本實(shí)用新型涉及一種石英制品用到的設(shè)備，尤其涉及一種可存放硅片的石英舟。

背景技術(shù)：

石英玻璃制品以其優(yōu)良的物理化學(xué)特性，被廣泛用于微電子產(chǎn)業(yè)集成電路芯片制造業(yè)。石英舟是擴(kuò)散時(shí)用到的工具。

授權(quán)公告號(hào)為CN202503019U，授權(quán)公告日為2012年10月24日的中國(guó)實(shí)用新型專利公開(kāi)了一種能夠承載不同規(guī)格硅片的多功能石英舟，屬于石英制品技術(shù)領(lǐng)域。多功能石英舟，包括舟首、舟身和舟尾，所述舟身由縱向構(gòu)件形成，所述縱向構(gòu)件包括龍骨和龍筋，所述龍骨和龍筋上均設(shè)置有成排的卡槽，所述龍骨和龍筋上的卡槽均設(shè)置在內(nèi)上角。本實(shí)用新型創(chuàng)造性地采用“內(nèi)上角”技術(shù)固定了卡槽的位置，使得硅片的插槽方式較之以往發(fā)生了改變，使得原本石英舟只適應(yīng)一種規(guī)格大小的硅片變成了可以適應(yīng)多種大小規(guī)格的硅片。但是該實(shí)用新型存在如下不足之處：設(shè)置的卡槽為矩形槽，硅片在插入時(shí)不容易定位，容易破壞硅片兩邊的結(jié)構(gòu)，影響硅片的質(zhì)量；該實(shí)用新型雖然能夠存放不同規(guī)格大小的硅片，但是卻不能同時(shí)存放不同形狀的硅片，例如不同既存放矩形硅片又能存放圓形硅片，適用范圍較窄。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了克服上述石英舟存在的卡槽損壞硅片結(jié)構(gòu)的缺陷，本實(shí)用新型提供了一種石英舟，該石英舟改進(jìn)了卡槽的形狀，能夠快速放入硅片，定位硅片，且不會(huì)造成硅片結(jié)構(gòu)的破壞，不影響硅片的質(zhì)量。

本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：

一種石英舟，包括兩個(gè)支座、上連接桿和下連接桿，兩個(gè)支座通過(guò)上連接桿和下連接桿連接成一個(gè)整體，上連接桿連接在支座的上半部，下連接桿連接在支座的下半部，上連接桿和下連接桿上均設(shè)置有多個(gè)卡槽，其特征在于：所述卡槽為矩形卡槽，矩形卡槽的上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過(guò)渡圓角。

所述支座上設(shè)置有上橫向滑槽和下橫向滑槽，上連接桿穿過(guò)上橫向滑槽，下連接桿穿過(guò)下橫向滑槽，上連接接桿和下連接桿上均套接有緊固螺母，緊固螺母能夠?qū)⑸线B接桿和下連接桿分別固定在上橫向滑槽內(nèi)和下橫向滑槽內(nèi)。

所述上連接桿至少有兩根，所述下連接桿至少有一根。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：

本實(shí)用新型包括兩個(gè)支座、上連接桿和下連接桿，兩個(gè)支座通過(guò)上連接桿和下連接桿連接成一個(gè)整體，上連接桿連接在支座的上半部，下連接桿連接在支座的下半部，上連接桿和下連接桿上均設(shè)置有多個(gè)卡槽，其特征在于：所述卡槽為矩形卡槽，矩形卡槽的上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過(guò)渡圓角。本實(shí)用新型的矩形卡槽上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過(guò)渡圓角，過(guò)渡圓角的優(yōu)點(diǎn)在于便于硅片準(zhǔn)確的插入到矩形卡槽內(nèi)，而且不會(huì)造成硅片的磨損，不會(huì)影響硅片的表面質(zhì)量。

本實(shí)用新型支座上設(shè)置有上橫向滑槽和下橫向滑槽，上連接桿穿過(guò)上橫向滑槽，下連接桿穿過(guò)下橫向滑槽，上連接接桿和下連接桿上均套接有緊固螺母，緊固螺母能夠?qū)⑸线B接桿和下連接桿分別固定在上橫向滑槽內(nèi)和下橫向滑槽內(nèi)。上連接桿至少有兩根，所述下連接桿至少有一根，通過(guò)調(diào)節(jié)上連接桿之間的距離以及下連接桿的在下橫向滑槽的位置，可以滿足不同規(guī)格和不同形狀的硅片的放置。適用范圍大大擴(kuò)大。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1的側(cè)視圖；

圖3是本實(shí)用新型卡槽的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中標(biāo)記：1、支座，2、上連接桿，3、下連接桿，4、卡槽，5、過(guò)渡圓角，6、緊固螺母，7、上橫向滑槽，8、下橫向滑槽。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，并不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的其他所用實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

實(shí)施例1

本實(shí)施例包括兩個(gè)支座1、上連接桿2和下連接桿3，兩個(gè)支座1通過(guò)上連接桿2和下連接桿3連接成一個(gè)整體，上連接桿2連接在支座1的上半部，下連接桿3連接在支座1的下半部，上連接桿2和下連接桿3上均設(shè)置有多個(gè)卡槽4，其特征在于：所述卡槽4為矩形卡槽，矩形卡槽的上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過(guò)渡圓角5。本實(shí)施例的矩形卡槽上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過(guò)渡圓角，過(guò)渡圓角的優(yōu)點(diǎn)在于便于硅片準(zhǔn)確的插入到矩形卡槽內(nèi)，而且不會(huì)造成硅片的磨損，不會(huì)影響硅片的表面質(zhì)量。上連接桿2有兩根，所述下連接桿3有一根。

實(shí)施例2

本實(shí)施例包括兩個(gè)支座1、上連接桿2和下連接桿3，兩個(gè)支座1通過(guò)上連接桿2和下連接桿3連接成一個(gè)整體，上連接桿2連接在支座1的上半部，下連接桿3連接在支座1的下半部，上連接桿2和下連接桿3上均設(shè)置有多個(gè)卡槽4，其特征在于：所述卡槽4為矩形卡槽，矩形卡槽的上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過(guò)渡圓角5。本實(shí)施例的矩形卡槽上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過(guò)渡圓角，過(guò)渡圓角的優(yōu)點(diǎn)在于便于硅片準(zhǔn)確的插入到矩形卡槽內(nèi)，而且不會(huì)造成硅片的磨損，不會(huì)影響硅片的表面質(zhì)量。上連接桿2有兩根，所述下連接桿3有一根。

本實(shí)施例支座1上設(shè)置有上橫向滑槽7和下橫向滑槽8，上連接桿2穿過(guò)上橫向滑槽7，下連接桿3穿過(guò)下橫向滑槽8，上連接接桿2和下連接桿3上均套接有緊固螺母6，緊固螺母6能夠?qū)⑸线B接桿2和下連接桿3分別固定在上橫向滑槽7內(nèi)和下橫向滑槽8內(nèi)。上連接桿2有兩根，所述下連接桿3有兩根，通過(guò)調(diào)節(jié)上連接桿之間的距離以及下連接桿的在下橫向滑槽的位置，可以滿足不同規(guī)格和不同形狀的硅片的放置。適用范圍大大擴(kuò)大。

實(shí)施例3

本實(shí)施例包括兩個(gè)支座1、上連接桿2和下連接桿3，兩個(gè)支座1通過(guò)上連接桿2和下連接桿3連接成一個(gè)整體，上連接桿2連接在支座1的上半部，下連接桿3連接在支座1的下半部，上連接桿2和下連接桿3上均設(shè)置有多個(gè)卡槽4，其特征在于：所述卡槽4為矩形卡槽，矩形卡槽的上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過(guò)渡圓角5。本實(shí)施例的矩形卡槽上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過(guò)渡圓角，過(guò)渡圓角的優(yōu)點(diǎn)在于便于硅片準(zhǔn)確的插入到矩形卡槽內(nèi)，而且不會(huì)造成硅片的磨損，不會(huì)影響硅片的表面質(zhì)量。上連接桿2有兩根，所述下連接桿3有兩根。