底及其制備方法、及外延片與流程

文檔序號:12129280閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種復(fù)合襯底,其特征在于,包括:

硅襯底層;

以及藍(lán)寶石襯底層,用于生長外延層;

所述藍(lán)寶石襯底層鍵合在所述硅襯底層上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合襯底,其特征在于,所述復(fù)合襯底還包括生長在所述藍(lán)寶石襯底層上的硅膜;所述藍(lán)寶石襯底層通過所述硅膜與所述硅襯底層鍵合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合襯底,其特征在于,所述藍(lán)寶石襯底層的厚度為20μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合襯底,其特征在于,所述硅襯底層的直徑大于等于6英寸。

5.一種復(fù)合襯底的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:

將藍(lán)寶石片與硅晶片鍵合,形成鍵合體;

將鍵合體中的藍(lán)寶石片減薄,得到復(fù)合襯底。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的復(fù)合襯底的制備方法,其特征在于,所述藍(lán)寶石片與硅晶片鍵合的步驟包括:

在所述藍(lán)寶石片上生長硅膜,將所述硅膜與硅晶片鍵合。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的復(fù)合襯底的制備方法,其特征在于,所述生長為氣相外延生長。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的復(fù)合襯底的制備方法,其特征在于,所述減薄為研磨拋光減薄。

9.一種外延片,其特征在于:包括權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述復(fù)合襯底以及生長在所述復(fù)合襯底上的外延層。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述外延片,其特征在于:所述外延層為氮化鎵層。

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