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一種具有原子氧防護(hù)功能的表面薄膜的設(shè)計及制備方法與流程

文檔序號:11925602閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種具有原子氧防護(hù)功能的表面薄膜的設(shè)計及制備方法,表面薄膜的設(shè)計采用組合膜層,其結(jié)構(gòu)如下:AIR∣HSiO2LSiO2∣GLASS,AIR為入射介質(zhì),HSiO2為折射率1.45±0.01的SiO2膜層,厚度為20±1nm,LSiO2為折射率1.28±0.02的SiO2膜層,厚度為95±5nm,GLASS為摻有二氧化鈰的玻璃蓋片,采用電子束熱蒸發(fā)的方式將2層薄膜逐層沉積到玻璃蓋片上。本發(fā)明的有益效果是采用這種方法制備的表面薄膜的主要材質(zhì)為SiO2,不會因被高活性的原子氧氧化而變性,提升了表面薄膜的化學(xué)穩(wěn)定性。同時,該薄膜是專為空間用抗輻照玻璃蓋片而設(shè)計的,材料折射率與玻璃蓋片形成良好的匹配,鍍膜后蓋片的透射率較高,有利于提高太陽電池組件的工作效率。

技術(shù)研發(fā)人員:孫希鵬;杜永超;肖志斌;李曉東
受保護(hù)的技術(shù)使用者:中國電子科技集團(tuán)公司第十八研究所;天津恒電空間電源有限公司
文檔號碼:201611234122
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.28
技術(shù)公布日:2017.05.17

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