本實用新型涉及到單晶硅片生產(chǎn)中的硅圓拋光清洗，具體的說是一種硅片清洗后跨區(qū)域傳遞窗。

背景技術(shù)：

硅片清洗是硅圓制造業(yè)中的重要部分，是保證硅片表面潔凈度的重要手段。現(xiàn)在硅圓制造過程中，清洗工序多達幾十道。這些清洗工序貫穿整個生產(chǎn)流程，往往處于不同的廠房或不同的潔凈區(qū)域。

連續(xù)清洗時，出料方式往往為濕法出料。目前普便使用水箱作為洗出的帶水硅片的傳遞與存放器具。水箱材質(zhì)多為PP，內(nèi)盛放能沒過硅片的純水，一定時間后更換水箱內(nèi)純水來確保水箱內(nèi)水的潔凈度。在不同區(qū)域流轉(zhuǎn)時，往往是通過將水箱放入傳遞窗內(nèi)完成傳遞過程。

通過水箱跨區(qū)域傳遞帶水硅片存在一些問題：水箱從低潔凈度區(qū)域傳遞進入高潔凈度區(qū)域，盡管傳遞窗內(nèi)有吹風(fēng)，但水箱帶水，不易去除顆粒，仍會給高潔凈度區(qū)域帶來污染；水箱內(nèi)的水更換不及時會對硅片表面質(zhì)量造成影響，尤其是物料流轉(zhuǎn)不及時時，會造成硅片表面顆粒高或引入沾污。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為解決現(xiàn)有的傳遞窗在傳遞帶水硅片時存在的將低潔凈度區(qū)域的顆粒帶入到高潔凈度區(qū)域所導(dǎo)致的高潔凈度區(qū)域污染的問題，本實用新型提供了一種硅片清洗后跨區(qū)域傳遞窗，使傳遞窗不但具有原傳遞窗功能，可用于非潔凈區(qū)與潔凈區(qū)之間的小件物品的傳遞，最大限度的降低潔凈區(qū)的污染，還兼具水槽功能，能作為帶水硅片的存放裝置。

本實用新型為解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為：一種硅片清洗后跨區(qū)域傳遞窗，包括溝通兩個區(qū)域的傳遞通道和設(shè)置在傳遞通道兩側(cè)的帶電磁互鎖窗門，以限定兩個窗門只能單獨打開，所述傳遞通道內(nèi)設(shè)置有水槽、向水槽內(nèi)注入純水的進水管和排出水槽內(nèi)純水的排水管，水槽的底部設(shè)置有若干排水槽底座，相鄰兩排水槽底座之間具有間隙，且這兩排水槽底座相對的側(cè)面上具有三個臺階，以使這三個臺階上分別卡設(shè)6英寸、5英寸和4英寸的硅片片盒。

所述進水管和排水管分別位于水槽的兩側(cè)。

所述水槽的一側(cè)側(cè)壁上密布有排水孔，這些排水孔均與排水管連通，且排水孔的位置高于進水管的管口位置。

所述水槽底座設(shè)置在一排基座上，相鄰兩排基座的間距等于8英寸硅片片盒外徑。

有益效果：本實用新型通過在傳遞通道底部設(shè)置水槽，并在水槽內(nèi)安裝進水管和排水管，使純水進水管緩慢進水，可保證水槽內(nèi)一直有新鮮純水流動，保證水槽潔凈度，排水管將溢流出的純水排走，在水槽底部設(shè)置帶有臺階的水槽底座，通過相鄰兩個水槽底座上的臺階將不同尺寸的硅片片盒固定，具有結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，安全性能好，可以減少清洗后帶水硅片在傳遞過程中沾污的風(fēng)險，并能降低物料流通時對環(huán)境的影響，使生產(chǎn)能更順利進行的優(yōu)點。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1的左視圖；

圖3為圖1的俯視圖；

圖4為水槽的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為圖4的俯視圖；

附圖標記：1、傳遞通道，2、窗門，3、水槽，4、進水管，5、排水管，6、水槽底座，7、基座。

具體實施方式

如圖所示，一種硅片清洗后跨區(qū)域傳遞窗，包括溝通兩個區(qū)域的傳遞通道1和設(shè)置在傳遞通道1兩側(cè)的帶電磁互鎖窗門2，以限定兩個窗門2只能單獨打開，所述傳遞通道1內(nèi)設(shè)置有水槽3、向水槽3內(nèi)注入純水的進水管4和排出水槽3內(nèi)純水的排水管5，水槽3的底部設(shè)置有若干排水槽底座6，相鄰兩排水槽底座6之間具有間隙，且這兩排水槽底座6相對的側(cè)面上具有三個臺階，以使這三個臺階上分別卡設(shè)6英寸、5英寸和4英寸的硅片片盒。

以上為本實用新型的基本實施方式，可在以上基礎(chǔ)上做進一步的改進、限定和優(yōu)化：

如，所述進水管4和排水管5分別位于水槽3的兩側(cè)；

進一步的，所述水槽3的一側(cè)側(cè)壁上密布有排水孔，這些排水孔均與排水管5連通，且排水孔的位置高于進水管4的管口位置。

又如，所述水槽底座6設(shè)置在一排基座7上，相鄰兩排基座7的間距等于8英寸硅片片盒外徑，這樣在需要放置8英寸硅片片盒時，只需要將水槽底座6取下即可；

再如，所述窗門2為透明窗門；

最后，所述進水管4和排水管5上均設(shè)置有流量控制閥。

本實用新型中，傳遞窗及水槽3均采用10毫米厚的PP塑料焊接而成，窗門2采用6毫米厚的透明PVC，進水管和出水管及控制閥門均采用Clean-PVC材料。