1.一種兆聲清洗中晶圓轉速檢測裝置，其特征在于：所述檢測裝置與從動帶輪組件（7）連接，包括內置于晶圓轉子（73）一端的鍵槽內的第二磁芯（19）、內嵌于晶圓轉子帶輪套（74）的第一磁芯（18）、連接在從動帶輪（71）端部的計數(shù)盤（17）和設置在計數(shù)盤（17）側邊的轉速傳感器（16）；
所述第二磁芯（19）位于裝置的中心位置、第一磁芯（18）位于第二磁芯（19）的一側，且兩者呈異性放置。
2.根據(jù)權利要求1所述的兆聲清洗中晶圓轉速檢測裝置，其特征在于：所述計數(shù)盤（17）通過連接件與從動帶輪（71）連接；
所述計數(shù)盤（17）呈圓形，其圓周上發(fā)散狀設有計數(shù)齒，計數(shù)盤（17）的盤面上在環(huán)向上均勻間隔開有一圈穿過連接件的連接孔。
3.根據(jù)權利要求3所述的兆聲清洗中晶圓轉速檢測裝置，其特征在于：所述轉速傳感器16的檢測端位于計數(shù)盤（17）的計數(shù)齒的旋轉路徑上。
4.根據(jù)權利要求1至4任意一項所述的兆聲清洗中晶圓轉速檢測裝置，其特征在于：還包括檢測控制電路，包括依次信號連接的將光信號轉化為電信號的轉換電路、電壓電流轉換電路、電壓放大電路和數(shù)據(jù)采集電路。
5.一種如權利要求1至4任意一項所述的兆聲清洗中晶圓轉速檢測裝置的清洗系統(tǒng)，包括兆聲清洗槽、連接在兆聲清洗槽上的兆聲發(fā)生裝置（9）以及設置在兆聲清洗槽內的第一主動帶輪（5）、第二主動帶輪（6）和從動帶輪組件（7），其特征在于：所述從動帶輪組件（7）包括晶圓轉子（73），所述晶圓轉子（73）為柱形，其一端中心沿長向開有柱形鍵槽形成鍵槽段、另一端沿環(huán)向開有卡接晶圓的卡槽形成卡槽段、且鍵槽段和卡槽段兩者之間通過過渡段連接，所述晶圓轉子（73）的鍵槽段外側依次套接有晶圓轉子護罩（72）、晶圓轉子帶輪套（74）和從動帶輪（71），其中晶圓轉子帶輪套（74）上開有鍵槽；
還包括檢測裝置；所述檢測裝置的第二磁芯（19）為柱形、沿晶圓轉子長向內置于晶圓轉子（73）的鍵槽內，第一磁芯（18）為條形、沿晶圓轉子帶輪套長向內嵌于晶圓轉子帶輪套（74）的鍵槽內。
6.根據(jù)權利要求5所述的清洗系統(tǒng)，其特征在于：所述兆聲清洗槽包括兆聲清洗槽外槽（1）和置于兆聲清洗槽外槽（1）內的兆聲清洗槽內槽（2），兆聲清洗槽外槽（1）與兆聲清洗槽內槽（2）形成封閉腔體，其中兆聲清洗槽內槽（2）的底部突出兆聲清洗槽外槽（1）、且與兆聲發(fā)生裝置（9）連接，兆聲清洗槽內槽（2）的上端口兆聲清洗槽外槽（1）內部連通，兩者通過循環(huán)管路連通。
7.根據(jù)權利要求6所述的清洗系統(tǒng)，其特征在于：所述循環(huán)管路的起始端連接在兆聲清洗槽外槽（1）的底部、終止端連接在兆聲清洗槽內槽（2）的下部；
循環(huán)管路上依次串聯(lián)有循環(huán)路通斷閥（10）、循環(huán)泵（11）、溫控器（12）、過濾器（13）和流量計（15），其中過濾器（13）上另外連通有一支路，該支路上串聯(lián)有排液閥（14）。
8.根據(jù)權利要求6或7所述的清洗系統(tǒng)，其特征在于：
第一主動帶輪（5）和第二主動帶輪（6）結構相同、水平方向上間隔設置連接在兆聲清洗槽內槽（2）下部，兩者之間通過皮帶（8）連接，且第一主動帶輪（5）與電機（4）信號連接；
所述第一主動帶輪（5）的內端置于兆聲清洗槽內槽（2）內、環(huán)向設有卡接晶圓的卡槽，外端置于兆聲清洗槽內槽（2）外側且與皮帶（8）連接；
第一主動帶輪（5）和第二主動帶輪（6）與兆聲清洗槽內槽（2密封連接。
9.根據(jù)權利要求8所述的清洗系統(tǒng)，其特征在于：所述從動帶輪組件（7位于第一主動帶輪（5）和第二主動帶輪（6）之間的下方位置，從動帶輪組件（7）的晶圓轉子（73）的卡槽段位于兆聲清洗槽內槽（2）內側，從動帶輪組件（7）、第一主動帶輪（5）和第二主動帶輪（6）三者上卡接晶圓的卡槽均與晶圓相切，三個切點的連線是與晶圓外輪廓相適應的弧形線；
從動帶輪組件（7）通過晶圓轉子護罩（72）與兆聲清洗槽內槽（2）密封連接。
10.一種如權利要求9所述的清洗系統(tǒng)的工作過程，其特征在于，晶圓（3）置于充滿化學液的兆聲清洗槽內槽（2）中、且置于第一主動帶輪（5）、第二主動帶輪（6）和從動帶輪組件（7）所形成的支撐弧面上，第一主動帶輪（5）、第二主動帶輪（6）在電機4帶動下通過皮帶（8）直接旋轉，從而帶動處于其之上的晶圓（3）逆向轉動，進而帶動從動帶輪組件（7）轉動，從動帶輪組件（7）中與晶圓直接接觸的晶圓轉子（20）隨即轉動，在第一磁芯（18）和第二磁芯（19）異性相吸的磁力作用下，帶動晶圓轉子帶輪套（74）轉動，從而使得從動帶輪（71）和計數(shù)盤（17）轉動，轉速傳感器（16）隨即讀取轉動速度，經(jīng)檢測控制電路將轉速傳感器（16）接收到的光信號進行信號輸出。