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一種長波長垂直腔面發(fā)射激光器的制作方法

文檔序號:12613178閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種長波長垂直腔面發(fā)射激光器,該長波長垂直腔面發(fā)射激光器由下至上依次包括襯底(8)、n型DBR(6)、n型空間層(5)、有源區(qū)(4)、p型空間層(3)、出光孔(9)和p面電極(2),其中p面電極(2)蒸鍍于p型空間層(3)上,并包圍出光孔(9),n型DBR(6)中間設(shè)有電流限制層(10),電流限制層(10)上形成有圓形電流限制孔(11),其特征在于,

所述襯底(8)和n型DBR(6)為等直徑的圓臺型結(jié)構(gòu),其直徑大于所述出光孔(9)的直徑,小于長波長垂直腔面發(fā)射激光器最終解離芯片橫向尺寸。

2.如權(quán)利要求1所述的長波長垂直腔面發(fā)射激光器,其特征在于,該長波長垂直腔面發(fā)射激光器還包括:n面電極(7),其蒸鍍于所述襯底(8)和n型DBR(6)形成的等直徑的圓臺型結(jié)構(gòu)的底面和側(cè)面。

3.如權(quán)利要求1所述的長波長垂直腔面發(fā)射激光器,其特征在于,所述襯底(8)為InP材料。

4.如權(quán)利要求1所述的長波長垂直腔面發(fā)射激光器,其特征在于,所述n型DBR(6)為半導(dǎo)體材料或者介電材料。

5.如權(quán)利要求4所述的長波長垂直腔面發(fā)射激光器,其特征在于,所述半導(dǎo)體材料為AlxInyGa(1-x-y)As/InP或者InxGa(1-x)AsyP(1-y)/InP,所述介電材料為α-Si/Al2O3、MgO/α-Si、CaF2/α-Si或者CaF2/ZnS。

6.如權(quán)利要求1所述的長波長垂直腔面發(fā)射激光器,其特征在于,所述n型空間層(5)材料為InP或者與InP匹配的三元或四元半導(dǎo)體材料。

7.如權(quán)利要求1所述的長波長垂直腔面發(fā)射激光器,其特征在于,所述有源區(qū)(4)是單個量子阱或多對量子阱結(jié)構(gòu)。

8.如權(quán)利要求7所述的長波長垂直腔面發(fā)射激光器,其特征在于,所述單個量子阱或多對量子阱結(jié)構(gòu),其量子阱材料組分為AlxInyGa(1-x-y)As/AlxInyGa(1-x-y)As或InxGa(1-x)AsyP(1-y)/InxGa(1-x)AsyP(1-y),所述量子阱個數(shù)為3-7個。

9.如權(quán)利要求1所述的長波長垂直腔面發(fā)射激光器,其特征在于,所述p型空間層(3)材料為InP或者與InP匹配的三元或四元半導(dǎo)體材料。

10.如權(quán)利要求1所述的長波長垂直腔面發(fā)射激光器,其特征在于,所述p面電極(2)材料為Cr/Au金屬。

11.如權(quán)利要求1所述的長波長垂直腔面發(fā)射激光器,其特征在于,所述P型DBR(1)為半導(dǎo)體材料或者介電材料。

12.如權(quán)利要求11所述的長波長垂直腔面發(fā)射激光器,其特征在于,所述半導(dǎo)體材料為AlxInyGa(1-x-y)As/InP或InxGa(1-x)AsyP(1-y)/InP,所述介電材料為α-Si/Al2O3、MgO/α-Si、CaF2/α-Si或者CaF2/ZnS。

13.如權(quán)利要求1所述的長波長垂直腔面發(fā)射激光器,其特征在于,所述n面電極(7)為包圍所述n型DBR(6)和襯底(8)的圓臺型結(jié)構(gòu)的環(huán)包型結(jié)構(gòu),所述n面電極(7)材料為Au/Ge/Ni金屬。

14.如權(quán)利要求1所述的長波長垂直腔面發(fā)射激光器,其特征在于,所述電流限制孔(11)直徑小于所述n型DBR(6)和襯底(8)圓臺型結(jié)構(gòu)的直徑和所述出光孔(9)的直徑。

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