本實(shí)用新型涉及一種與普通的電連接器一樣包括插座固定端與插頭自由端的電連接器，尤其是一種插座部分整合了真空法蘭密封技術(shù)應(yīng)用于對(duì)真空度要求很高的真空腔體的電連接器。

背景技術(shù)：

電連接器，俗稱航空插頭或簡稱航插，主要包括固定安裝的插座和連接線纜的插頭兩個(gè)部分，主要用于器件和組件、組件和機(jī)柜、系統(tǒng)和子系統(tǒng)之間的連接和信號(hào)傳遞的作用，應(yīng)用十分廣泛，常用于航空航天、軍事裝備、汽車和工業(yè)等各個(gè)領(lǐng)域，電連接器的主要作用是為被阻斷或孤立的不同電路之間架起溝通橋梁，確保電流或信號(hào)傳輸流通，是電子設(shè)備中不可或缺的部件。如圖1至圖3所示的一種典型的市售電連接器包括插座1固定端和插頭2自由端兩部分，所述插座1依靠其外圍帶螺釘孔的法蘭緊固安裝于諸如電氣柜之類電氣裝置外壁的孔洞上，插座1和插頭2具有使插座1上的公頭插針與插頭2上的母頭插孔精確對(duì)準(zhǔn)的鍵與鍵槽結(jié)構(gòu)。目前大多數(shù)電氣連接器采用螺紋副將插頭2與插座1緊固連接為一體，如圖1至圖3所示，所述市售電連接器的插頭2的前端套筒3具有三道均勻分布的長節(jié)距內(nèi)螺紋，三道所述長節(jié)距內(nèi)螺紋的終點(diǎn)都具有銷釘孔，所述市售電連接器的插座1上具有與三道所述長節(jié)距螺紋配合的起外螺紋作用的三個(gè)凸起的銷釘4，所述銷釘4與所述長節(jié)距內(nèi)螺紋內(nèi)壁之間具有少許的過盈量，使用時(shí)首先將插頭2通過與插座1之間的鍵與鍵槽配合對(duì)準(zhǔn)插在插座1之上，然后旋轉(zhuǎn)套筒3使其內(nèi)壁上的三道長節(jié)距內(nèi)螺紋開口套住三個(gè)所述銷釘4，然后再繼續(xù)旋緊套筒3使插座1的公頭插針進(jìn)一步深入插頭1的母頭插孔確?？煽康碾娺B接，直至所述銷釘4達(dá)到所述長節(jié)距內(nèi)螺紋終點(diǎn)的銷釘孔并因其與內(nèi)螺紋內(nèi)壁之間的少許過盈配合深入套筒的銷釘孔內(nèi)實(shí)現(xiàn)所述插頭2與插座1之間的螺紋副的鎖固。

上述這種典型的電連接器可以適用于大多數(shù)普通的場合，但不能直接應(yīng)用于有高真空度要求的真空腔體柜壁上，因?yàn)榧幢阍谒霾遄?的外圍法蘭與柜壁之間填塞橡膠密封墊，也會(huì)因?yàn)榫o固螺釘與螺母之間的普通螺紋副做不到完全密封而破壞真空腔體內(nèi)的真空度。目前對(duì)于有高真空度要求的管道系統(tǒng)普遍采用CF、KF和ISO三種類型的真空法蘭來實(shí)現(xiàn)管道的對(duì)接，這三種類型的真空法蘭技術(shù)目前已經(jīng)非常成熟，可以滿足包括超高真空度在內(nèi)的各種真空度要求，因此完全可以將這三種真空法蘭的成熟技術(shù)應(yīng)用于電連接器從而制造出可以應(yīng)用于真空腔體柜壁的電連接器。

CF、KF和ISO這三種類型的真空法蘭技術(shù)的共同之處都是將法蘭片密封焊接于接管的端面，再用螺栓、卡箍或者大口徑螺母將兩片法蘭片連同其中的O形橡膠密封圈或者銅密封墊圈夾緊，從而實(shí)現(xiàn)兩根接管連接處的完全密封，保證接管內(nèi)高真空度的要求。CF型真空法蘭的英文名是Conflat Flange，其特征是采用可以耐受高溫烘烤的金屬靜密封，通常采用無氧銅密封墊圈，CF型真空法蘭的內(nèi)側(cè)有凸起的密封刀口，通過擠壓無氧銅密封墊圈使其變形來達(dá)到密封的目的，被廣泛應(yīng)用于超高真空系統(tǒng)當(dāng)中。需要注意的是銅密封墊圈在使用一次以后密封效果會(huì)很差，如果對(duì)真空度要求較高的系統(tǒng)，法蘭每拆卸一次，就需要更換新的密封墊圈。而且由于無氧銅或其他軟金屬密封墊圈在被密封刀口擠壓后會(huì)發(fā)生不可逆的塑性變形，因此在對(duì)CF型真空法蘭的夾緊過程中用均等力量擰緊法蘭夾緊螺栓非常重要，如果 法蘭周邊的夾緊螺栓的擰緊過程用力不均等就會(huì)使對(duì)角的法蘭翹起導(dǎo)致漏氣。此外，CF型真空法蘭是以環(huán)形密封刀口切入金屬密封墊圈來實(shí)現(xiàn)真空密封效果的，長期使用后密封刀口會(huì)逐漸變鈍，而且在受到硬物碰撞后密封刀口也容易受損。名為“超真空法蘭”的中國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T6071-2003就是我國關(guān)于CF型真空法蘭的型式、尺寸以及技術(shù)要求的指導(dǎo)性標(biāo)準(zhǔn)。與CF型真空法蘭相比，KF型真空法蘭和ISO型真空法蘭的特征在于其采用夾在兩塊法蘭片之間的O形橡膠密封圈來實(shí)現(xiàn)密封，且通常采用卡箍、大口徑螺母來實(shí)現(xiàn)對(duì)兩塊法蘭片的快速夾緊和快速拆卸。ISO型真空法蘭與KF型真空法蘭之間的區(qū)別也就是IS0型真空法蘭比KF型真空法蘭多了一個(gè)箍在O型橡膠密封圈的外圍的一個(gè)鋁制彈簧外圈，該鋁制彈簧外圈的主要作用也就是固定O形橡膠密封圈的位置而已。名為“真空技術(shù)快卸連接器尺寸第1部分：夾緊型”和“真空技術(shù)快卸連接器尺寸第2部分：擰緊型”的中國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T4982-2003和GB/T4983-2003就是我國關(guān)于KF型真空法蘭的卡箍夾緊型和大口徑螺母擰緊型的尺寸的指導(dǎo)性標(biāo)準(zhǔn)，也可以從這兩份標(biāo)準(zhǔn)當(dāng)中獲得KF型真空法蘭標(biāo)準(zhǔn)件的型式參考。

綜上所述，考慮到目前電連接器的插座固定端的插針是采用玻璃或陶瓷熔封技術(shù)封裝于插座之中已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了完全密封，所以與之匹配的插頭自由端就無需考慮真空度要求，只要將電連接器的插座固定端與CF、KF或者ISO型真空法蘭整合為一體密封安裝于對(duì)真空度有要求的真空腔體的柜壁上，就可以利用目前已經(jīng)成熟了的真空法蘭技術(shù)和現(xiàn)成的諸如無氧銅密封墊圈、O型密封圈、中心環(huán)等真空法蘭標(biāo)準(zhǔn)件來使得電連接器可以應(yīng)用于對(duì)真空度有要求的真空腔體，既可以將真空腔體內(nèi)部與外部大氣隔離密封保證真空度要求，又能通過電連接器的插座進(jìn)行真空腔體內(nèi)部與外部的電信號(hào)傳導(dǎo)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題也就是上文所述的將現(xiàn)有成熟的真空法蘭技術(shù)應(yīng)用于電連接器領(lǐng)域，尤其是將CF型真空法蘭技術(shù)整合到電連接器當(dāng)中并做出相應(yīng)改良使之可以被方便直接的應(yīng)用于對(duì)真空度有要求的場合，譬如真空腔體的柜壁。

本實(shí)用新型提供的一種電連接器，與普通電連接器一樣，也包括插座和插頭兩部分，如上所述，其與普通電連接器不同的技術(shù)特征在于其整合了目前已經(jīng)成熟的CF型真空法蘭技術(shù)。

具體地說，本實(shí)用新型提供的一種電連接器還包括一個(gè)外沿滿焊于真空腔體柜壁的插座安裝孔洞邊緣的底座，以及一個(gè)與所述插座為一體的密封蓋；所述插座的系列導(dǎo)電插針熔封于所述密封蓋的正中央位置；所述密封蓋通過圍繞其軸心線均勻?qū)ΨQ分布的至少三顆緊固螺釘緊固安裝于所述底座之上；所述密封蓋與底座之間具有金屬材質(zhì)的密封墊圈。所述密封蓋與底座相對(duì)的一側(cè)都具有擠壓所述金屬材質(zhì)密封墊圈以實(shí)現(xiàn)金屬靜密封的兩道同心環(huán)形密封刀口，兩道所述環(huán)形密封刀口圍繞所述插座的所有插針，外圈的環(huán)形密封刀口的尖端高于內(nèi)圈的環(huán)形密封刀口尖端。

