本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,具體的說是一種基板封裝工藝。
背景技術(shù):
目前相關(guān)基板產(chǎn)品上的銅厚度大約為8μm左右,因此使用2μm厚度的銅箔,需要進(jìn)行鍍銅工藝,鍍銅容易受電流影響,使得銅表面粗糙直接影響后面鍍鎳鍍金工藝,直接影響鍵合手指表面粗糙度;而開發(fā)使用12μm厚度銅箔不需要進(jìn)行鍍銅,進(jìn)行減銅工藝即可,即可以減少工序,又可以提高品質(zhì)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本發(fā)明的目的在于克服上述不足之處,從而提供一種基板封裝工藝。本發(fā)明是通過下述技術(shù)方案解決上述技術(shù)問題的:一種基板的封裝工藝,其特征在于,包括以下步驟:第一步:熱壓疊合,準(zhǔn)備浸有樹脂的玻璃纖維織布,將12μm的銅箔與玻璃纖維織布進(jìn)行熱壓疊合;
第二步:材料烘焙,將熱壓疊合好的基板進(jìn)行烘焙,使得預(yù)浸材料中的樹脂熔融,得到硬化成型的基板;
第三步:鉆孔,在烘焙好的基板上進(jìn)行鉆孔;
第四步:表面預(yù)處理,在基板的表面進(jìn)行表面預(yù)處理,使其表面光滑,增進(jìn)未來電路蝕刻的精確度;
第五步:電路預(yù)處理,在表面預(yù)處理好后的基板上布置線路;
第六步:蝕刻,對基板表面上的玻璃纖維的突出物以氯化亞銅溶液去除;
第七步:清洗,對基板表面上殘留的一些雜質(zhì)進(jìn)行清洗;
第八步:涂布保護(hù)層,在表面處理好后的基板上涂布一層環(huán)氧樹脂保護(hù)層;
第九步:測試包裝。
優(yōu)選的,所述銅箔與玻璃纖維織布之間采用高分子樹脂黏結(jié)。
優(yōu)選的,所述環(huán)氧樹脂的厚度為60μm。
本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明通過改變銅箔的厚度,銅箔的厚度由原來的2μm變?yōu)楝F(xiàn)在的12μm,減少二次鍍銅所帶來的工序,可以減少17%的基板制作工序,極大地縮短封裝周期,從而可以生產(chǎn)降低成本;同時(shí),可以防止鍍銅時(shí)發(fā)生低電流現(xiàn)象而直接導(dǎo)致鍵合手指表面金層不均勻的問題。
附圖說明
圖1為本發(fā)明一種基板的封裝工藝的原理圖;
圖2為本發(fā)明一種基板的封裝工藝的原理示意圖。
具體實(shí)施方式
以下是本發(fā)明的具體實(shí)施例并結(jié)合附圖,對本發(fā)明的技術(shù)方案作進(jìn)一步的描述,但本發(fā)明并不限于這些實(shí)例。
如圖1和圖2所示,一種基板的封裝工藝,其特征在于,包括以下步驟:第一步:熱壓疊合,準(zhǔn)備浸有樹脂的玻璃纖維織布,將12μm的銅箔與玻璃纖維織布進(jìn)行熱壓疊合;
第二步:材料烘焙,將熱壓疊合好的基板進(jìn)行烘焙,使得預(yù)浸材料中的樹脂熔融,得到硬化成型的基板;
第三步:鉆孔,在烘焙好的基板上進(jìn)行鉆孔;
第四步:表面預(yù)處理,在基板的表面進(jìn)行表面預(yù)處理,使其表面光滑,增進(jìn)未來電路蝕刻的精確度;
第五步:電路預(yù)處理,在表面預(yù)處理好后的基板上布置線路;
第六步:蝕刻,對基板表面上的玻璃纖維的突出物以氯化亞銅溶液去除;
第七步:清洗,對基板表面上殘留的一些雜質(zhì)進(jìn)行清洗;
第八步:涂布保護(hù)層,在表面處理好后的基板上涂布一層環(huán)氧樹脂保護(hù)層;
第九步:測試包裝。
在本實(shí)施例中,優(yōu)選的,所述銅箔與玻璃纖維織布之間采用高分子樹脂黏結(jié)。
在本實(shí)施例中,優(yōu)選的,所述環(huán)氧樹脂的厚度為60μm。
以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例方式,不能以此來限定本發(fā)明保護(hù)的范圍,本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明的基礎(chǔ)上所做的任何非實(shí)質(zhì)性的變化及替換均屬于本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍。