欧美在线观看视频网站,亚洲熟妇色自偷自拍另类,啪啪伊人网,中文字幕第13亚洲另类,中文成人久久久久影院免费观看 ,精品人妻人人做人人爽,亚洲a视频

復(fù)合襯底及其制備方法、半導(dǎo)體器件與流程

文檔序號(hào):12478219閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種復(fù)合襯底的制作方法,其特征在于,包括以下步驟:

在硅晶片生長(zhǎng)氮化鎵層;

將所述氮化鎵層與藍(lán)寶石片鍵合,形成鍵合體;

將所述硅晶片從所述氮化鎵層上剝離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合襯底的制作方法,其特征在于,所述生長(zhǎng)為氫化物氣相外延生長(zhǎng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的符合襯底的制作方法,其特征在于,所述氮化鎵層的厚度為10μm-50μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合襯底的制作方法,其特征在于,在所述將所述氮化鎵層與藍(lán)寶石片鍵合的步驟之后,所述復(fù)合襯底的制作方法還包括:

將鍵合體中的所述藍(lán)寶石片減薄。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的復(fù)合襯底的制作方法,其特征在于,所述減薄為研磨拋光減薄。

6.一種復(fù)合襯底,其特征在于,包括:

藍(lán)寶石襯底層;

鍵合于所述藍(lán)寶石襯底層上的氮化鎵層。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的復(fù)合襯底,其特征在于,所述氮化鎵層的厚度為10μm-50μm。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的復(fù)合襯底,其特征在于,所述藍(lán)寶石襯底層的厚度為430-750um。

9.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的復(fù)合襯底,其特征在于,所述藍(lán)寶石襯底層呈圓形,且所述圓形藍(lán)寶石襯底層的直徑大小大于等于2英寸。

10.一種半導(dǎo)體器件,其特征在于,包括權(quán)利要求6-9任一項(xiàng)所述的復(fù)合襯底。

當(dāng)前第2頁(yè)1 2 3 
網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評(píng)論。精彩留言會(huì)獲得點(diǎn)贊!
1
惠安县| 丰镇市| 郴州市| 玉溪市| 清水县| 郁南县| 博白县| 安平县| 内黄县| 秦皇岛市| 永安市| 礼泉县| 鸡泽县| 肇东市| 彭泽县| 仪征市| 合江县| 墨脱县| 会同县| 北安市| 思南县| 阿拉善左旗| 曲靖市| 丹江口市| 应城市| 塔城市| 临潭县| 晋州市| 屯留县| 永康市| 夏津县| 梧州市| 从江县| 玉门市| 邛崃市| 崇文区| 九江县| 丹巴县| 漳浦县| 连云港市| 原阳县|