如上所述，本實(shí)用新型提供的一種電連接器是以其底座和與插座為一體的密封蓋作為CF型真空法蘭的兩片法蘭片，利用緊固螺釘使所述底座與密封蓋夾緊兩者之間的金屬密封墊圈從而確保真空腔體對(duì)真空度的要求的。底座以外沿滿焊的方式緊固安裝于真空腔體柜壁上也是為了確保本實(shí)用新型提供的電連接器的安裝部位不至于漏氣而影響真空腔體內(nèi)的真空度。由于電連接器插座的插針都是通過玻璃或陶瓷熔封技術(shù)緊固安裝于插座當(dāng)中的，鑒于玻璃或 陶瓷熔封技術(shù)良好的密封性能，因此無需擔(dān)憂整合了插座的密封蓋本身的密封性能。所述密封蓋與底座相向的一側(cè)都具有的環(huán)形密封刀口則令兩者完全具備了CF型真空法蘭的法蘭片的功能，可以利用兩側(cè)的環(huán)形密封刀口擠壓金屬材質(zhì)的密封墊圈并使其發(fā)生緊貼密封刀口的形變實(shí)現(xiàn)滿足超高真空度要求的密封效果。此外，如上所述，CF型真空法蘭所使用的金屬密封墊圈，大多數(shù)為無氧銅密封墊圈，在使用一次以后密封效果會(huì)很差，如果對(duì)真空度要求較高的系統(tǒng)，法蘭每拆卸一次，就需要更換新的密封墊圈。而且長期使用后法蘭片內(nèi)側(cè)的密封刀口會(huì)逐漸變鈍，在受到硬物碰撞后密封刀口也容易受損。為此，在本實(shí)用新型當(dāng)中，所述密封蓋與底座相對(duì)的一側(cè)都設(shè)置有擠壓所述金屬材質(zhì)密封墊圈以實(shí)現(xiàn)金屬靜密封的兩道同心環(huán)形密封刀口，外圈的環(huán)形密封刀口的尖端高于內(nèi)圈的環(huán)形密封刀口尖端。如此配置則平時(shí)可以先用所述密封蓋與底座的外圈環(huán)形密封刀口擠壓金屬密封墊圈來實(shí)現(xiàn)密封效果，在密封蓋從底座上被拆卸下來之后，或者外圈密封刀口遭受硬物碰撞受損乃至?xí)r間長了鈍化之后，可以繼續(xù)使用原先使用的金屬密封墊圈，只需將密封蓋與底座之間的夾緊程度再增加一些使得所述密封蓋與底座上的內(nèi)圈密封刀口切入金屬密封墊圈從而再一次實(shí)現(xiàn)良好的真空密封效果。如此則可以充分利用金屬密封墊圈和所述密封蓋及底座，節(jié)約成本。

為了確保金屬材質(zhì)的密封墊圈能被充分?jǐn)D壓發(fā)生足夠的形變，CF型真空法蘭在其環(huán)形密封刀口的外沿都具有徑向的消氣槽，消氣槽的數(shù)量一般至少有兩條，用于在兩塊法蘭片擠壓密封墊圈時(shí)讓兩塊法蘭片之間的空氣得以從消氣槽溢出確保法蘭片能充分徹底的以其密封刀口擠壓密封墊圈達(dá)到可靠的密封效果。為此，在本實(shí)用新型提供的電連接器當(dāng)中，所述底座的外圈環(huán)形密封刀口的外側(cè)亦具有至少兩條貫通所述底座外沿的徑向的消氣槽，所述底座的內(nèi)圈環(huán)形密封刀口也具有至少兩條位于內(nèi)圈環(huán)形密封刀口的內(nèi)側(cè)且開口于底座內(nèi)壁的徑向的消氣槽；所述密封蓋的外圈環(huán)形密封刀口的外側(cè)亦具有至少兩條徑向的消氣槽，在本實(shí)用新型提供的電連接器當(dāng)中，為了使密封蓋的消氣槽開口不至于輕易落入灰塵造成不良影響，所有密封蓋的外圈環(huán)形密封刀口的消氣槽均與一道凹陷的環(huán)形的導(dǎo)氣槽相交，所述導(dǎo)氣槽與所述密封蓋的所有緊固螺釘孔相交。如此則當(dāng)使用具有開口的彈簧墊圈作為密封蓋與底座的緊固螺釘?shù)木o固配件時(shí)，密封蓋的外圈密封刀口的消氣槽即可通過導(dǎo)氣槽、外徑大于緊固螺釘螺紋大徑的緊固螺釘孔、彈簧墊圈的開口與大氣環(huán)境相通，且由于這條通路曲折狹窄，所以既可以保證消氣槽的消氣功能，也足可以防止灰塵進(jìn)入密封蓋內(nèi)。此外，所述密封蓋的內(nèi)圈環(huán)形密封刀口也具有至少兩條位于內(nèi)圈環(huán)形密封刀口的內(nèi)部且開口于密封蓋正中央插座部位內(nèi)壁的徑向的消氣槽，與外圈環(huán)形密封刀口的消氣槽不同，所述密封蓋與底座的內(nèi)圈環(huán)形密封刀口的消氣槽均通向真空腔體內(nèi)部，雖然并非通向真空腔體外部的大氣環(huán)境，但考慮到安裝本實(shí)用新型提供的電連接器于真空腔體柜壁之上時(shí)所述真空腔體勢(shì)必不會(huì)工作在真空狀態(tài)下，因此通向真空腔體內(nèi)部的消氣槽是完全可以發(fā)揮作用的。最后，如果考慮內(nèi)外圈兩道環(huán)形刀口之間的氣體溢出問題，如果外圈密封刀口沒有受損或鈍化，或者受損或鈍化的程度并不嚴(yán)重，由于內(nèi)側(cè)環(huán)形刀口尖端低于外側(cè)環(huán)形刀口的尖端，則金屬密封墊圈在被再次使用且增加了被夾緊的程度之后外圈密封刀口再進(jìn)一步稍稍深入地切入金屬密封墊圈之后依然可以實(shí)現(xiàn)有效的密封；倘若外圈密封刀口受損或鈍化了，主要依靠內(nèi)圈環(huán)形密封刀口實(shí)現(xiàn)密封效果時(shí)，兩道環(huán)形密封刀口之間空隙內(nèi)的空氣就可以從外圈環(huán)形密封刀口的受損或鈍化部位溢出。

作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，為了確保所述密封蓋與底座作為CF型真空法蘭的兩塊法蘭片能夠均勻的緊密夾緊所述密封墊圈，所述密封蓋通過圍繞其軸心線均勻?qū)ΨQ分布的六顆 緊固螺釘緊固安裝于所述底座之上；為了在確保消氣槽的氣體溢出效果和降低加工成本之間取得一個(gè)性價(jià)比相對(duì)較好的平衡，所述底座的外圈環(huán)形密封刀口的外側(cè)具有三條圍繞所述底座軸心線均勻分布的貫通所述底座外沿的徑向的消氣槽，所述底座的內(nèi)圈環(huán)形密封刀口具有三條圍繞所述底座軸心線均勻分布的位于內(nèi)圈環(huán)形密封刀口的內(nèi)側(cè)且開口于底座內(nèi)壁的徑向的消氣槽；所述密封蓋的外圈環(huán)形密封刀口的外側(cè)的徑向的消氣槽數(shù)量亦為三條，且圍繞所述密封蓋的軸心線均勻分布；所述密封蓋的內(nèi)圈環(huán)形密封刀口的內(nèi)側(cè)的徑向的消氣槽數(shù)量亦為三條，且圍繞所述密封蓋的軸心線均勻分布。

作為一種進(jìn)一步優(yōu)化的技術(shù)方案，為了防止灰塵或者水氣落入底座邊沿的消氣槽內(nèi)，所述密封蓋的外沿與所述真空腔體柜壁相對(duì)的端面具有卡裝耐高溫石棉繩的凹槽，如此則當(dāng)安裝了石棉繩的密封蓋與底座被夾緊之后所述石棉繩可以填塞所述密封蓋與真空腔體柜壁之間的間隙，阻擋灰塵乃至水氣的進(jìn)入。另外，所述底座內(nèi)部可以裝入一個(gè)陶瓷絕緣環(huán)，如此則可以避免位于真空腔體內(nèi)部的插座插針上焊接的信號(hào)線沒有絕緣外皮的部分與金屬材質(zhì)的底座的內(nèi)壁或者真空腔體的金屬柜壁觸碰。

如上所述，本實(shí)用新型提供的電連接器將其底座和密封蓋作為CF型真空法蘭的法蘭片，使電連接器的插座與密封蓋合為一體，因此本實(shí)用新型能取得的有益效果是顯而易見的，利用目前已經(jīng)成熟的CF型真空法蘭技術(shù)以及諸如金屬密封墊圈等的相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)件可以使本實(shí)用新型提供的電連接器可以方便直接的應(yīng)用于對(duì)真空度有要求的諸如真空腔體外壁的場合，既可以確保真空腔體對(duì)其內(nèi)部空間的高真空度要求，又可以通過本實(shí)用新型提供的電連接器進(jìn)行真空腔體內(nèi)外的電信號(hào)傳導(dǎo)。

附圖說明

圖1：常規(guī)電氣連接器的整體外形示意圖和插頭插座分離示意圖；

圖2：另一個(gè)視角的常規(guī)電氣連接器的整體外形示意圖和插頭插座分離示意圖；

圖3：常規(guī)電氣連接器的通過軸心線的縱向剖切示意圖；

圖4：第一實(shí)施例的外形與部件拆解示意圖；

圖5：第一實(shí)施例的兩個(gè)視角的部件完全拆解示意圖；

圖6：第一實(shí)施例的密封蓋內(nèi)部示意圖；

圖7：第一實(shí)施例的通過軸心線的剖切示意圖；

圖8：第一實(shí)施例的外觀示意圖；

圖9：第二實(shí)施例的外形與部件拆解示意圖；

圖10：第二實(shí)施例的密封蓋內(nèi)部示意圖；

圖11：第二實(shí)施例的通過軸心線的剖切示意圖；

圖12：第二實(shí)施例的外觀示意圖；

[附圖標(biāo)記]

1：插座；2：插頭；3：套筒；4：銷釘；5：真空腔體柜壁；6：底座；7：銅墊圈；8：密封蓋；9：插座；10：消氣槽；11：陶瓷絕緣環(huán)；12：石棉繩；13：密封刀口；14：導(dǎo)氣槽；15：緊固螺釘孔。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合兩個(gè)具體的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

[第一實(shí)施例]

本實(shí)用新型提供的一種電連接器的兩個(gè)典型實(shí)施例，與普通電連接器一樣，也包括插座和插頭兩部分，其與普通電連接器不同的技術(shù)特征就在于其整合了目前已經(jīng)成熟的CF型真空法蘭技術(shù)。如前所述，考慮到目前電連接器的插座固定端的插針是采用玻璃或陶瓷熔封技術(shù)封裝于插座之中已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了完全密封，所以與之匹配的插頭自由端就無需考慮真空度要求，只要將電連接器的插座固定端與CF型真空法蘭整合為一體密封安裝于對(duì)真空度有要求的真空腔體的柜壁上，就可以利用目前已經(jīng)成熟了的真空法蘭技術(shù)和現(xiàn)成的諸如無氧銅密封墊圈等真空法蘭標(biāo)準(zhǔn)件來使得電連接器可以應(yīng)用于對(duì)真空度有要求的真空腔體。也就是說只需確保插座與插頭插接的部分外露即可，參考圖8和圖12，由于本實(shí)用新型提供的電連接器的插座的插針和其與插頭之間緊固連接的外螺紋均充分外露，與普通插座別無二致，所以使用者完全可以使用普通的插頭與其進(jìn)行正常插接。為了突顯本實(shí)用新型的關(guān)鍵技術(shù)特征，在本實(shí)用新型的所有附圖當(dāng)中都省略顯示了電連接器的插頭。

具體地說，如圖4、圖5和圖8所示，并參考圖6，本實(shí)用新型提供的一種電連接器的第一個(gè)典型實(shí)施例包括一個(gè)外沿滿焊于真空腔體柜壁5的插座安裝孔洞邊緣的底座6，以及一個(gè)與所述插座9為一體的密封蓋8；所述插座9的系列導(dǎo)電插針熔封于所述密封蓋8的正中央位置；所述密封蓋8通過圍繞其軸心線均勻?qū)ΨQ分布的至少三顆緊固螺釘緊固安裝于所述底座6之上；所述密封蓋8與底座6之間具有金屬材質(zhì)的密封墊圈，在本實(shí)施例中采用CF型真空法蘭普遍采用的銅墊圈7。如圖6和圖7所示，并參考圖5，所述密封蓋8與底座6相對(duì)的一側(cè)都具有擠壓所述銅墊圈7以實(shí)現(xiàn)金屬靜密封的一道環(huán)形密封刀口13，所述環(huán)形密封刀口13圍繞所述插座9的所有插針。

如上所述，本實(shí)用新型提供的一種電連接器是以其底座6和與插座9為一體的密封蓋9作為CF型真空法蘭的兩片法蘭片，利用緊固螺釘使所述底座6與密封蓋8夾緊兩者之間的銅墊圈7從而確保真空腔體對(duì)真空度的要求的。底座6以外沿滿焊的方式緊固安裝于真空腔體柜壁5上也是為了確保本實(shí)用新型提供的電連接器的安裝部位不至于漏氣而影響真空腔體內(nèi)的真空度。由于電連接器的插座9的插針都是通過玻璃或陶瓷熔封技術(shù)緊固安裝于插座9當(dāng)中的，鑒于玻璃或陶瓷熔封技術(shù)良好的密封性能，因此無需擔(dān)憂整合了插座9的密封蓋8本身的密封性能。所述密封蓋8與底座6相向的一側(cè)都具有的環(huán)形密封刀口13則令兩者完全具備了CF型真空法蘭的法蘭片的功能，可以利用兩側(cè)的環(huán)形密封刀口13擠壓銅墊圈7并使其發(fā)生緊貼密封刀口13的形變實(shí)現(xiàn)滿足超高真空度要求的密封效果。

為了確保金屬材質(zhì)的密封墊圈能被充分?jǐn)D壓發(fā)生足夠的形變，CF型真空法蘭在其環(huán)形密封刀口的外沿都具有徑向的消氣槽，消氣槽的數(shù)量一般至少有兩條，用于在兩塊法蘭片擠壓密封墊圈時(shí)讓兩塊法蘭片之間的空氣得以從消氣槽溢出確保法蘭片能充分徹底的以其密封刀口擠壓密封墊圈達(dá)到可靠的密封效果。為此，在本實(shí)施例當(dāng)中，如圖4和圖5所示，所述底座6的環(huán)形密封刀口13的外側(cè)亦具有至少兩條貫通所述底座6外沿的徑向的消氣槽10，在本實(shí)施例中，所述底座6上的消氣槽10是由從底座6外沿徑向鉆入的槽孔形成的；如圖6和圖5所示，所述密封蓋8的環(huán)形密封刀口13的外側(cè)亦具有至少兩條徑向的消氣槽10；如圖6和圖7所示，在本實(shí)施例當(dāng)中，為了使密封蓋8的消氣槽10開口不至于輕易落入灰塵 造成不良影響，所有密封蓋8的消氣槽10均與一道以車床加工出的凹陷的環(huán)形的導(dǎo)氣槽14相交，所述導(dǎo)氣槽14與所述密封蓋8的所有緊固螺釘孔15相交。如此則當(dāng)使用具有開口的彈簧墊圈作為密封蓋8與底座6的緊固螺釘?shù)木o固配件時(shí)，密封蓋8的消氣槽10即可通過導(dǎo)氣槽14、外徑大于緊固螺釘螺紋大徑的緊固螺釘孔15、彈簧墊圈的開口與大氣環(huán)境相通，且由于這條通路曲折狹窄，所以既可以保證消氣槽的消氣功能，也足可以防止灰塵進(jìn)入密封蓋內(nèi)。

如圖4至圖8所示，作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，在本實(shí)施例中，為了確保所述密封蓋8與底座6作為CF型真空法蘭的兩塊法蘭片能夠均勻的緊密夾緊所述銅墊圈7，所述密封蓋8通過圍繞其軸心線均勻?qū)ΨQ分布的六顆緊固螺釘緊固安裝于所述底座6之上；為了在確保消氣槽10的氣體溢出效果和降低加工成本之間取得一個(gè)性價(jià)比相對(duì)較好的平衡，在本實(shí)施例中，如圖4和圖5所示，所述底座6的環(huán)形密封刀口13的外側(cè)具有三條圍繞所述底座6軸心線均勻分布的貫通所述底座外沿的徑向的消氣槽10；如圖6和圖5所示，所述密封蓋8的環(huán)形密封刀口13的外側(cè)的徑向的消氣槽10數(shù)量亦為三條，且圍繞所述密封蓋8的軸心線均勻分布。

作為一種進(jìn)一步優(yōu)化的技術(shù)方案，在本實(shí)施例中，如圖5至圖7所示，為了防止灰塵或者水氣落入底座6邊沿的消氣槽10內(nèi)，所述密封蓋8的外沿與所述真空腔體柜壁5相對(duì)的端面具有卡裝耐高溫的石棉繩12的凹槽，如此則當(dāng)安裝了石棉繩12的密封蓋8與底座6被夾緊之后所述石棉繩12可以填塞所述密封蓋8與真空腔體柜壁5之間的間隙，阻擋灰塵乃至水氣的進(jìn)入。之所以采用石棉繩12而不是普通的O形橡膠密封圈是為了配合銅墊圈7在本實(shí)用新型提供的電連接器當(dāng)中保留CF型真空法蘭的耐高溫烘烤的功能。事實(shí)上，鑒于普通信號(hào)連接線對(duì)高溫烘烤的不耐受程度，在本實(shí)用新型中采用普通的O形橡膠密封圈亦無不可，因?yàn)閮H僅是為了實(shí)現(xiàn)防塵效果罷了。由于石棉繩的纖維之間存在空隙，O形橡膠密封圈具有彈性，因此不會(huì)影響底座6上的消氣槽10向外界大氣環(huán)境排氣。另外，如圖4、圖5和圖7所示，在本實(shí)施例中，所述底座6內(nèi)部可以裝入一個(gè)陶瓷絕緣環(huán)11，如此則可以避免位于真空腔體內(nèi)部的插座插針上焊接的信號(hào)線沒有絕緣外皮的部分與金屬材質(zhì)的底座6的內(nèi)壁或者真空腔體的金屬柜壁觸碰。

[第二實(shí)施例]

如圖9至圖12所示的本實(shí)用新型的第二實(shí)施例與第一實(shí)施例的區(qū)別主要在于所述底座6和密封蓋8夾緊銅墊圈7的內(nèi)側(cè)的環(huán)形密封刀口13的數(shù)量由第一實(shí)施例的各一道升級(jí)為第二實(shí)施例的各兩道，如圖11所示，并參考圖9和圖10，在本實(shí)施例中，所述密封蓋8與底座6相對(duì)的一側(cè)都設(shè)置有擠壓所述銅墊圈7以實(shí)現(xiàn)金屬靜密封的兩道刀尖相向設(shè)置的同心環(huán)形密封刀口13，外圈的環(huán)形密封刀口13的尖端高于內(nèi)圈的環(huán)形密封刀口13的尖端。如此配置則平時(shí)可以先用所述密封蓋8與底座6的外圈環(huán)形密封刀口13擠壓銅墊圈7來實(shí)現(xiàn)密封效果，在密封蓋8從底座6上被拆卸下來之后，或者外圈密封刀口13遭受硬物碰撞受損乃至?xí)r間長了鈍化之后，可以繼續(xù)使用原先使用的銅墊圈7，只需將密封蓋8與底座6之間的夾緊程度通過進(jìn)一步擰緊緊固螺釘再增加一些使得所述密封蓋8與底座6上的內(nèi)圈密封刀口13切入銅墊圈7從而再一次實(shí)現(xiàn)良好的真空密封效果。如此則可以充分利用銅墊圈7和所述密封蓋8及底座6，節(jié)約成本。

為了確保金屬材質(zhì)的密封墊圈能被充分?jǐn)D壓發(fā)生足夠的形變，CF型真空法蘭在其環(huán) 形密封刀口的外沿都具有徑向的消氣槽，消氣槽的數(shù)量一般至少有兩條，用于在兩塊法蘭片擠壓密封墊圈時(shí)讓兩塊法蘭片之間的空氣得以從消氣槽溢出確保法蘭片能充分徹底的以其密封刀口擠壓密封墊圈達(dá)到可靠的密封效果。為此，如圖9至圖11所示，在本實(shí)施例當(dāng)中，與前述第一實(shí)施例類似，所述底座6的外圈環(huán)形密封刀口13的外側(cè)亦具有至少兩條貫通所述底座外沿的徑向的消氣槽10，所述底座6的內(nèi)圈環(huán)形密封刀口13也具有至少兩條位于內(nèi)圈環(huán)形密封刀口13的內(nèi)側(cè)且開口于底座6內(nèi)壁的徑向的消氣槽10；所述密封蓋8的外圈環(huán)形密封刀口13的外側(cè)亦具有至少兩條徑向的消氣槽10，在本實(shí)施例當(dāng)中，為了使密封蓋8的消氣槽10開口不至于輕易落入灰塵造成不良影響，所有密封蓋8的外圈環(huán)形密封刀口13的消氣槽10均與一道凹陷的環(huán)形的導(dǎo)氣槽14相交，所述導(dǎo)氣槽14與所述密封蓋8的所有緊固螺釘孔15相交。如此則當(dāng)使用具有開口的彈簧墊圈作為密封蓋8與底座6的緊固螺釘?shù)木o固配件時(shí)，密封蓋8的外圈密封刀口的消氣槽10即可通過導(dǎo)氣槽14、外徑大于緊固螺釘螺紋大徑的緊固螺釘孔15、彈簧墊圈的開口與大氣環(huán)境相通，且由于這條通路曲折狹窄，所以既可以保證消氣槽的消氣功能，也足可以防止灰塵進(jìn)入密封蓋8內(nèi)。此外，所述密封蓋8的內(nèi)圈環(huán)形密封刀口13也具有至少兩條位于內(nèi)圈環(huán)形密封刀口13的內(nèi)部且開口于密封蓋8正中央插座9部位內(nèi)壁的徑向的消氣槽10，與外圈環(huán)形密封刀口13的消氣槽10不同，所述密封蓋8與底座6的內(nèi)圈環(huán)形密封刀口13的消氣槽10均通向真空腔體內(nèi)部，雖然并非通向真空腔體外部的大氣環(huán)境，但考慮到本實(shí)用新型提供的電連接器安裝于真空腔體柜壁5之上時(shí)所述真空腔體勢(shì)必不會(huì)工作在真空狀態(tài)下，因此通向真空腔體內(nèi)部的消氣槽10是完全可以發(fā)揮作用的。最后，如果考慮內(nèi)外圈兩道環(huán)形刀口13之間的氣體溢出問題，如果外圈密封刀口13沒有受損或鈍化，或者受損或鈍化的程度并不嚴(yán)重，由于內(nèi)側(cè)環(huán)形刀口13尖端低于外側(cè)環(huán)形刀口13的尖端，則銅墊圈7在被再次使用且增加了被夾緊的程度之后外圈密封刀口13再進(jìn)一步稍稍深入地切入銅墊圈7之后依然可以實(shí)現(xiàn)有效的密封；倘若外圈密封刀口13受損或鈍化了，主要依靠內(nèi)圈環(huán)形密封刀口13實(shí)現(xiàn)密封效果時(shí)，兩道環(huán)形密封刀口13之間空隙內(nèi)的空氣就可以從外圈環(huán)形密封刀口13的受損或鈍化部位溢出。

如圖9、圖10和圖12所示，與第一實(shí)施例類似，對(duì)于本實(shí)施例，作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，為了確保所述密封蓋與底座作為CF型真空法蘭的兩塊法蘭片能夠均勻的緊密夾緊所述銅墊圈7，所述密封蓋通過圍繞其軸心線均勻?qū)ΨQ分布的六顆緊固螺釘緊固安裝于所述底座之上；如圖9和圖10所示，為了在確保消氣槽的氣體溢出效果和降低加工成本之間取得一個(gè)性價(jià)比相對(duì)較好的平衡，所述底座的外圈環(huán)形密封刀口的外側(cè)具有三條圍繞所述底座軸心線均勻分布的貫通所述底座外沿的徑向的消氣槽，所述底座的內(nèi)圈環(huán)形密封刀口具有三條圍繞所述底座軸心線均勻分布的位于內(nèi)圈環(huán)形密封刀口的內(nèi)側(cè)且開口于底座內(nèi)壁的徑向的消氣槽；所述密封蓋的外圈環(huán)形密封刀口的外側(cè)的徑向的消氣槽數(shù)量亦為三條，且圍繞所述密封蓋的軸心線均勻分布；所述密封蓋的內(nèi)圈環(huán)形密封刀口的內(nèi)側(cè)的徑向的消氣槽數(shù)量亦為三條，且圍繞所述密封蓋的軸心線均勻分布。

作為本實(shí)施例一種進(jìn)一步優(yōu)化的技術(shù)方案，與前述第一實(shí)施例一樣，本實(shí)施例同樣亦可以加裝石棉繩12和陶瓷絕緣環(huán)11并實(shí)現(xiàn)相同的功用。

以上的具體實(shí)施方式并不用以限制本創(chuàng)作，凡在本創(chuàng)作的精神及原則之內(nèi)所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本創(chuàng)作的保護(hù)范圍之內(nèi)。